【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于金属薄膜，具体而言，涉及一种金属网格柔性透明导电薄膜及其制备方法和应用。
技术介绍
1、透明电极(te)在许多现代设备中扮演着关键的角色，包括太阳能电池、发光二极管、触摸屏、可穿戴电子设备和透明加热器等。长期以来，透明电极领域一直由透明导电氧化物(tco)主导。在20世纪50年代早期，人们报道了一种高光学透明度的宽带隙半导体材料，例如sno2和in2o3，这些半导体材料可以通过杂质掺杂的方法增强其导电性。经过60多年的广泛研究，氧化铟锡(ito)薄膜作为一种具有优异光学和电子性能的代表透明电极材料应运而生，并且已经被广泛商业化使用。然而，近年来人们对柔性电子设备的灵活性、拉伸性和可折叠性的需求越来越高，ito不仅在生产上受限于铟资源的严重短缺，而且其本身机械柔韧性较差，在应变或弯曲时容易出现裂纹。目前市场上虽然有ito/pet基板可以应用于柔性光电子器件，但由于ito的脆性，在柔性基板上ito的弯曲应变耐受性和循环抗疲劳性不足，使得柔性ito/pet基板难以在可拉伸、可折叠或可弯曲的光电子器件中得到实际应用。
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【技术保护点】
1.一种金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述薄膜包括柔性衬底和溅射金属网格，所述金属网格在柔性衬底上形成各种所需的图案。
2.根据权利要求1所述的金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述柔性衬底选自软质PET衬底、CPI衬底或柔性超薄玻璃；
3.根据权利要求1或2所述的金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述金属网格的厚度为50nm～600nm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述金属网格在550nm处的光透过率达到90％以上，优选达到92％以上，更优选达到93.5％以上；
...【技术特征摘要】
1.一种金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述薄膜包括柔性衬底和溅射金属网格，所述金属网格在柔性衬底上形成各种所需的图案。
2.根据权利要求1所述的金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述柔性衬底选自软质pet衬底、cpi衬底或柔性超薄玻璃；
3.根据权利要求1或2所述的金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述金属网格的厚度为50nm～600nm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的金属网格柔性透明导电薄膜，其特征在于，所述金属网格在550nm处的光透过率达到90％以上，优选达到92％以上，更优选达到93.5％以上；
5.一种权利要求1至4中任一项所述金属网格柔性透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
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【专利技术属性】
技术研发人员：吕坚，肖旭芬，卜钰，刘鹏飞，
申请(专利权)人：香港城市大学深圳福田研究院，
类型：发明
国别省市：
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