【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗装置，具体为高分辨率白光干涉仪。
技术介绍
1、白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面。
2、它是以白光干涉技术为原理，为非接触式测量，可避免物件受损，但在测量时只能将器件放置后对上表面起到测量作用，同时，面对器件上下表面的测量要求，需要在对一个表面测量后翻转器件再进行测量，翻转后还要调整白光干涉仪的测量端，较为繁琐，而器件在放置时一个表面由于接触到平台，不仅会出现器件受损的情况，还会导致测量数据与实际不符，基于此，本专利技术提出能够解决上述问题的高分辨率白光干涉仪。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供高分辨率白光干涉仪，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：高分辨率白光干涉仪，包括：
3、干涉仪主体，安装于垫架上；
4、移板，与垫架活动连接，用于承载器件在干涉仪主体下方进行测量，所述移板上开设有槽体；
5、活动框，通过调节组件设置在槽体内，所述活动框内圈两侧分别设置有通道，每个所述通道上均配置一组带体组件，所述带体组件包括封堵通道的隔离带，以及设置在通道内的包覆带和多个固定柱，相邻的两个固定柱之间分布有运动柱；
6、驱动组件，连接两组包覆带，用于牵
7、所述槽体竖向贯通移板，且所述槽体内壁设置有感应器，所述活动框外壁设置有滚珠，活动框处于水平时可带动滚珠接触感应器。
8、所述调节组件包括固接在活动框上的柱杆和安装在移板上的第一动力源，所述柱杆沿移板横向穿出于第一动力源的输出端连接，第一动力源驱动轴杆转动，使活动框翻转，用于调整器件的不同表面朝向干涉仪主体的测量端。
9、所述垫架上至少设置有一组导杆，所述移板底部设置有活动套，所述活动套穿设在导杆上。
10、所述导杆设置有第一固定圈，所述活动套上设置有第二固定圈，第一固定圈可磁吸第二固定圈，使移板在干涉仪主体下方位置处于固定。
11、所述带体组件还包括滑接在通道内的衬板和与通道内壁连接的牵拉弹簧，多个所述运动柱与衬板连接，所述牵拉弹簧与衬板连接，可通过弹性作用牵引衬板向通道内移动复位。
12、所述运动柱的截面呈凸轮状，所述运动柱上设置有衬杆，所述衬杆向上穿过衬板连接有齿圈，所述衬板上安装有伸缩源，所述伸缩源的活动端连接有齿条，所述齿条与多个运动柱上对应的齿圈相啮合，伸缩源驱动齿条直线位移，使多个运动柱转动改变与隔离带内表面接触的位置，用于调整形成的凸起与器件侧壁的接触区域。
13、所述包覆带在通道内依次绕过多个固定柱和多个运动柱，所述包覆带的末端与通道末端内壁连接。
14、所述驱动组件包括轴杆和第二动力源，所述第二动力源输出端与轴杆连接，所述轴杆穿过两个通道，且所述包覆带的首端在通道内通过拉绳与轴杆连接。
15、还提供一种器件测量方法，用于上述任一项技术方案，具体包括以下步骤：
16、s1、将器件置于活动框内圈，通过驱动组件牵拉包覆带动多个运动柱接触隔离带内表面，使隔离带外表面形成多个凸起接触两侧的侧壁形成限位，
17、s2、调整干涉仪主体测量端，对器件的上表面进行第一次测量；
18、s3、通过调节组件驱动活动框转动，使活动框翻转后将器件另一平面竖向对准于干涉仪主体的测量端，然后直接进行第二次测量。
19、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术高分辨率白光干涉仪，驱动组件牵拉包覆带动多个运动柱接触隔离带内表面，使隔离带外表面形成多个延伸出通道的凸起，对器件的两侧壁进行接触从而形成限位，使得器件的下表面不会受到接触，避免了器件表面的受损，且以隔离带作为中间过渡，同时对避免对器件侧壁的损伤；
20、对器件一个表面测量后，通过调节组件驱动活动框转动，使活动框翻转后将器件另一平面竖向对准于干涉仪主体的测量端，无需人工翻转器件，且保证器件两次测量均与干涉仪主体的测量端位置保持一致，无需在再次调整干涉仪主体的测量端，提高了测量效率；
21、通过伸缩源驱动齿条直线位移，调整形成的凸起与器件侧壁的接触区域，可避开器件侧壁上的加工位等非可接触位，有效提高该白光干涉仪的适应性。
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1.高分辨率白光干涉仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述槽体竖向贯通移板(30)，且所述槽体内壁设置有感应器(32)，所述活动框(40)外壁设置有滚珠(41)，活动框(40)处于水平时可带动滚珠(41)接触感应器(32)。
