【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅刻蚀设备，具体而言，涉及一种防漏水装置及碳化硅刻蚀设备。
技术介绍
1、现有技术中，碳化硅刻蚀设备的制冷机直接放置在地面上，制冷机在运行的过程中会在制冷机的裸露管道外侧形成冷凝的冰层或霜层。在制冷机运行过程中，尤其是在制冷机停机之后，冰层或霜层融化为水造成地面积水。
技术实现思路
1、本技术的目的包括，提供了一种防漏水装置，其能够改善现有技术中容易造成地面积水的技术问题。
2、本技术的目的还包括，提供了一种碳化硅刻蚀设备，其能够改善现有技术中容易造成地面积水的技术问题。
3、本技术的实施例可以这样实现：
4、本技术的实施例提供了一种防漏水装置，应用于碳化硅刻蚀设备的制冷机，所述防漏水包括：
5、接水盘，设有用于容纳所述制冷机的承载空间；
6、支撑件，一端连接于所述接水盘底部以支撑所述接水盘；以及，
7、排水组件，与所述接水盘连接，且用于在开启状态下排出所述承载空间的水。
8、本技术提供的防漏...
【技术保护点】
1.一种防漏水装置，应用于碳化硅刻蚀设备的制冷机(11)，其特征在于，所述防漏水包括：
2.根据权利要求1所述的防漏水装置，其特征在于，所述支撑件(200)远离所述接水盘(100)的端部设置有支撑片(230)，所述支撑片(230)与所述支撑件(200)固定连接，且所述支撑片(230)用于固定于承载所述防漏水装置(10)的承载面上。
3.根据权利要求2所述的防漏水装置，其特征在于，所述支撑片(230)通过铆钉固定于所述承载面。
4.根据权利要求1所述的防漏水装置，其特征在于，所述排水组件(300)包括排水管(310)和排水阀(320)...
【技术特征摘要】
1.一种防漏水装置，应用于碳化硅刻蚀设备的制冷机(11)，其特征在于，所述防漏水包括：
2.根据权利要求1所述的防漏水装置，其特征在于，所述支撑件(200)远离所述接水盘(100)的端部设置有支撑片(230)，所述支撑片(230)与所述支撑件(200)固定连接，且所述支撑片(230)用于固定于承载所述防漏水装置(10)的承载面上。
3.根据权利要求2所述的防漏水装置，其特征在于，所述支撑片(230)通过铆钉固定于所述承载面。
4.根据权利要求1所述的防漏水装置，其特征在于，所述排水组件(300)包括排水管(310)和排水阀(320)；所述排水管(310)的一端连接于所述接水盘(100)，且所述排水管(310)的内部通道与所述承载空间(110)连通；所述排水阀(320)连接于所述排水管(310)以用于打开所述排水管(310)以使所述排水组件(300)处于所述开启状态，还用于关闭所述排水管(310)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：莫中友，胥鹏程，李大龙，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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