【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空阀门，具体涉及到快慢抽双流通高真空角阀。
技术介绍
1、高真空角阀是管路流体输送系统中控制阀门部件，真空角阀其主要作用是用来改变通路断面和介质流动方向，具有导流、截止、调节、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。
2、高真空角阀在半导体设备中应用十分广泛，相对于普通的高真空角阀，应用于半导体设备中的高真空角阀对密封性有着更高的要求，目前市场上有各种不同类型和型号的高真空角阀，并且都可以起到导流和截止作用，但大多数高真空角阀的结构设计仍然存在一定的缺陷，目前市场上现有的绝大多数高真空角阀的阀芯开合都是由内部弹簧来控制阀芯的开合压力，由于弹簧属于弹性元件，阀体内的弹簧在长时间持续使用后，其自身也会产生一定的弹性形变（弹性收缩），进而会导致阀芯的开合压力发生变化，在管道内压力过大时，容易导致阀芯自动打开，进而造成介质的渗透和泄漏，从而会影响整个真空系统的稳定性；与此同时，在行程有限的情况下，弹簧的弹性压力值也是相对固定的，在阀体内，主阀芯的开合压力一般无法通过弹簧来进行调节，进而使得一种类型或型号的高真空角阀一般只能运用在指定的压力管道中，无法运用在不同的压力管道中并进行适应性的调节。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题在于克服上述现有技术的缺点，提供快慢抽双流通高真空角阀。
2、解决上述技术问题所采用的技术方案是：快慢抽双流通高真空角阀，包括主阀体，所述主阀体底部设有进气口，所述主阀体外壁一侧设有出气口；
3、所述主阀体顶部
4、所述主阀体与上阀座之间安装有可调节主进气阀芯，所述可调节主进气阀芯包括气密组件、主阀芯、阶梯密封垫和主阀杆；
5、所述可调节主进气阀芯与顶盖之间安装有可调节辅助进气阀芯；
6、所述上阀座外壁一侧的安装有与可调节主进气阀芯相对应的充放气机构，所述主阀体与可调节主进气阀芯之间设有补气检测机构。
7、进一步的，所述主阀体为中空结构，且进气口与出气口相贯通，所述主阀体的底部中心开设有第一阶梯槽。
8、通过上述技术方案，可调节主进气阀芯能够与第一阶梯槽进行紧密贴合，进而实现对进气口与出气口之间的密封，从而实现流动介质的截止。
9、进一步的，所述上阀座包括安装于主阀体顶部的阀座主体，所述阀座主体底部中心固定连接有一体式的限位管套，所述限位管套内壁靠近底部位置分别安装有第一矩形密封圈和第一o型密封圈，所述限位管套内壁靠近顶部位置安装有第二矩形密封圈，所述阀座主体内壁的顶部安装有第三矩形密封圈。
10、通过上述技术方案，限位管套可以对可调节主进气阀芯的升降起到滑动限位作用，与此同时，限位管套内壁安装的第一矩形密封圈、第一o型密封圈和第二矩形密封圈可以进一步起到密封作用，从而可以防止气密组件的压缩气体产生泄漏，同时也可以防止阀座主体内输入的高压气体进入气密组件内。
11、进一步的，所述气密组件包括套设于限位管套外壁的主壳体，所述主壳体内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈，两个所述第四矩形密封圈之间位置还安装有多个均匀分布的第二o型密封圈，所述主壳体底部周侧开设有第二阶梯槽。
12、通过上述技术方案，主壳体用于存储压缩气体，以使得压缩气体能够推动主阀芯密封住进气口位置的第一阶梯槽，从而使阀门在正常情况下处于常闭状态，由于主壳体内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈和多个均匀分布的第二o型密封圈，进而可以保证主壳体与限位管套之间的密封性，进而可以有效防止主壳体内的压缩气体发生泄漏，使得气密组件内具有稳定的压力，从而可以防止主阀芯轻易发生泄漏或介质渗透的情况。
13、进一步的，所述主阀芯包括固定于主壳体底部的阀芯主体，所述阶梯密封垫安装于阀芯主体与主壳体之间，所述阀芯主体中部开设有导流腔，所述阀芯主体顶部中心开设有贯穿的圆孔，所述导流腔的底部安装有可拆卸的底部端盖，所述阀芯主体一侧开设有与导流腔相贯通的导流孔，所述阀芯主体的周侧阶梯部位还安装有两个第五矩形密封圈。
14、通过上述技术方案，阀芯主体用于进气口位置第一阶梯槽的开合控制，在正常状态下，由于气密组件内压缩气体的压力推动下，阀芯主体会封堵住第一阶梯槽，进而使管道内的流动的压力介质无法通过第一阶梯槽，从而实现阀门的截止功能。
15、进一步的，所述主阀杆包括固定于阀芯主体顶部的中空阀杆，且中空阀杆贯穿限位管套并延伸至阀座主体内部，所述中空阀杆的顶部安装有升降活塞，所述升降活塞通过固定卡箍与中空阀杆固定，所述升降活塞内壁靠近底部位置安装有第六矩形密封圈，所述中空阀杆内壁靠近顶部位置安装有第七矩形密封圈，所述升降活塞外壁还安装有两个第八矩形密封圈。
16、通过上述技术方案，主阀杆用于升降活塞与阀芯主体之间的连接和联动，可以通过控制升降活塞的升降来阀芯主体的开合。