3.根据权利要求2所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述调节组件(50)包括固接在活动框(40)上的柱杆(51)和安装在移板(30)上的第一动力源(52)，所述柱杆(51)沿移板(30)横向穿出于第一动力源(52)的输出端连接，第一动力源(52)驱动轴杆(61)转动，使活动框(40)翻转，用于调整器件的不同表面朝向干涉仪主体(20)的测量端。
4.根据权利要求1所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述垫架(10)上至少设置有一组导杆(11)，所述移板(30)底部设置有活动套(31)，所述活动套(31)穿设在导杆(11)上。
5.根据权利要求4所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述导杆(11)设置有第一固定圈(111)，所述活动套(31)上设置有第二固定圈(
6.根据权利要求1所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述带体组件(70)还包括滑接在通道(42)内的衬板(75)和与通道(42)内壁连接的牵拉弹簧(77)，多个所述运动柱(74)与衬板(75)连接，所述牵拉弹簧(77)与衬板(75)连接，可通过弹性作用牵引衬板(75)向通道(42)内移动复位。
7.根据权利要求6所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述运动柱(74)的截面呈凸轮状，所述运动柱(74)上设置有衬杆，所述衬杆向上穿过衬板(75)连接有齿圈(741)，所述衬板(75)上安装有伸缩源(76)，所述伸缩源(76)的活动端连接有齿条(761)，所述齿条(761)与多个运动柱(74)上对应的齿圈(741)相啮合，伸缩源(76)驱动齿条(761)直线位移，使多个运动柱(74)转动改变与隔离带(71)内表面接触的位置，用于调整形成的凸起与器件侧壁的接触区域。
8.根据权利要求1所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述包覆带(73)在通道(42)内依次绕过多个固定柱(72)和多个运动柱(74)，所述包覆带(73)的末端与通道(42)末端内壁连接。
9.根据权利要求8所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述驱动组件(60)包括轴杆(61)和第二动力源(62)，所述第二动力源(62)输出端与轴杆(61)连接，所述轴杆(61)穿过两个通道(42)，且所述包覆带(73)的首端在通道(42)内通过拉绳(731)与轴杆(61)连接。
10.一种器件测量方法，用于上述权利要求1-9任一项所述的高分辨率白光干涉仪，具体包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.高分辨率白光干涉仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述槽体竖向贯通移板(30)，且所述槽体内壁设置有感应器(32)，所述活动框(40)外壁设置有滚珠(41)，活动框(40)处于水平时可带动滚珠(41)接触感应器(32)。
3.根据权利要求2所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述调节组件(50)包括固接在活动框(40)上的柱杆(51)和安装在移板(30)上的第一动力源(52)，所述柱杆(51)沿移板(30)横向穿出于第一动力源(52)的输出端连接，第一动力源(52)驱动轴杆(61)转动，使活动框(40)翻转，用于调整器件的不同表面朝向干涉仪主体(20)的测量端。
4.根据权利要求1所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述垫架(10)上至少设置有一组导杆(11)，所述移板(30)底部设置有活动套(31)，所述活动套(31)穿设在导杆(11)上。
5.根据权利要求4所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述导杆(11)设置有第一固定圈(111)，所述活动套(31)上设置有第二固定圈(311)，第一固定圈(111)可磁吸第二固定圈(311)，使移板(30)在干涉仪主体(20)下方位置处于固定。
6.根据权利要求1所述的高分辨率白光干涉仪，其特征在于，所述带体组件(70)还包括滑接在通道(42)内的衬板(75)和与通道(42)内壁连...
【专利技术属性】
技术研发人员：王庭云，刘庆，何豪文，
申请(专利权)人：新启航半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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