【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太阳能电池制备设备，尤其涉及一种蒸镀设备及蒸镀工艺。
技术介绍
1、钙钛矿太阳能电池具有制备工艺简单、生产成本低以及材料来源广等优点，其性价比较高，越来越受产业青睐，有望逐步发展为新一代主流太阳能电池。随着研究深入和发展，钙钛矿电池器件的光电转换效率也从2009年的3.8％发展到2023年的26％。
2、目前，钙钛矿太阳能电池的钙钛矿薄膜可以采用真空蒸镀的方式制备，即通过物理气相沉积法或化学气相沉积法，在真空状态下采用一步共蒸法或顺序蒸发法直接将钙钛矿膜层材料沉积到待蒸镀物体上，再经高温退火形成钙钛矿薄膜。
3、用于实现真空蒸镀的设备通常具有承载装置、加热装置、支撑装置、蒸镀室和真空装置，承载装置和加热装置位于蒸镀室内部，承载装置用于放置钙钛矿材料，加热装置用于对承载装置进行加热，进而实现对承载装置上的钙钛矿材料进行加热，使钙钛矿材料蒸发形成蒸汽。支撑装置用于放置蒸镀基板(即待蒸镀物体)，真空装置用于对蒸镀室提供真空环境，使蒸发后的材料蒸汽快速沉积到待蒸镀物体上。
4、但是，蒸镀时，容易出现蒸汽在待蒸镀物体上分布不均匀的问题，进而导致待蒸镀物体上不同区域沉积的材料的厚度不同的问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种蒸镀设备及蒸镀工艺，旨在使蒸镀材料在待蒸镀物体上沉积的更加均匀。
2、为了解决上述问题，一方面，本专利技术实施例提供一种蒸镀设备，包括蒸发装置、缓冲装置以及蒸镀装置；所述蒸发装置包括加热室以及第一加热模组，
3、可选的，所述填料球为具有中空腔体的空心球，所述填料球的外表面设有多个通气孔，各所述通气孔均与所述填料球的中空腔体连通；各所述填料球的中空腔体均通过其自身的通气孔与所述缓冲室连通。
4、可选的，相邻两个所述填料球之间具有间隙，使得蒸汽能够从相邻两个所述填料球之间通过。
5、可选的，多个所述填料球分为多个填料层，且沿着所述缓冲室进气口至所述缓冲室的出气口的方向，各所述填料层依次排布；每一个所述填料层所具有的填料球的数量为至少一个，同一所述填料层所具有的填料球的外径相同；沿着所述缓冲室的进气口至所述缓冲室的出气口的方向，各所述填料层所具有的填料球的外径以及通气孔的孔径都逐渐减小，各所述填料层所具有的填料球的数量逐渐增多。
6、可选的，所述缓冲室包括第一缓冲腔，沿着所述缓冲室的进气口至所述缓冲室的出气口的方向，所述第一缓冲腔的横截面半径逐渐增大，所述填料层所具有的填料球设置在所述第一缓冲腔内。
7、可选的，所述缓冲装置还包括第二加热模组，所述第二加热模组用于对所述缓冲室内的蒸汽进行加热。
8、可选的，所述第二加热装置包括多个换热盘管；沿着所述缓冲室的进气口至所述缓冲室的出气口的方向，各所述换热盘管依次间隔排布；各所述换热管盘依次连通；相邻两个所述换热管盘中一个的进口与另一个的出口连通；最远离所述缓冲室进气口的换热管盘的出口与该换热管盘相邻的换热管盘的出口连接。
9、可选的，所述填料球放置在所述管盘上；位于最外侧的两个换热管盘之间的各换热管盘中的任一个都设置在相邻两层填料球之间，并与所述填料球接触。
10、可选的，所述第二加热装置包括气源、加热源以及通气管；所述通气管分别连接所述气源的出气口和所述缓冲室的进气口；所述气源可以通过所述通气管向所述缓冲室内通气；所述加热装置用于对从所述气源通入所述缓冲室的气体进行加热。
11、可选的，所述缓冲装置位于所述蒸镀室内，并与所述蒸镀室的侧壁密封接触。
12、可选的，所述蒸发装置位于所述缓冲室的外侧，且所述蒸发装置位于所述蒸镀室的外侧；
13、所述蒸发装置还包括第一阀门，所述第一阀门设置在所述缓冲室的进气口与所述加热室的出气口之间，用于控制所述缓冲室的进气口与所述加热室的出气口导通和断开；所述蒸发装置的数量为多个。
14、为了解决上述问题，一方面，本专利技术实施例提供一种蒸镀工艺，应用于上述任一项所述的蒸镀装置，包括以下步骤：对缓冲室、蒸镀室以及放置有待蒸发物体的加热室进行抽真空；当加热室内的真空度达到第一预定值时，控制第一加热模组工作，以对加热室内的待蒸发物体进行加热，使待蒸发物体能够在气化形成蒸汽后进入缓冲室和蒸镀室。
15、可选的，在所述控制第一加热模组工作的步骤进行的同时，保持对缓冲室、蒸镀室以及加热室进行抽真空；在所述控制第一加热模组工作的步骤中，当加热室内的真空度稳定时，控制加热装置的第一阀门打开，以使加热室内的蒸汽能够进入缓冲室；当缓冲室内的真空度达到第二预定值时，控制第二加热模组工作，以对缓冲室内的气体进行加热；其中，所述第一预定值大于所述第二预定值。