17、进一步的，所述可调节辅助进气阀芯包括转动安装于阀芯主体、中空阀杆和顶盖之间的丝杠阀杆，所述丝杠阀杆的顶端固定连接有阀杆调节旋钮，所述丝杠阀杆的底端转动连接有辅助阀芯，所述辅助阀芯底部安装有多个呈阶梯分布的第九矩形密封圈，所述丝杠阀杆外壁底部套接有复位弹簧，所述丝杠阀杆外壁安装有用于挤压复位弹簧的滚珠螺母座，所述辅助阀芯顶部开设有用于定位复位弹簧底部的弹簧定位凹槽。
18、通过上述技术方案，当进气口位置的介质压力过大时，介质的压力会推动辅助阀芯向上挤压复位弹簧，与此同时，随着辅助阀芯的上升，顶起辅助阀芯的压力介质会进入导流腔，然后经导流孔进入出气口，从而可以在管道介质压力过大的情况下实现自动提前泄压，以防止因管道内压力过大而导致管道内的介质从其他连接位置发生泄漏，另外，辅助阀芯的开合压力大小可以通过旋拧阀杆调节旋钮来进行控制调节，阀杆调节旋钮旋转的同时可以同步带动丝杠阀杆进行旋转，进而可以带动丝杠阀杆上的滚珠螺母座进行升降，当滚珠螺母座上升，可以减小复位弹簧对辅助阀芯的压力，当滚珠螺母座向下移动时，可以进一步挤压复位弹簧，从而增大对辅助阀芯，在需要自动泄压的情况下，其泄压的压力值的大小可以由操作人员根据实际需求进行调节。
19、进一步的，所述充放气机构包括固定安装于阀座主体外壁的导气座，所述导气座上分别设有底部充放气接口和顶部充放气接口，所述阀座主体的外壁分别开设有两个与底部充放气接口和顶部充放气接口相贯通的导气孔。
20、通过上述技术方案，当需要控制主阀芯完全打开时，可以通过底部充放气接口接入高压气体，高压气体会快速进入阀座主体中心的底部，由于高压气体的气体压力值大于主壳体内部压缩气体的压力值，从而使得较大的气体压力会推动升降活塞向上移动，进而可以通过主阀杆带动主阀芯向上移动，从而使阀体完全打开，此时气密组件的主壳体内部压缩气体会进一步被压缩；当需要控制主阀芯闭合时，只需通过底部充放气接口进行泄压，并向顶部充放气接本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.快慢抽双流通高真空角阀，包括主阀体（1），其特征在于：所述主阀体（1）底部设有进气口（2），所述主阀体（1）外壁一侧设有出气口（3）；
2.根据权利要求1所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀体（1）为中空结构，且进气口（2）与出气口（3）相贯通，所述主阀体（1）的底部中心开设有第一阶梯槽（101）。
3.根据权利要求1所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述上阀座（4）包括安装于主阀体（1）顶部的阀座主体（401），所述阀座主体（401）底部中心固定连接有一体式的限位管套（402），所述限位管套（402）内壁靠近底部位置分别安装有第一矩形密封圈（403）和第一O型密封圈（404），所述限位管套（402）内壁靠近顶部位置安装有第二矩形密封圈（405），所述阀座主体（401）内壁的顶部安装有第三矩形密封圈（406）。
4.根据权利要求3所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述气密组件（801）包括套设于限位管套（402）外壁的主壳体（8011），所述主壳体（8011）内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈（8012），两个所
5.根据权利要求4所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀芯（802）包括固定于主壳体（8011）底部的阀芯主体（8021），所述阶梯密封垫（803）安装于阀芯主体（8021）与主壳体（8011）之间，所述阀芯主体（8021）中部开设有导流腔（8022），所述阀芯主体（8021）顶部中心开设有贯穿的圆孔（8023），所述导流腔（8022）的底部安装有可拆卸的底部端盖（8024），所述阀芯主体（8021）一侧开设有与导流腔（8022）相贯通的导流孔（8025），所述阀芯主体（8021）的周侧阶梯部位还安装有两个第五矩形密封圈（8026）。
6.根据权利要求5所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀杆（804）包括固定于阀芯主体（8021）顶部的中空阀杆（8041），且中空阀杆（8041）贯穿限位管套（402）并延伸至阀座主体（401）内部，所述中空阀杆（8041）的顶部安装有升降活塞（8042），所述升降活塞（8042）通过固定卡箍（8043）与中空阀杆（8041）固定，所述升降活塞（8042）内壁靠近底部位置安装有第六矩形密封圈（8044），所述中空阀杆（8041）内壁靠近顶部位置安装有第七矩形密封圈（8045），所述升降活塞（8042）外壁还安装有两个第八矩形密封圈（8046）。
