【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显示领域，具体涉及一种显示面板及其制造方法。
技术介绍
1、显示面板已经广泛用于人们生活中，例如手机、电脑等的显示屏幕。随着显示面板产业的迅猛发展，人们除了对显示面板具有高分辨、宽视角、低功耗等要求外，也对显示面板提出了其它要求。
2、然而，现有技术中，显示面板的制造过程，仍然存在由于光阻层较厚导致像素电极等电极的制造精度和均一性较差的问题。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种显示面板，可以解决显示面板的制造过程，仍然存在由于光阻层较厚导致像素电极等电极的制造精度和均一性较差的问题。
2、本申请实施例提供了一种显示面板，包括：
3、基底；
4、有源层，设置于所述基底上，所述有源层包括多个半导体部、多个垫层部；
5、第一绝缘层，设置于多个所述垫层部上；
6、第一电极层，设置于所述第一绝缘层上，所述第一电极层包括多个第一电极，在所述显示面板的厚度方向上，所述第一电极与对应的所述垫层部重叠设置。
7、可选地，在本申请的一些实施例中，所述显示面板包括多个子像素，所述垫层部对应所述子像素设置，所述第一电极为对应所述子像素设置的像素电极。
8、可选地，在本申请的一些实施例中，所述垫层部包括多个垫层子部，所述第一电极包括多个第一子电极，所述第一子电极对应所述垫层子部设置。
9、可选地，在本申请的一些实施例中，所述垫层子部呈条状设置，所述第一子电极与所述垫层子部呈对应的条状设
10、可选地，在本申请的一些实施例中，所述第一绝缘层还设置于多个所述半导体部和多个所述垫层部之间的第一间隙中，以及相邻的所述垫层子部之间的第二间隙中。
11、可选地，在本申请的一些实施例中，所述显示面板还包括：
12、第二绝缘层，设置于所述基底和所述第一绝缘层之间，所述第二绝缘层与所述第一绝缘层至少在部分部位接触设置，所述第二绝缘层包括对应所述第一间隙设置的第一凹槽，以及对应所述第二间隙设置的第二凹槽，所述第一绝缘层还设置于所述第一凹槽和所述第二凹槽中。
13、可选地，在本申请的一些实施例中，所述第二绝缘层为栅极绝缘层。
14、可选地，在本申请的一些实施例中，还包括：
15、源漏金属层，设置于所述有源层和所述第一绝缘层之间，所述源漏金属层包括源极和漏极，所述源极和所述漏极间隔设置且分别连接所述半导体部。
16、可选地，在本申请的一些实施例中，所述第一绝缘层包括第一过孔，所述第一过孔对应所述漏极设置，所述第一电极通过所述第一过孔电连接所述漏极。
17、相应地，本申请还提供了一种显示面板的制造方法，包括：
18、提供一基底；
19、在基底上形成有源层，将所述有源层图案化形成多个半导体部和多个垫层部；
20、在所述有源层上形成第一绝缘层；
21、在所述垫层部上形成第一图案光阻层，所述第一图案光阻层覆盖多个所述半导体部和多个所述垫层部之间的第一间隙，所述第一图案光阻层在多个所述垫层部上的厚度为0；
22、对所述第一图案光阻层进行植绒处理；
23、在所述第一图案光阻层和所述第一绝缘层上形成第一电极层；
24、去除所述第一图案光阻层以及所述第一图案光阻层上的所述第一电极层，以形成多个第一电极，在所述显示面板的厚度方向上，所述第一电极与对应的所述垫层部重叠设置。
25、可选地，在本申请的一些实施例中，所述显示面板包括多个子像素；
26、形成所述垫层部后，所述垫层部对应所述子像素设置，所述垫层部包括多个垫层子部；
27、形成多个所述第一电极后，所述第一电极为对应所述子像素设置的像素电极，所述第一电极包括多个第一子电极，所述第一子电极对应所述垫层子部设置。
28、可选地，在本申请的一些实施例中，所述“在基底上形成有源层，将所述有源层图案化形成多个半导体部和多个垫层部”的步骤包括：
29、在所述基底上形成有源层；
30、在所述有源层上形成源漏金属层；
31、通过半色调光罩将所述源漏金属层和所述有源层图案化，所述源漏金属层图案化后包括源极和漏极，所述有源层图案化后包括多个半导体部和多个垫层部，所述源极和所述漏极间隔设置于所述半导体部上。
32、可选地，在本申请的一些实施例中，形成所述第一图案光阻层的步骤包括：
33、在所述第一绝缘层上形成初始光阻层，所述初始光阻层整面覆盖所述第一绝缘层；
34、通过半色调光罩处理所述初始光阻层，以形成第二图案光阻层，所述第二图案光阻层中对应所述漏极的预设部位的厚度为0，所述第二图案光阻层对应多个所述垫层部的厚度，小于所述第二图案光阻层中对应所述第一间隙和多个半导体部的厚度；
35、同时刻蚀处理所述第二图案光阻层和所述预设部位的所述第一绝缘层，以在所述漏极上形成第一过孔，且去除多个所述半导体部和多个所述垫层部上的所述第二图案光阻层。