16、可选的，多个所述蒸发装置中包括第一蒸发装置和第二蒸发装置；所述第一蒸发装置的加热室和所述第二蒸发装置的加热室分别放置不同材质的待蒸发物体；所述当加热室内的真空度达到第一预定值时，控制所述第一加热模组工作的步骤，包括：当所述第一蒸发装置的加热室内的真空度达到第一预定值时，对所述第一蒸发装置的加热室进行加热，并使所述第一蒸发装置的加热室内温度保持在第一温度；当所述第二蒸发装置的加热室内的真空度达到第一预定值时，对所述第二蒸发装置的加热室进行加热，并使所述第二蒸发装置的加热室内温度保持在第二温度。
17、在本专利技术提供的蒸镀设备及蒸镀工艺中，通过填充在缓冲室内的各填料球对进入到缓冲室的材料蒸汽进行有效分散，从而使蒸汽在缓冲室内分散的更均匀，蒸镀时，将待蒸镀物体放置在缓冲室的出气口处，使材料蒸汽快速均匀的沉积在待蒸镀物体上，既提高了沉积在待蒸镀物体上薄膜厚度的均匀性和蒸镀工艺速率，同时由于待蒸镀物体距离蒸汽出口距离非常近，从缓冲室出来的蒸汽不易扩散到蒸镀腔室中去，从而大大的提高了蒸镀材料的利用率，减少了蒸镀腔体的清理频率。
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1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸发装置、缓冲装置以及蒸镀装置；
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述填料球为具有中空腔体的空心球，所述填料球的外表面设有多个通气孔，各所述通气孔均与所述填料球的中空腔体连通；各所述填料球的中空腔体均通过其自身的通气孔与所述缓冲室连通；和/或
3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，多个所述填料球分为多个填料层，且沿着所述缓冲室进气口至所述缓冲室的出气口的方向，各所述填料层依次排布；
4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述缓冲室包括第一缓冲腔，沿着所述缓冲室的进气口至所述缓冲室的出气口的方向，所述第一缓冲腔的横截面半径逐渐增大，所述填料层所具有的填料球设置在所述第一缓冲腔内。
5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述缓冲装置还包括第二加热模组，所述第二加热模组用于对所述缓冲室内的蒸汽进行加热；
6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述填料球放置在所述管盘上；
7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述缓冲装置位于所述
8.一种蒸镀工艺，应用于权利要求1-7任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的蒸镀工艺，其特征在于，在所述控制第一加热模组工作的步骤进行的同时，保持对缓冲室、蒸镀室以及加热室进行抽真空；
10.根据权利要求9所述的蒸镀工艺，其特征在于，多个所述蒸发装置中包括第一蒸发装置和第二蒸发装置；所述第一蒸发装置的加热室和所述第二蒸发装置的加热室分别放置不同材质的待蒸发物体；
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸发装置、缓冲装置以及蒸镀装置；
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述填料球为具有中空腔体的空心球，所述填料球的外表面设有多个通气孔，各所述通气孔均与所述填料球的中空腔体连通；各所述填料球的中空腔体均通过其自身的通气孔与所述缓冲室连通；和/或
3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，多个所述填料球分为多个填料层，且沿着所述缓冲室进气口至所述缓冲室的出气口的方向，各所述填料层依次排布；
4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述缓冲室包括第一缓冲腔，沿着所述缓冲室的进气口至所述缓冲室的出气口的方向，所述第一缓冲腔的横截面半径逐渐增大，所述填料层所具有的填料球设置在所述第一缓冲腔内。
5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁作，马昆松，任虎鸣，
申请(专利权)人：深圳无限光能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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