一种抽真空装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜领域，具体为一种抽真空装置及真空镀膜设备，包括工作台，工作台顶面放置有真空镀膜机和真空泵，真空镀膜机与真空泵之间通过软管连接，软管与真空镀膜机通过阀门连接，软管与真空泵通过安装结构连接，安装结构包括连接管、收紧套、紧固套、第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，有益效果为：本实用新型专利技术提出的抽真空装置设置有滤网，在真空泵对真空镀膜机进行抽气的过程中，随着空气一起被抽出的杂质经过滤网被滤出，且旋拧连接管，将连接管与抽气管分离，即可将滤网取出，滤网拆卸方便。滤网拆卸方便。滤网拆卸方便。

【技术实现步骤摘要】
一种抽真空装置及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，具体为一种抽真空装置及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。在真空镀膜过程中需要使用抽真空装置将真空镀膜机中的空气抽出。
[0003]现有技术中，抽真空装置与真空镀膜机之间一般通过软管连接，启动真空泵，真空镀膜机中空气经软管进入真空泵抽气口内，经排气口排出。
[0004]但是，在对真空镀膜机进行抽气过程中，真空镀膜机中的镀料或是一些杂质可能会被一起抽出，进入到真空泵内，可能会对真空泵造成损坏，影响真空泵的使用，为此，本技术提出一种抽真空装置及真空镀膜设备用于解决上述所述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种抽真空装置及真空镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种抽真空装置，包括工作台，工作台顶面放置有真空镀膜机和真空泵，所述真空镀膜机与真空泵之间通过软管连接，软管与真空镀膜机通过阀门连接，软管与真空泵通过安装结构连接，安装结构包括连接管、收紧套、紧固套、第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈。
[0007]优选的，所述真空镀膜机侧壁安装有阀门，阀门连通至真空镀膜机内部，真空泵侧壁固定有抽气管，抽气管连通至真空泵内部，抽气管外侧螺纹连接有连接管，连接管长度大于抽气管的长度。
[0008]优选的，所述抽气管远离真空泵的一端开设有安装槽，安装槽内嵌入安装有滤网，滤网底部活动插接在抽气管内部，滤网底面为网状结构。
[0009]优选的，所述连接管远离抽气管的一端固定有收紧套，收紧套远离连接管的一端内径小于收紧套靠近连接管的一端内径，收紧套侧壁开设有四条收紧缝，四条收紧缝呈十字形分布，收紧套外侧螺纹连接有紧固套，连接管靠近收紧套的一端固定有第一密封圈，第一密封圈位于收紧套内。
[0010]优选的，所述连接管远离抽气管的一端插接有软管，软管靠近抽气管的一端抵接有第二密封圈，第二密封圈位于软管和凸块之间，凸块固定在连接管内部，凸块呈环形，凸块远离第二密封圈的一端设置有第三密封圈，第三密封圈处于凸块与抽气管之间，第三密封圈与抽气管抵接。
[0011]一种真空镀膜设备，其中使用上述所述抽真空装置。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]本技术提出的抽真空装置设置有滤网，在真空泵对真空镀膜机进行抽气的过
程中，随着空气一起被抽出的杂质经过滤网被滤出，且旋拧连接管，将连接管与抽气管分离，即可将滤网取出，滤网拆卸方便。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术中安装结构的剖面图；
[0016]图3为图2中A处结构放大示意图；
[0017]图4为本技术中安装结构的拆分图。
[0018]图中：1工作台、2真空镀膜机、3真空泵、4阀门、5抽气管、6连接管、7安装槽、8滤网、9收紧套、10收紧缝、11紧固套、12第一密封圈、13软管、14第二密封圈、15凸块、16第三密封圈。
具体实施方式
[0019]为了使本专利技术的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本专利技术实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本专利技术实施例，并不用于限定本专利技术实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]实施例一
