【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种真空压力平衡装置。
技术介绍
1、随着光伏行业的快速发展，太阳能电池也得到了广泛的应用。太阳能电池片是太阳能电池的发电主体，其生产工艺一般包括硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、刻蚀及酸洗、镀膜、丝网印刷和快速烧结等。在镀膜步骤中，通常是将装载有硅片的载板输送至镀膜设备的镀膜箱中，通过真空泵将镀膜箱的箱体内抽真空，并在一定的温度下对硅片进行镀膜。
2、目前，在传统方式中，由于镀膜箱的体积较大，因此一般会设置多个真空泵，将多个真空泵的抽气端均与镀膜箱相连。当需要将镀膜箱内部抽真空时，先封闭镀膜箱的箱体，然后通过真空泵先少量抽取箱体内的空气，从而减少因气压快速变化而对硅片造成损伤，随后再加大真空泵的功率，从而增加空气抽取的量，从而使箱体内的压力下降至目标压力，即镀膜所需的真空压力。镀膜完成后，再打开箱体，从而使箱体内的空气恢复到大气压力。
3、而对于上述技术方案，在进行镀膜工作时，由于硅片的镀膜是批量进行的，当一批次镀膜完成后，再对另一批次的硅片进行镀膜时，需要将箱体内的气压重新从大气压力下降至镀膜所需的真空压力，这就使得抽真空所需的时间较长，从而使得硅片镀膜的效率不高。
技术实现思路
1、为了能够提高太阳能电池片生产过程中镀膜的效率，本申请提供一种真空压力平衡装置。
2、本申请提供一种真空压力平衡装置，采用如下技术方案：
3、一种真空压力平衡装置，包括抽气管，所述抽气管的一端连接有抽气机
4、通过采用上述技术方案，当需要对太阳能电池片进行镀膜时，先通过储压桶使镀膜箱内的气压与储压桶内的气压平衡，从而减少硅片因气压急剧变化而出现损坏的情况，然后再由抽气机构进行抽气，使镀膜箱内的气压达到工作压力，从而省去了抽气机构变更抽气的量所耗费的时间，从而便于提高太阳能电池片的镀膜的效率。
5、在一个具体的可实施方案中，所述缓冲机构还包括缓冲管，所述缓冲管与抽气管远离抽气机构的一端相连，所述缓冲管还与镀膜箱相连，所述储压桶通过第一连接管与缓冲管相连，所述储压桶还通过第二连接管与抽气管相连。
6、通过采用上述技术方案，方便镀膜箱中的气体通过缓冲管进行缓冲，从而使缓冲管中的气体后续进入到储压桶中，实现压力平衡，或者抽气机构通过抽气管抽取缓冲管中的气体，从而实现对镀膜箱进行抽真空处理。
7、在一个具体的可实施方案中，所述缓冲机构还包括控制组件，所述控制组件包括第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，所述第一控制阀安装在第一连接管上，所述第二控制阀安装在第二连接管上，所述第三控制阀安装在缓冲管上。
8、通过采用上述技术方案，通过控制第一控制阀的开启，从而便于使镀膜箱中的气压与储压桶中的气压实现平衡，从而实现降低镀膜箱中的气压的效果。通过控制第二控制阀的开启，从而便于抽气机构通过抽气管抽取储压桶内的空气，从而便于保持储压桶内的气压处于低压的状态。通过控制第三控制阀的开启，从而便于抽气机构直接通过抽气管抽取镀膜箱内的气体，从而达到降低镀膜箱内的气压的效果。
9、在一个具体的可实施方案中，所述储压桶内的压力位于大气压力与目标压力之间。
10、通过采用上述技术方案，利用低于大气压力的储压桶平衡镀膜箱中的气压，从而便于减少镀膜箱中的硅片因气压急剧变化而出现损坏的情况，并提高了气压下降的速度。
11、在一个具体的可实施方案中，所述抽气机构包括真空泵，所述真空泵的抽气端与抽气管相连。
12、通过采用上述技术方案，方便通过真空泵对镀膜箱进行抽真空处理，以便于使镀膜箱内的气压达到适合镀膜工作的气压。
13、在一个具体的可实施方案中，所述抽气管上还设有支撑机构，所述支撑机构包括支撑组件和调节组件，所述支撑组件包括支撑抱箍和支撑柱，所述支撑抱箍安装在抽气管的侧壁上，所述支撑柱安装在支撑抱箍上，且所述支撑柱用于支撑支撑抱箍，所述调节组件安装在支撑柱上，所述调节组件与支撑抱箍相连，且所述调节组件用于调节支撑抱箍的高度。
14、通过采用上述技术方案，通过设置支撑机构，利用支撑抱箍对抽气管进行定位，并通过支撑柱对支撑抱箍进行支撑，从而实现对抽气管进行支撑，从而减少抽气管与其他管道连接的部位受力，从而便于保持抽气管与其他管道连接的密封性，以便于抽真空。
15、在一个具体的可实施方案中，所述调节组件包括调节蜗轮、调节蜗杆和调节板，所述调节蜗轮安装在支撑柱上，所述调节蜗杆安装在支撑柱上，且所述调节蜗杆与调节蜗轮啮合，所述调节板安装在调节蜗杆的端部，所述支撑抱箍上设有调节杆，所述调节杆与调节蜗轮同轴设置，所述调节杆上设有调节螺纹，所述调节杆与调节蜗轮螺纹相连。
16、通过采用上述技术方案，当需要根据抽气管的高度位置调整支撑抱箍的高度时，通过转动调节板，从而驱动调节蜗杆转动，使得调节蜗杆带动调节蜗轮转动，从而带动调节杆沿其轴线方向移动，从而使调节杆带动支撑抱箍进行升降，从而实现支撑抱箍高度的调节，以便于实现对抽气管的支撑。
17、在一个具体的可实施方案中，所述储压桶上安装有压力表。
18、通过采用上述技术方案，通过设置压力表，从而便于观察储压桶中的压力，从而便于控制控制组件动作。
19、综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：
20、1.本申请通过设置缓冲机构，方便在对镀膜箱进行抽真空时，先通过缓冲机构使镀膜箱内的气压与储压桶内的气压达到平衡，然后由抽气组件对镀膜箱继续抽真空，从而缩短了镀膜箱抽真空的时间，以便于提高太阳能电池片镀膜的效率。
