【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子体处理，尤其涉及一种电感耦合等离子体设备及天线卷绕间距的调整方法。
技术介绍
1、如图1与图2所示，相关技术中的电感耦合等离子体设备1'，往往包括具有处理腔室100'的设备箱体10'，设于处理腔室100'顶部的第一电极11'，设于处理腔室100'底部的第二电极12'，以及设于处理腔室100'内，且位于第一电极11'与设备箱体10'之间的天线13'，天线13'通常为矩形卷绕结构，通过向天线13'以及第二电极12'通电，使得第一电极11'感应天线13'的磁场，在第一电极11'与第二电极12'之间产生高频电磁场，以使位于第一电极11'与第二电极12'之间的气体转化为等离子体，其中，为了便于观察，图1与图2中以粗实线示出了天线13'。
2、该高频电磁场的具体分布以及强度，与天线13'的卷绕间距d'相关，相关技术中，通常在制造前根据使用需求来设计天线13'的具体卷绕间距d'，以使用相应尺寸的天线13'来装配形成电感耦合等离子体设备1'。
3、但是，由于需要使天线13'的各个位置的卷绕间距d'均保持大致相同，因此，相关技术中的天线13'通常为固定的结构，换言之，天线13'的卷绕间距d'不可调整，导致当使用需求发生变化时，只能够将电感耦合等离子体设备1'拆开，以使用具有不同的卷绕间距d'的新的天线13'来更换现有的天线13'，过程繁琐、耗时耗工。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个目的在于提出一种电感耦合等离子体设备，该电感耦合等离子体设备的天线的卷
2、本专利技术的第二个目的在于提出一种天线卷绕间距的调整方法，能够在不拆开调整前述的电感耦合等离子体设备的情况下，调整电感耦合等离子体设备的天线的卷绕间距。
3、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
4、第一方面，提供了一种电感耦合等离子体设备，包括：
5、设备箱体，所述设备箱体具有处理腔室，所述处理腔室具有相对的顶部空间与底部空间；
6、第一电极，所述第一电极设于所述顶部空间；
7、第二电极，所述第二电极设于所述底部空间，所述第二电极与所述第一电极间隔相对；
8、天线，所述天线设于所述处理腔室内，且所述天线位于所述第一电极与所述设备箱体之间，所述天线呈圆形卷绕结构；
9、第一驱动件，所述第一驱动件设置于所述设备箱体，且所述第一驱动件的输出轴连接于所述天线的卷绕结构的中心部分，所述第一驱动件能够带动所述中心部分旋转，以使所述天线绕紧或者放松；以及，
10、间距限位机构，所述间距限位机构包括多个限位组件，沿所述天线的卷绕结构的径向方向上，多个所述限位组件依次等距排列设置，所述限位组件包括相连接的限位件以及第二驱动件，所述限位件能够连接于部分所述天线以限制部分所述天线的位置，所述第二驱动件设置于所述设备箱体，所述第二驱动件能够带动所述限位件移动，以与所述第一驱动件配合调整所述天线的卷绕间距。
11、作为电感耦合等离子体设备的一种优选方案，所述第一驱动件包括依次连接的驱动部、所述输出轴以及引导端，所述驱动部能够驱动所述输出轴旋转，所述引导端固定于所述输出轴，且所述引导端的外周具有引导面，所述引导面至少部分位于所述限位件的靠近所述底部空间的一侧，所述引导面能够引导所述天线绕紧于所述输出轴。
12、作为电感耦合等离子体设备的一种优选方案，所述天线具有相对的第一端以及第二端；
13、所述第一端位于所述天线的卷绕结构的中心部分，所述第二端位于所述天线的卷绕结构的外周，或者，所述天线的中部位于所述天线的卷绕结构的中心部分，所述第一端与所述第二端均位于所述天线的卷绕结构的外周。
14、作为电感耦合等离子体设备的一种优选方案，所述第二驱动件固定设于所述设备箱体，所述第二驱动件能够驱动所述限位件沿所述天线的卷绕结构的轴向方向运动，以使所述限位件能够抵接于部分所述天线以限位，或者使所述限位件能够远离于所述天线。
15、作为电感耦合等离子体设备的一种优选方案，沿所述径向方向上，所述限位件具有相对的两个抵挡面，所述限位组件还包括第一检测件，所述限位件的至少一个所述抵挡面对应设有所述第一检测件，所述第一检测件能够检测所述天线是否相抵接于所述第一检测件对应的所述抵挡面。
16、作为电感耦合等离子体设备的一种优选方案，所述间距限位机构还包括基板，所述基板固定设于所述设备箱体，所述基板等距间隔设有多个通孔，多个所述限位组件一一对应于多个所述通孔设置，所述第二驱动件固定设于所述基板的一侧，所述第二驱动件能驱动所述限位件伸缩于对应的所述通孔，所述限位件能够伸出于所述通孔以至少部分位于所述基板的另一侧。
17、作为电感耦合等离子体设备的一种优选方案，所述间距限位机构还包括滑动座，所述滑动座设置于所述设备箱体，所述第二驱动件连接于所述滑动座，且所述第二驱动件能够驱动所述限位件相对所述滑动座沿所述卷绕结构的径向方向滑动，所述限位件具有限位槽，所述限位件能够将所述天线限位至部分穿设于所述限位槽内，且所述天线相对所述限位槽可滑动。
