【技术实现步骤摘要】
本技术涉及检测，具体为一种圆形靶材孔位检具。
技术介绍
1、众所周知，镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，靶材生产完毕后，需要用圆形靶材孔位检具对其上的通孔进行检测。
2、申请号为cn202221556266.0的专利公开了一种圆形靶材孔位检具，包括分别独立设置的检具主体以及固定件；所述检具主体包括主环，所述主环包括主环刚性部，还包括沿轴向设置于所述主环刚性部的一侧或双侧的主环缓冲部；所述主环的环面上设置有与待测圆形靶材的安装孔对应的贯通孔；所述固定件的数量大于等于所述贯通孔的数量。
3、该装置虽然起到了避免靶材在检测中的损伤的效果，但是该装置和圆形靶材上都存在大小不同位置不等的通孔，该装置没有安装定位安装装置，因此在安装圆形靶材时，不能精准且快速的使圆形靶材和该装置的通孔重合在一起，需要多次调整才能精准的安装完毕，因此放置效率不是很高，其次圆形靶材检测完毕后在取出时，需要工作人员通过两侧的开口将圆形靶材抓取出来，而圆形靶材的光滑度较高，在取...
【技术保护点】
1.一种圆形靶材孔位检具，其特征在于：包括固定装置(1)，所述固定装置(1)的内部设置有数个第一保护垫(2)和第二保护垫(3)，所述固定装置(1)的上部和下部分别安装有圆形靶材(4)，所述固定装置(1)和圆形靶材(4)分别设置有数个通孔(5)，并且分别重合在一起，所述固定装置(1)两侧的两个圆孔内分别设置有数个凹槽(6)，并且均通过转轴转动连接有支撑杆(7)，数个所述支撑杆(7)的上部均设置有弹簧，并且均和凹槽(6)的上部相连接，所述固定装置(1)两侧的两个圆孔内均插接有限位杆(8)，数个所述限位杆(8)的中部均设置有卡槽，并且均和支撑杆(7)的一端呈插接设置，数个所...
【技术特征摘要】
1.一种圆形靶材孔位检具，其特征在于：包括固定装置(1)，所述固定装置(1)的内部设置有数个第一保护垫(2)和第二保护垫(3)，所述固定装置(1)的上部和下部分别安装有圆形靶材(4)，所述固定装置(1)和圆形靶材(4)分别设置有数个通孔(5)，并且分别重合在一起，所述固定装置(1)两侧的两个圆孔内分别设置有数个凹槽(6)，并且均通过转轴转动连接有支撑杆(7)，数个所述支撑杆(7)的上部均设置有弹簧，并且均和凹槽(6)的上部相连接，所述固定装置(1)两侧的两个圆孔内均插接有限位杆(8)，数个所述限位杆(8)的中部均设置有卡槽，并且均和支撑杆(7)的一端呈插接设置，数个所述限位杆(8)的上部和下部均设置有伸缩管(9)，所述固定装置(1)的中部分别反向对称设置有数个电动伸缩杆(10)，数个所述电动伸缩杆(10)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：白杨杨，
申请(专利权)人：北京贵金成科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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