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一种高密封性定量电子级气动泵制造技术
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下载一种高密封性定量电子级气动泵的技术资料
文档序号:40329472
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本技术公开了一种高密封性定量电子级气动泵,属于气动泵技术领域。包括壳体,所述壳体内安装有泵芯,所述泵芯上安装有进液管和出液管,所述进液管与出液管相互垂直设置,其特征在于,所述壳体包括两组环形壳(1),其一端相互插接形成腔体用于放置泵芯;每组...
该专利属于江苏明力思半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏明力思半导体有限公司授权不得商用。
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