18、第二方面，提供了一种天线卷绕间距的调整方法，能够调整如前述技术方案中所述的电感耦合等离子体设备的天线的卷绕间距，定义所述天线调整前所抵接的多个所述限位件均为当前限位件，任意两个相邻的所述当前限位件之间的间距为所述天线的当前卷绕间距，所述天线调整后所抵接的多个所述限位件均为目标限位件，任意两个相邻的所述目标限位件之间的间距为所述天线的目标卷绕间距，所述天线卷绕间距的调整方法包括以下步骤：
19、步骤s1、判断所述当前卷绕间距是大于还是小于所述目标卷绕间距；
20、当所述当前卷绕间距大于所述目标卷绕间距时，所述天线卷绕间距的调整方法还包括：
21、步骤s2、沿第一方向上，依次使各所述当前限位件分离于所述天线，且使所述第一驱动件带动所述天线的中心部分旋转，使得所述天线绕紧，以依次使各所述目标限位件与所述天线相抵接，其中，所述第一方向为所述天线的卷绕结构的径向方向，且自所述天线的中心部分向所述天线的外周的方向；
22、当所述当前卷绕间距小于所述目标卷绕间距时，所述天线卷绕间距的调整方法还包括：
23、步骤s3、沿第二方向上，依次使各所述当前限位件分离于所述天线，且使所述第一驱动件带动所述天线的中心部分旋转，使得所述天线放松，以依次使各所述目标限位件与所述天线相抵接，其中，所述第二方向为所述天线的卷绕结构的径向方向，且自所述天线的外周向所述天线的中心部分的方向。
24、作为天线卷绕间距的调整方法的一种优选方案，在所述步骤s3之后，所述天线卷绕间距的调整方法还包括：
25、步骤s4、使所述第一驱动件带动所述天线的中心部分旋转，以使所述天线绕紧，直至所述天线抵接于多个最终限位件；
本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电感耦合等离子体设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，所述第一驱动件包括依次连接的驱动部、所述输出轴以及引导端，所述驱动部能够驱动所述输出轴旋转，所述引导端固定于所述输出轴，且所述引导端的外周具有引导面，所述引导面至少部分位于所述限位件的靠近所述底部空间的一侧，所述引导面能够引导所述天线绕紧于所述输出轴。
3.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，所述天线具有相对的第一端以及第二端；
4.根据权利要求1-3任一项所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，所述第二驱动件能够驱动所述限位件沿所述天线的卷绕结构的轴向方向运动，以使所述限位件能够抵接于部分所述天线以限位，或者使所述限位件能够远离于所述天线。
5.根据权利要求4所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，沿所述径向方向上，所述限位件具有相对的两个抵挡面，所述限位组件还包括第一检测件，所述限位件的至少一个所述抵挡面设有所述第一检测件，所述第一检测件能够检测所述天线是否相抵接于所述第一检测件对应的所述抵挡面。
...【技术特征摘要】
1.一种电感耦合等离子体设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，所述第一驱动件包括依次连接的驱动部、所述输出轴以及引导端，所述驱动部能够驱动所述输出轴旋转，所述引导端固定于所述输出轴，且所述引导端的外周具有引导面，所述引导面至少部分位于所述限位件的靠近所述底部空间的一侧，所述引导面能够引导所述天线绕紧于所述输出轴。
3.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，所述天线具有相对的第一端以及第二端；
4.根据权利要求1-3任一项所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，所述第二驱动件能够驱动所述限位件沿所述天线的卷绕结构的轴向方向运动，以使所述限位件能够抵接于部分所述天线以限位，或者使所述限位件能够远离于所述天线。
5.根据权利要求4所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，沿所述径向方向上，所述限位件具有相对的两个抵挡面，所述限位组件还包括第一检测件，所述限位件的至少一个所述抵挡面设有所述第一检测件，所述第一检测件能够检测所述天线是否相抵接于所述第一检测件对应的所述抵挡面。
6.根据权利要求4所述的电感耦合等离子体设备，其特征在于，所述间距限位机构还包括基板，所述基板固定设于所述设备箱体，所述基板等距间隔设有多个通孔，多个所述限位组件一一对应于多个所述通孔设置，所述第二驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎志恒，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。