【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片抛光，尤其涉及一种硅片抛光机。
技术介绍
1、硅片的表面抛光是半导体、微机电系统、微光电等器件制备过程中非常重要的工艺步骤，抛光后硅片的表面非常平整如镜面，满足微纳器件制备的需要。
2、相关技术中，公开了一种硅片抛光机，包括：抛光机，所述抛光机包括多个连接单元；旋转机构，所述旋转机构固定于抛光机的内部；打磨机构，所述打磨机构固定于抛光机的内部；倒角模块，所述倒角模块固定于旋转机构的内部，其由抛光机盖板实现抛光机的开合，通过设置的摄像模块能够识别第一打磨盘表面的杂质，从而方便启动吸尘盒进行清洁，通过设置的固定插口能够对抛光的硅片进行限位，在进行抛光的过程中能够固定多个硅片。
3、但是，上述结构中还存在不足之处，其需要使第二固定块远离硅片解除对硅片的固定后，才可以使硅片进行自转，然而在对硅片抛光的过程中，若解除对硅片的固定，容易导致硅片移动，因此需要使抛光机停转后，对硅片进行自转，较为麻烦。
4、因此，有必要提供一种新的硅片抛光机解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术解决的技术问题是提供一种可以简单有效的对硅片进行抛光打磨，并能够在抛光时使硅片自转，提高打磨效果的硅片抛光机。
2、为解决上述技术问题，本技术提供的硅片抛光机包括：机壳，所述机壳上设置有抛光机构、转动机构和闭合机构；
3、所述抛光机构包括机盖、固定轴、第一电机、环形打磨片和多个连接杆，所述机盖设置在机壳的上方，所述固定轴转动安装在机盖上，所述第
4、所述转动机构包括升降板、多个液压缸、腔体、多个转盘、多个从动轴、多个从动齿轮和驱动组件，所述升降板设置在机壳内，多个所述液压缸均固定安装在机壳的底部内壁上，多个所述液压缸的输出轴均与升降板固定连接，所述腔体开设在升降板上，多个所述转盘均设置在升降板的上方，多个所述从动轴均转动安装在腔体内，多个所述从动轴的顶端均延伸至升降板外并分别与多个转盘的底部固定连接，多个所述从动齿轮分别固定套设在多个从动轴上。
5、作为本技术的进一步方案，所述驱动组件包括驱动轴、主动齿轮和第二电机，所述驱动轴转动安装在腔体内，所述驱动轴的顶端延伸至升降板外，所述主动齿轮固定套设在驱动轴上，所述主动齿轮与多个从动齿轮相啮合，所述第二电机固定安装在升降板的顶部，所述第二电机的输出轴与驱动轴的顶端固定连接。
6、作为本技术的进一步方案，所述闭合机构包括第一条形块、第二条形块、开槽、螺纹杆和内螺纹块，所述第一条形块固定安装在机盖上，所述第二条形块固定安装在机壳上，所述开槽开设在第二条形块上，所述螺纹杆铰接安装在第一条形块的底部，所述螺纹杆贯穿开槽并与开槽相适配，所述内螺纹块螺纹套设在螺纹杆上，所述内螺纹块的顶部与第二条形块的底部相接触。
7、作为本技术的进一步方案，所述转动机构还包括多个夹料组件，所述夹料组件包括放置槽、两个安装槽、两个夹块和两个伸缩杆，所述放置槽开设在转盘的顶部，两个所述安装槽均开设在放置槽的内壁上，两个所述夹块分别设置在两个安装槽内，两个所述伸缩杆分别固定安装在两个安装槽的内壁上，两个所述伸缩杆的输出轴分别与两个夹块固定连接。
8、作为本技术的进一步方案，所述机壳的内壁上开设有两个定位滑槽，两个所述定位滑槽内均滑动安装有定位滑块，两个所述定位滑块相互靠近的一侧均与升降板固定连接。
9、作为本技术的进一步方案，所述内螺纹块的外壁上固定安装有两个转杆，两个所述转杆对称分布。
10、与相关技术相比较，本技术提供的硅片抛光机具有如下有益效果：
11、1、本技术通过设置抛光机构，使得能够通过环形打磨片转动，对硅片进行抛光；
12、2、本技术通过设置转动机构，使得能够简单有效的使硅片进行自转，从而提高对硅片的打磨效果；
13、3、本技术通过设置闭合机构，使得能够简单有效的在打磨时，对机盖进行固定，避免液压缸推动升降板上升时，将机盖顶开。
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1.一种硅片抛光机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅片抛光机，其特征在于：所述驱动组件包括驱动轴、主动齿轮和第二电机，所述驱动轴转动安装在腔体内，所述驱动轴的顶端延伸至升降板外，所述主动齿轮固定套设在驱动轴上，所述主动齿轮与多个从动齿轮相啮合，所述第二电机固定安装在升降板的顶部，所述第二电机的输出轴与驱动轴的顶端固定连接。
3.根据权利要求1所述的硅片抛光机，其特征在于：所述闭合机构包括第一条形块、第二条形块、开槽、螺纹杆和内螺纹块，所述第一条形块固定安装在机盖上，所述第二条形块固定安装在机壳上，所述开槽开设在第二条形块上，所述螺纹杆铰接安装在第一条形块的底部，所述螺纹杆贯穿开槽并与开槽相适配，所述内螺纹块螺纹套设在螺纹杆上，所述内螺纹块的顶部与第二条形块的底部相接触。
4.根据权利要求1所述的硅片抛光机，其特征在于：所述转动机构还包括多个夹料组件，所述夹料组件包括放置槽、两个安装槽、两个夹块和两个伸缩杆，所述放置槽开设在转盘的顶部，两个所述安装槽均开设在放置槽的内壁上，两个所述夹块分别设置在两个安装槽内，两个所述伸缩杆分别固定安
5.根据权利要求1所述的硅片抛光机，其特征在于：所述机壳的内壁上开设有两个定位滑槽，两个所述定位滑槽内均滑动安装有定位滑块，两个所述定位滑块相互靠近的一侧均与升降板固定连接。
6.根据权利要求3所述的硅片抛光机，其特征在于：所述内螺纹块的外壁上固定安装有两个转杆，两个所述转杆对称分布。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片抛光机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅片抛光机，其特征在于：所述驱动组件包括驱动轴、主动齿轮和第二电机，所述驱动轴转动安装在腔体内，所述驱动轴的顶端延伸至升降板外，所述主动齿轮固定套设在驱动轴上，所述主动齿轮与多个从动齿轮相啮合，所述第二电机固定安装在升降板的顶部，所述第二电机的输出轴与驱动轴的顶端固定连接。
3.根据权利要求1所述的硅片抛光机，其特征在于：所述闭合机构包括第一条形块、第二条形块、开槽、螺纹杆和内螺纹块，所述第一条形块固定安装在机盖上，所述第二条形块固定安装在机壳上，所述开槽开设在第二条形块上，所述螺纹杆铰接安装在第一条形块的底部，所述螺纹杆贯穿开槽并与开槽相适配，所述内螺纹块螺纹套设在螺纹杆上，所述内螺纹块的顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵永杰，
申请(专利权)人：杭州致甸工业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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