[0021]请参阅图1
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图4，本技术提供一种技术方案：一种抽真空装置，包括工作台1，工作台1顶面放置有真空镀膜机2和真空泵3，真空镀膜机2与真空泵3之间通过软管13连接，软管13与真空镀膜机2通过阀门4连接，软管13与真空泵3通过安装结构连接，安装结构包括连接管6、收紧套9、紧固套11、第一密封圈12、第二密封圈14以及第三密封圈16；本技术提出的抽真空装置设置有滤网8，在真空泵3对真空镀膜机2进行抽气的过程中，随着空气一起被抽出的杂质经过滤网8被滤出，且旋拧连接管6，将连接管6与抽气管7分离，即可将滤网8取出，滤网8拆卸方便。
[0022]实施例二
[0023]在实施例一的基础上，为了实现对软管13的安装，真空镀膜机2侧壁安装有阀门4，阀门4连通至真空镀膜机2内部，真空泵3侧壁固定有抽气管5，抽气管5连通至真空泵3内部，抽气管5外侧螺纹连接有连接管6，连接管6长度大于抽气管5的长度；连接管6远离抽气管5的一端固定有收紧套9，收紧套9远离连接管6的一端内径小于收紧套9靠近连接管6的一端内径，收紧套9侧壁开设有四条收紧缝10，四条收紧缝10呈十字形分布，收紧套9外侧螺纹连接有紧固套11，连接管6靠近收紧套9的一端固定有第一密封圈12，第一密封圈12位于收紧套9内；连接管6远离抽气管5的一端插接有软管13，软管13靠近抽气管5的一端抵接有第二密封圈14，第二密封圈14位于软管13和凸块15之间，凸块15固定在连接管6内部，凸块15呈环形，凸块15远离第二密封圈14的一端设置有第三密封圈16，第三密封圈16处于凸块15与抽气管5之间，第三密封圈16与抽气管5抵接。
[0024]在对软管13安装时，首先将紧固套11套在软管13上，将第二密封圈14放入连接管6内，然后将软管13插入连接管6直至软管13抵住第二密封圈14，然后旋拧紧固套11，使得收
紧缝10收缩，从而将软管13与收紧套9固定，然后将第三密封圈16放入连接管6内，将连接管6与抽气管5对齐，旋拧连接管6，直至抽气管5与第三密封圈16抵接，第二密封圈14与第三密封圈16防止漏气。
[0025]实施例三
[0026]在实施例二的基础上，为了实现对滤网8的安装，抽气管5远离真空泵3的一端开设有安装槽7，安装槽7内嵌入安装有滤网8，滤网8底部活动插接在抽气管5内部，滤网8底面为网状结构。
[0027]将滤网8与抽气管5对齐，然后将滤网8插入抽气管5内部，滤网8上端嵌入安装在安装槽7内，旋拧连接管6直至抽气管5抵接第三密封圈16，此时滤网8上端也抵接第三密封圈16，使得滤网8固定，当对滤网8进行清洗或更换时，只需旋拧连接管6，使得连接管6与抽气管5分离，然后将滤网8从安装槽7和抽气管5内抽出即可，方便快捷。
[0028]实施例四
[0029]一种真空镀膜设备，包括抽真空装置。
[0030]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽真空装置，包括工作台(1)，工作台(1)顶面放置有真空镀膜机(2)和真空泵(3)，其特征在于：所述真空镀膜机(2)与真空泵(3)之间通过软管(13)连接，软管(13)与真空镀膜机(2)通过阀门(4)连接，软管(13)与真空泵(3)通过安装结构连接，安装结构包括连接管(6)、收紧套(9)、紧固套(11)、第一密封圈(12)、第二密封圈(14)以及第三密封圈(16)。2.根据权利要求1所述的一种抽真空装置，其特征在于：所述真空镀膜机(2)侧壁安装有阀门(4)，阀门(4)连通至真空镀膜机(2)内部，真空泵(3)侧壁固定有抽气管(5)，抽气管(5)连通至真空泵(3)内部，抽气管(5)外侧螺纹连接有连接管(6)，连接管(6)长度大于抽气管(5)的长度。3.根据权利要求2所述的一种抽真空装置，其特征在于：所述抽气管(5)远离真空泵(3)的一端开设有安装槽(7)，安装槽(7)内嵌入安装有滤网(8)，滤网(8)底部活动插接在抽气管(5)内部，滤网(8)底面为网状结构。4.根据权利要求1所述的一种抽真空装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：程江，黄琼，
申请(专利权)人：四川恩格尔模具有限公司，
类型：新型
国别省市：