36、可选地，在本申请的一些实施例中，在所述基底上形成有源层的步骤之前还包括：在所述基底上形成栅极，在所述栅极上形成栅极绝缘层，所述有源层形成在所述栅极绝缘层上；
37、将所述有源层图案化形成多个半导体部和多个垫层部的步骤还包括：将所述栅极绝缘层过刻蚀，以形成对应多个所述半导体部和多个所述垫层部之间的第一间隙的第一凹槽，以及对应相邻的所述垫层子部之间的第二间隙的第二凹槽，所述第一绝缘层还设置于所述第一凹槽和所述第二凹槽中。
38、本申请实施例中，提供了一种显示面板及显示面板的制造方法，显示面板包括：基底；有源层，设置于基底上，有源层包括多个半导体部、多个垫层部；第一绝缘层，设置于多个垫层部上；第一电极层，设置于第一绝缘层上，第一电极层包括多个第一电极，在显示面板的厚度方向上，第一电极与对应的垫层部重叠设置。显示面板的制造方法包括：提供一基底；在基底上形成有源层，将有源层图案化形成多个半导体部和多个垫层部；在有源层上形成第一绝缘层；在垫层部上形成第一图案光阻层，第一图案光阻层覆盖多个半导体部和多个垫层部之间的第一间隙，第一图案光阻层在多个半导体部和多个垫层部上的厚度为0；对第一图案光阻层进行植绒处理；在第一图案光阻层和第一绝缘层上形成第一电极层；去除第一图案光阻层以及第一图案光阻层上的第一电极层，以形成多个第一电极，在显示面板的厚度方向上，第一电极与对应的垫层部重叠设置。本申请中，1)，第一电极与对应的垫层部重叠设置，因此，第一电极的精度和均一性主要由垫层部决定，形成垫层部时，基板上还未形成完整的薄膜晶体管，基板上平坦度较好，形成垫层部时较小的光阻层厚度就可以平坦的覆盖基板，因此，此时光阻层厚度较薄，例如，光阻层的厚度为0.5微米，较薄的光阻层刻蚀形成的垫层部的精度和均一性较好，从而使得第一电极的精度和均一性较好；而现有技术中，形成第一电极的精度和本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括多个子像素，所述垫层部对应所述子像素设置，所述第一电极为对应所述子像素设置的像素电极。
3.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述垫层部包括多个垫层子部，所述第一电极包括多个第一子电极，所述第一子电极对应所述垫层子部设置。
4.如权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述垫层子部呈条状设置，所述第一子电极与所述垫层子部呈对应的条状设置。
5.如权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第一绝缘层还设置于多个所述半导体部和多个所述垫层部之间的第一间隙中，以及相邻的所述垫层子部之间的第二间隙中。
6.如权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：
7.一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括：
8.如权利要求7所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述显示面板包括多个子像素；
9.如权利要求7所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述“在基底上形成有源层，将所述有源层图案化
10.如权利要求9所述的显示面板的制造方法，其特征在于，形成所述第一图案光阻层的步骤包括：
...【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括多个子像素，所述垫层部对应所述子像素设置，所述第一电极为对应所述子像素设置的像素电极。
3.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述垫层部包括多个垫层子部，所述第一电极包括多个第一子电极，所述第一子电极对应所述垫层子部设置。
4.如权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述垫层子部呈条状设置，所述第一子电极与所述垫层子部呈对应的条状设置。
5.如权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第一绝缘层还设置于多个所述半导...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏东明，
申请(专利权)人：惠州华星光电显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。