【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气缸防护罩的气动驱动开闭装置，尤其涉及一种可使防护罩往复运动的闭合装置。
技术介绍
1、通常，在半导体、平板显示等生产过程中使用大量的高纯度工艺气体。这些工艺气体可以用于例如沉积、蚀刻等一系列的过程，并为了保持工艺的稳定性而被供应。这些工艺气体可以通过气体柜(gas cabinet)以适当的压力安全且准确地供应到半导体、平板显示等生产过程中。气体柜包括存储工艺气体的气缸(cylinder)、从气缸内部提取工艺气体并供应到工艺线的供应线、以及在供应线上净化可能残留的气体的净化(purge)线。如同专业人员所熟知的，气缸通过连接器，例如市面上可购买的气缸气体适配器(cga；cylinder gasadaptor)，与供应线流体连接，从而可以将存储在气缸内的工艺气体通过控制阀门供应到预定的工艺中。通常，气缸可能是高压压缩气体气缸，存储在气缸内的工艺气体以非常高的压力存储，因此具有潜在的危险性。如果未经授权的人松开气缸气体适配器，通过气缸的阀门排放到外部的工艺气体可能会腐蚀周围的设备并威胁到工人的安全。为此，专利文献1提供了一种装有防护罩的气缸组件，该组件包括气缸本体和阀门，以保护阀门。专利文献1的防护罩具有环绕阀门和气缸本体颈部的环形结构。因此，为了更换气缸，工人必须拆卸防护罩才能从阀门分离供应线(例如，软管或管道)，这是一个复杂的结构。
2、技术问题：本专利技术旨在解决上述问题，即选择性地开启或关闭防护罩，以防止外部因素不必要地接触连接器，例如气缸气体适配器。此外，本专利技术的防护罩的开闭装置是气动驱动的。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，以解决上述的问题。
2、基于上述目的，本专利技术提供了一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置。
3、根据本专利技术的优选实施例，一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，包括：存储工艺气体的气缸；工艺气体供应到后端设备的供应线；连接气缸与供应线的连接器；以及能够往复移动以保护连接器的防护罩。其中，防护罩可以通过供应到后退用气动操作室内的气压和位于前进用气动操作室的弹簧来实现在前后方向上的往复移动，从而允许或阻止与气缸连接的连接器的接入。
4、在本专利技术中，壳体可以在后端部形成排气孔，以确保防护罩的顺利后退移动。
5、本专利技术的壳体内部(气动操作室)和杆导向器的通孔可以沿同一轴线排列，以实现活塞的前后往复移动。
6、此外，杆导向器可以沿轴向形成插入孔，而防护罩可以在与插入孔对应的板的后面沿轴向延伸设有导向销。
7、进一步的，导向销与活塞或盖子平行。
8、进一步的，气缸用的护罩的气动式开闭装置可以通过夹具与供应线连接到外壳。
9、进一步的，夹具设有帮助固定供应线的第一定位槽，并在管状部分的外周面上固定的第一支架部分；以及帮助固定供应线的第二定位槽和与第一支架部分铰接的第二支架部分。在本专利技术的另一个实施例中，外壳内部，更具体地说，是在后退式气动工作室内，可以额外地在管状部分的侧面上钻有排气孔，以便将内部的气体排放到外部。
10、进一步的，本专利技术可以限制活塞的后退行程距离，使其等于或大于活塞头的厚度与弹簧的最大压缩长度之和，从管状部分的后面的内部面到排气孔的距离。
11、本专利技术的有益效果：
12、1.本专利技术提供了一种气缸的阀门和与供应线相连的连接器的保护罩，该保护罩利用气压和弹簧的弹性力作为手段，可以进行往复运动，当提供气压时，可以使保护罩后退移动；而在不提供气压的正常情况下，通过弹簧的弹性力，可以将保护罩前进放置，从而防止连接器与外部接触。也就是说，本专利技术可以使保护罩向连接器上方前进移动，从而禁止访问连接器，并使保护罩从连接器上后退移动，从而允许访问连接器，如上所述，本专利技术采用气压和弹簧力的简单结构。
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1.一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，包括以下结构：
2.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述壳体(100)在后端部(130)形成有排气孔(131)。
3.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述通孔(210)、开放部(120)和气动操作室(140)沿同一轴线排列。
4.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述导杆(200)沿轴向形成有插入孔(240)以避免与壳体(100)重叠，防护罩(300)在与插入孔(240)对应的板(310)的后面沿轴向延伸设有导向销(340)。
5.根据权利要求4所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述导向销(340)与活塞(330)或盖子(320)平行延伸。
6.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述壳体(100)通过夹具(600)与供应线(L)连接，其中夹具(600)包括设有第一定位槽(611)以帮助固定供应线(L)的第一持有部(610)和
7.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述壳体(100)在管状部分(110)的侧面上额外穿设有排放孔(111)。
8.根据权利要求7所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述管状部分(110)的后端部的内部面到排放孔(111)的间距(D)大于或等于活塞头(332)的厚度(T3)与弹簧(500)的最大压缩长度(T5)之和。
...【技术特征摘要】
1.一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，包括以下结构：
2.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述壳体(100)在后端部(130)形成有排气孔(131)。
3.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述通孔(210)、开放部(120)和气动操作室(140)沿同一轴线排列。
4.根据权利要求1所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述导杆(200)沿轴向形成有插入孔(240)以避免与壳体(100)重叠，防护罩(300)在与插入孔(240)对应的板(310)的后面沿轴向延伸设有导向销(340)。
5.根据权利要求4所述的一种气缸防护罩的气动驱动开闭装置，其特征在于，所述导向销(340)与活塞(33...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔红梅，朴景斌，王振华，
申请(专利权)人：陕西韩阳电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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