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本技术提供了一种防漏水装置及碳化硅刻蚀设备，涉及碳化硅刻蚀设备技术领域。该防漏水包括接水盘、支撑件和排水组件。接水盘设有用于容纳制冷机的承载空间。支撑件一端连接于接水盘底部以支撑接水盘。排水组件与接水盘连接，且用于在开启状态下排出承载空间的...
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