System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 电子装置的制造方法制造方法及图纸_技高网

电子装置的制造方法制造方法及图纸

技术编号:40341929 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-09 14:29
本发明专利技术公开一种电子装置的制造方法。于基板上形成晶种层。图案化晶种层形成多个子晶种层与多条导电线后,于多个子晶种层上形成金属层。多个子晶种层包括第一子晶种层与第二子晶种层,且第一子晶种层与第二子晶种层间彼此分离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子装置的制造方法,特别是一种可提升电子装置的电性可靠度的电子装置的制造方法。


技术介绍

1、在电子装置的制造过程中,会需要将导电材料形成在基板上,例如可通过电镀制程将导电材料形成在基板上。在电镀铜时,电镀液不均匀、电流密度不均匀或电场不均匀,可能会造成电镀铜层厚薄不均,影响基板翘曲度或进一步影响电子装置的可靠度。

2、有鉴于此,本领域需要持续研究电子装置的制造方法,以改善电镀层厚薄不均的情况。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种电子装置的制造方法,以改善电镀层厚薄不均的情况,提升电子装置的电性可靠度。

2、本专利技术的一些实施例提供一种电子装置的制造方法。首先,提供基板。然后,于基板上形成晶种层。接着,图案化晶种层以形成多个子晶种层与多条导电线。继续,形成金属层于多个子晶种层的其中至少一个上。其中,多个子晶种层包括第一子晶种层与第二子晶种层,且第一子晶种层与第二子晶种层彼此分离。

【技术保护点】

1.一种电子装置的制造方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述多条导电线分别具有一转折。

3.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述金属层包括形成于所述多条导电线上以成为多条走线。

4.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述多条导电线之间的长度差异值不大于15%。

5.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,形成所述金属层于所述第一子晶种层上。

6.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述第一子晶种层包括至少一主要区。

7.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述第一子晶种层包括多个突出部。

8.根据权利要求7所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述多个突出部的其中至少一个具有一导角。

9.根据权利要求8所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述导角介于30°~150°之间。

10.根据权利要求7所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述多个突出部中的任相邻两个之间具有一间隔。

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【技术特征摘要】

1.一种电子装置的制造方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述多条导电线分别具有一转折。

3.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述金属层包括形成于所述多条导电线上以成为多条走线。

4.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,所述多条导电线之间的长度差异值不大于15%。

5.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法,其特征在于,形成所述金属层于所述第一子晶种层上。

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:丁景隆王程麒张又仁王茹立
申请(专利权)人:群创光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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