21、2.本申请通过设置控制组件，方便通过控制组件的动作，从而实现对镀膜箱的抽真空动作。
22、3.本申请通过控制储压桶内的压力位于大气压力和目标压力之间，从而方便在对镀膜箱进行抽真空时，先通过将储压桶与镀膜箱连通，从而降低镀膜箱内的气压，并与储压桶内的气压达到平衡，从而便于减少镀膜箱中的硅片因气压急剧变化而产生损坏。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种真空压力平衡装置，包括抽气管(1)，其特征在于：所述抽气管(1)的一端连接有抽气机构(2)，所述抽气管(1)的另一端用于与镀膜箱相连，所述抽气管(1)远离抽气机构(2)的一端还设有缓冲机构(3)，所述缓冲机构(3)包括储压桶(31)，所述储压桶(31)与抽气管(1)相连，所述储压桶(31)还与镀膜箱相连，且所述储压桶(31)用于平衡镀膜箱内的气压。
2.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述缓冲机构(3)还包括缓冲管(32)，所述缓冲管(32)的侧壁与抽气管(1)远离抽气机构(2)的一端相连，所述缓冲管(32)还与镀膜箱相连，所述储压桶(31)通过第一连接管(33)与缓冲管(32)相连，所述储压桶(31)还通过第二连接管(34)与抽气管(1)相连。
3.根据权利要求2所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述缓冲机构(3)还包括控制组件(35)，所述控制组件(35)包括第一控制阀(351)、第二控制阀(352)和第三控制阀(353)，所述第一控制阀(351)安装在第一连接管(33)上，所述第二控制阀(352)安装在第二连接管(
4.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述储压桶(31)内的压力位于大气压力与目标压力之间。
5.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述抽气机构(2)包括真空泵(21)，所述真空泵(21)的抽气端与抽气管(1)相连。
6.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述抽气管(1)上还设有支撑机构(4)，所述支撑机构(4)包括支撑组件(41)和调节组件，所述支撑组件(41)包括支撑抱箍(411)和支撑柱(412)，所述支撑抱箍(411)安装在抽气管(1)的侧壁上，所述支撑柱(412)安装在支撑抱箍(411)上，且所述支撑柱(412)用于支撑支撑抱箍(411)，所述调节组件安装在支撑柱(412)上，所述调节组件与支撑抱箍(411)相连，且所述调节组件用于调节支撑抱箍(411)的高度。
7.根据权利要求6所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述调节组件包括调节蜗轮(421)、调节蜗杆(422)和调节板(426)，所述调节蜗轮(421)安装在支撑柱(412)上，所述调节蜗杆(422)安装在支撑柱(412)上，且所述调节蜗杆(422)与调节蜗轮(421)啮合，所述调节板(426)安装在调节蜗杆(422)的端部，所述支撑抱箍(411)上设有调节杆(423)，所述调节杆(423)与调节蜗轮(421)同轴设置，所述调节杆(423)上设有调节螺纹(4231)，所述调节杆(423)与调节蜗轮(421)螺纹相连。
8.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述储压桶(31)上安装有压力表(36)。
...【技术特征摘要】
1.一种真空压力平衡装置，包括抽气管(1)，其特征在于：所述抽气管(1)的一端连接有抽气机构(2)，所述抽气管(1)的另一端用于与镀膜箱相连，所述抽气管(1)远离抽气机构(2)的一端还设有缓冲机构(3)，所述缓冲机构(3)包括储压桶(31)，所述储压桶(31)与抽气管(1)相连，所述储压桶(31)还与镀膜箱相连，且所述储压桶(31)用于平衡镀膜箱内的气压。
2.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述缓冲机构(3)还包括缓冲管(32)，所述缓冲管(32)的侧壁与抽气管(1)远离抽气机构(2)的一端相连，所述缓冲管(32)还与镀膜箱相连，所述储压桶(31)通过第一连接管(33)与缓冲管(32)相连，所述储压桶(31)还通过第二连接管(34)与抽气管(1)相连。
3.根据权利要求2所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述缓冲机构(3)还包括控制组件(35)，所述控制组件(35)包括第一控制阀(351)、第二控制阀(352)和第三控制阀(353)，所述第一控制阀(351)安装在第一连接管(33)上，所述第二控制阀(352)安装在第二连接管(34)上，所述第三控制阀(353)安装在缓冲管(32)上。
4.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特征在于：所述储压桶(31)内的压力位于大气压力与目标压力之间。
5.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：申舰，
申请(专利权)人：江苏阳铭互联智能系统有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。