【技术实现步骤摘要】
真空压力平衡系统及平衡工艺
[0001]本申请涉及真空镀膜领域,尤其是涉及一种真空压力平衡系统及平衡工艺
。
技术介绍
[0002]随着太阳能技术的发展,太阳能电池也逐渐被广泛使用
。
目前太阳能电池主要使用的是硅太阳能电池,其中电池片是太阳能电池的核心部件
。
电池片通常是由硅片生产而来的,在其工艺步骤中,通常会需要对硅片进行镀膜
。
[0003]目前,现有的镀膜设备
,
一般包括镀膜用的真空箱,当装有硅片的载板被输送至真空箱中后,关闭真空箱,通过真空泵抽取真空箱内的气体,使真空箱内的气压下降至工艺所需的气压,随后对真空箱内的硅片进行镀膜
。
[0004]传统工艺中,对于真空箱的抽真空都是通过设置多个真空泵同时工作来实现,但是,真空箱内气压在短时间内发生急剧变化的情况下,会导致硅片受到冲击,从而产生损坏,因此,真空箱在抽真空时,要先将真空箱内的气压下降到一个适当的值,然后再快速抽真空到工艺所需的压力,而这就使得真空箱在抽真空的过程中所耗费的时间较长
。
技术实现思路
[0005]为了能够缩短真空箱抽真空所需的时间,本申请提供一种真空压力平衡系统及平衡工艺
。
[0006]第一方面,本申请提供一种真空压力平衡系统,采用如下技术方案:一种真空压力平衡系统,包括真空箱和一级平衡装置,所述一级平衡装置包括平衡桶和第一真空泵,所述真空箱通过第一真空管与第一真空泵相连,所述真空箱与平衡桶通过平衡管相连 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种真空压力平衡系统,其特征在于,包括真空箱
(1)
和一级平衡装置,所述一级平衡装置包括平衡桶
(3)
和第一真空泵
(4)
,所述真空箱
(1)
通过第一真空管
(41)
与第一真空泵
(4)
相连,所述真空箱
(1)
与平衡桶
(3)
通过平衡管
(31)
相连,所述平衡桶
(3)
通过第一抽气管
(6)
与第一真空管
(41)
相连,所述第一抽气管
(6)
通过密封装置
(9)
与第一真空管
(41)
相连
。2.
根据权利要求1所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:真空压力平衡系统还包括二级平衡装置,所述二级平衡装置包括缓冲箱
(2)
和第二真空泵
(5)
,所述真空箱
(1)
通过缓冲管
(22)
与缓冲箱
(2)
相连,所述缓冲箱
(2)
通过第二真空管
(51)
与第二真空泵
(5)
相连,所述平衡桶
(3)
通过第三抽气管
(8)
与第二真空管
(51)
相连,所述真空箱
(1)
与第二真空管
(51)
通过第二抽气管
(7)
相连,所述第二抽气管
(7)
也通过密封装置
(9)
与第二真空管
(51)
相连
。3.
根据权利要求2所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述平衡管
(31)
上设有第一控制阀
(32)
,所述第一抽气管
(6)
上设有第二控制阀
(61)
,所述第三抽气管
(8)
上设有第四控制阀
(81)
,所述第二抽气管
(7)
上设有第五控制阀
(71)
,所述缓冲管
(22)
上设有第六控制阀
(23)。4.
根据权利要求2所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述密封装置
(9)
包括公接头
(91)
和母接头
(92)
,所述母接头
(92)
安装在第一真空管
(41)
和第二真空管
(51)
上,所述公接头
(91)
安装在第一抽气管
(6)
和第二抽气管
(7)
上,所述公接头
(91)
用于插接在母接头
(92)
上
。5.
根据权利要求4所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述密封装置
(9)
还包括锁定机构
(93)
,所述锁定机构
(93)
包括锁定块
(931)、
锁定杆
(932)
和复位弹片
(936)
,所述公接头
(91)
插接在母接头
(92)
上的一端设有限位环
(935)
,所述锁定块
(931)
安装在母接头
(92)
上,且所述锁定块
(931)
用于对限位环
(935)
进行限位,所述复位弹片
(936)
的一端安装在母接头
(92)
上,所述复位弹片
(936)
的另一端与锁定块
(931)
相连,所述锁定杆
(932)
的一...
【专利技术属性】
技术研发人员:申舰,
申请(专利权)人:江苏阳铭互联智能系统有限公司,
类型:发明
国别省市:
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