【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气动泵，具体为一种高密封性定量电子级气动泵。
技术介绍
1、定量电子级气动泵是一种新型输送机械，是国内最新颖的一种泵类，主要用在集成电路板加工中。采用压缩空气为动力源，对于各种腐蚀性液体，带颗粒的液体，高粘度、易挥发、易燃、剧毒的液体，均能予以抽光吸尽。
2、现有的定量电子级气动泵的盖板与护套之间的方式，通常采用在护板与护套面接触的周圈利用销栓或螺栓等形式，将护板与护套连接，在护板与护套之间设置密封圈进行密封，实现护板与护套的连接密封，但在长期使用过程中，由于螺栓等松动或密封圈的老化等原因，导致气动泵出现漏液的情况发生，对集成电路板造成损坏，不仅影响生产，降低了生产效率，同时由于气动泵使用寿命端，增加了生产成本。
技术实现思路
1、本技术的目的在于对现有技术中存在的不足，提供给了一种高密封性定量电子级气动泵，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高密封性定量电子级气动泵，包括壳体，所述壳体内安装有泵芯，所述泵芯上...
【技术保护点】
1.一种高密封性定量电子级气动泵，包括壳体，所述壳体内安装有泵芯，所述泵芯上安装有进液管和出液管，所述进液管与出液管相互垂直设置，其特征在于，所述壳体包括：
2.根据权利要求1所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，所述支撑板（5）包括：
3.根据权利要求2所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，还包括第一弹性密封垫，设于环形壳（1）连接处。
4.根据权利要求1所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，所述封装壳（3）包括：
5.根据权利要求4所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，还包括第...
【技术特征摘要】
1.一种高密封性定量电子级气动泵，包括壳体，所述壳体内安装有泵芯，所述泵芯上安装有进液管和出液管，所述进液管与出液管相互垂直设置，其特征在于，所述壳体包括：
2.根据权利要求1所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，所述支撑板（5）包括：
3.根据权利要求2所述的一种高密封性定量电子级气动泵，其特征在于，还包括第一弹性密封垫，设于环形壳（1）连接处。
4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴仁君，柯建宇，
申请(专利权)人：江苏明力思半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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