7.根据权利要求6所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述可调节辅助进气阀芯（9）包括转动安装于阀芯主体（8021）、中空阀杆（8041）和顶盖（6）之间的丝杠阀杆（901），所述丝杠阀杆（901）的顶端固定连接有阀杆调节旋钮（902），所述丝杠阀杆（901）的底端转动连接有辅助阀芯（903），所述辅助阀芯（903）底部安装有多个呈阶梯分布的第九矩形密封圈（904），所述丝杠阀杆（901）外壁底部套接有复位弹簧（905），所述丝杠阀杆（901）外壁安装有用于挤压复位弹簧（905）的滚珠螺母座（906），所述辅助阀芯（903）顶部开设有用于定位复位弹簧（905）底部的弹簧定位凹槽（907）。
8.根据权利要求3所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述充放气机构（10）包括固定安装于阀座主体（401）外壁的导气座（1001），所述导气座（1001）上分别设有底部充放气接口（1002）和顶部充放气接口（1003），所述阀座主体（401）的外壁分别开设有两个与底部充放气接口（1002）和顶部充放气接口（1003）相贯通的导气孔（1004）。
9.根据权利要求4所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述补气检测机构（11）包括固定于主壳体（8011）外壁一侧的连接部（1101），所述连接部（1101）中心开设有与主壳体（8011）内部相贯通的充气孔（1102），所述充气孔（1102）另一端的中心安装有充气单向阀（1103），所述主阀体（1）内壁的一侧设置有限位座（1104），所述连接部（1101）滑动限位于限位座（1104）内，所述限位座（1104）一侧的端面上安装有第十矩形密封圈（1105），所述连接部（1101）的外壁固定安装有气密滑盖（1106），所述主阀体（1）的外壁上开设有与限位座（1104）相贯通的通孔（1107），所述通孔（1107）中螺纹连接有密封螺栓（1108）。
10.根据权利要求9所述的快慢抽双流通高真空...
【技术特征摘要】
1.快慢抽双流通高真空角阀，包括主阀体（1），其特征在于：所述主阀体（1）底部设有进气口（2），所述主阀体（1）外壁一侧设有出气口（3）；
2.根据权利要求1所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀体（1）为中空结构，且进气口（2）与出气口（3）相贯通，所述主阀体（1）的底部中心开设有第一阶梯槽（101）。
3.根据权利要求1所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述上阀座（4）包括安装于主阀体（1）顶部的阀座主体（401），所述阀座主体（401）底部中心固定连接有一体式的限位管套（402），所述限位管套（402）内壁靠近底部位置分别安装有第一矩形密封圈（403）和第一o型密封圈（404），所述限位管套（402）内壁靠近顶部位置安装有第二矩形密封圈（405），所述阀座主体（401）内壁的顶部安装有第三矩形密封圈（406）。
4.根据权利要求3所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述气密组件（801）包括套设于限位管套（402）外壁的主壳体（8011），所述主壳体（8011）内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈（8012），两个所述第四矩形密封圈（8012）之间位置还安装有多个均匀分布的第二o型密封圈（8013），所述主壳体（8011）底部周侧开设有第二阶梯槽（8014）。
5.根据权利要求4所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀芯（802）包括固定于主壳体（8011）底部的阀芯主体（8021），所述阶梯密封垫（803）安装于阀芯主体（8021）与主壳体（8011）之间，所述阀芯主体（8021）中部开设有导流腔（8022），所述阀芯主体（8021）顶部中心开设有贯穿的圆孔（8023），所述导流腔（8022）的底部安装有可拆卸的底部端盖（8024），所述阀芯主体（8021）一侧开设有与导流腔（8022）相贯通的导流孔（8025），所述阀芯主体（8021）的周侧阶梯部位还安装有两个第五矩形密封圈（8026）。
6.根据权利要求5所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀杆（804）包括固定于阀芯主体（8021）顶部的中空阀杆（8041），且中空阀杆（8041）贯穿限位管套（402）并延伸至阀座主体（401）内部，所述中空阀杆（8041）的顶部安装有升降活塞（8042），所述升降活塞（8042）通过固定卡箍（8043）与中空阀杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵佳，李欢，
申请(专利权)人：靖江佳晟真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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