电声换能器及其制备方法、电子设备技术

本申请涉及终端技术领域，尤其涉及一种电声换能器及其制备方法、电子设备。该电声换能器包括基板、外壳以及设置于基板与外壳之间的至少两个微机电单元。每个微机电单元包括振动组件以及用于支撑振动组件的支撑结构，至少两个微机电单元中的振动组件沿第一方向依次排列，第一方向垂直于基板；每个振动组件与基板上的处理电路电连接；每个微机电单元中的振动组件朝向基板的一侧形成有微机电单元的声腔，声腔与外部空间连通以供声波穿过。每个微机电单元的声腔都可以与外部空间导通，使得声波可以传导出去，提高器件的低频性能和声学灵敏度。不需要设置额外的导声通道，可以利用到微机电单元厚度方向的尺寸优势，不会增大器件的整体尺寸。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及终端，尤其涉及一种电声换能器及其制备方法、电子设备。

技术介绍

1、微机电系统(micro electro mechanical systems，mems)是一种利用微机电系统技术原理的电声换能器。与传统电声换能器不同，微机电系统声换能器由微纳加工方法制造而成。微机电系统声换能器的扬声器采用压电材料作为驱动单元，相较动圈扬声器具有尺寸小、厚度薄、重量轻、性能一致性好等优点，非常适合在耳机等小型化消费电子产品中应用。

2、其中，单个微机电系统声换能器受振幅及振动面积限制，空气推动体积有限，导致其声学性能不能满足实际使用要求。多微机电系统组合声换能器可以提高整体空气推动体积，改善单微机电系统声换能器性能不足的问题。然而，目前的多微机电系统的电声换能器，需要设置单独的导声通道，不利于器件实现小型化。

技术实现思路

1、本申请提供了一种电声换能器及其制备方法、电子设备，集成多个微机电单元进行发声，无需设置单独的导声通道，有利于减小器件尺寸。

2、第一方面，本申请提供一种电声换能器，该本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电声换能器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电声换能器，其特征在于，所述至少两个微机电单元包括第一微机电单元和至少一个第二微机电单元，所述第一微机电单元包括的所述振动组件位于所述至少一个所述第二微机电单元分别包括的所述振动组件与所述基板之间；

3.如权利要求2所述的电声换能器，其特征在于，所述导声结构为贯穿所述振动组件的缝隙，所述缝隙的宽度大于等于10μm。

4.如权利要求2所述的电声换能器，其特征在于，所述导声结构为贯穿所述支撑结构的导声孔，所述导声孔的横截面积大于等于0.01mm2。

5.如权利要求1-4中任一项所述的...

【技术特征摘要】

1.一种电声换能器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电声换能器，其特征在于，所述至少两个微机电单元包括第一微机电单元和至少一个第二微机电单元，所述第一微机电单元包括的所述振动组件位于所述至少一个所述第二微机电单元分别包括的所述振动组件与所述基板之间；

3.如权利要求2所述的电声换能器，其特征在于，所述导声结构为贯穿所述振动组件的缝隙，所述缝隙的宽度大于等于10μm。

4.如权利要求2所述的电声换能器，其特征在于，所述导声结构为贯穿所述支撑结构的导声孔，所述导声孔的横截面积大于等于0.01mm2。

5.如权利要求1-4中任一项所述的电声换能器，其特征在于，每个所述振动组件设置有切缝以形成悬臂梁式结构。

6.如权利要求5所述的电声换能器，其特征在于，所述切缝的形状为u型或工字型。

7.如权利要求1-6中任一项所述的电声换能器，其特征在于，所述支撑结构包括环形支撑件，所述环形支撑件支撑于所述振动组件边缘；所述环形支撑件位于所述微机电单元的声腔的周侧，所述振动组件位于所述微机电单元的声腔的顶侧。

8.如权利要求7所述的电声换能器，其特征在于，至少两个所述环形支撑件沿所述第一方向依次叠置。

9.如权利要求8所述的电声换能器，其特征在于，位于底部的环形支撑件背离所述基板的一侧设置有埋槽，位于顶部的所述环形支撑件固定于所述埋槽内。

10.如权利要求9所述的电声换能器，其特征在于，所述埋槽内设置有辅助粘料。

11.如权利要求10所述的电声换能器，其特征在于，每个所述振动组件分别通过连接导线与所述处理电路连接时，所述辅助粘料包括粘接剂。

12.如权利要求10所述的电声换能器，其特征在于，每个所述振动组件分...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，何云乾，彭勃，倪正阳，许超，朱统，舒迎飞，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：