一种气体流量控制阀用接头制造技术

技术编号:40322411 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-09 14:17
本技术提供一种气体流量控制阀用接头,该接头包括接头本体,接头本体包括相对设置的固定端和外接端,接头本体的内部设有自固定端向外接端延伸并贯通接头本体的气体通道,外接端上位于气体通道外周的位置设有弧形凸起,弧形凸起与气体通道共轴设置,弧形凸起自远离气体通道的一端至靠近气体通道的一端截面积逐渐增大,弧形凸起的最大外径不大于外接端的外径,通过在外接端上设置弧形凸起,便于与其他部件进行连接,同时保证了连接处的密封效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及阀门,尤其涉及一种气体流量控制阀用接头


技术介绍

1、阀门是流体输送系统中的控制部件,用来开闭管路、控制流向等的管路附件,不同的阀门可以控制输送不同的流体。

2、在半导体领域,很多工艺过程中都需要对使用到的气体流量进行控制,以保证工艺生产的质量,这就需要使用到气体流量阀。传统的流量阀安装时,大多通过阀体两端通口处固定设置的法兰进行安装,由于法兰对阀体通口外部空间占据较大,法兰难以拆离,不便于与其他部件进行连接,且连接处的密封效果无法保证,影响了半导体工艺生产的质量。


技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种气体流量控制阀用接头。

2、为实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种气体流量控制阀用接头,包括接头本体,接头本体包括相对设置的固定端和外接端,接头本体的内部设有自固定端向外接端延伸并贯通接头本体的气体通道,外接端上位于气体通道外周的位置设有弧形凸起,弧形凸起与气体通道共轴设置,弧形凸起自远离气体通道的一端至靠近气体通道的一端截面积逐渐增大,弧形凸起的最大外径不大于外接端的外径。

3、较佳地,气体通道靠近弧形凸起的位置设有圆锥面,气体通道通过圆锥面与弧形凸起连接,圆锥面自靠近气体通道的一端至靠近弧形凸起的一端内径逐渐增大,圆锥面的最小内径等于气体通道的内径,圆锥面的最大内径等于弧形凸起的最小内径。

4、进一步地,固定端的外径大于外接端的外径。

5、进一步地,接头本体的侧壁上与外接端邻近的位置设有外接槽,弧形凸起的最大外径不大于外接槽的外径。

6、进一步地,接头本体的侧壁中部设有加强凸起。

7、与现有技术相比,本技术的有益效果为:通过在外接端上设置弧形凸起,便于与其他部件进行连接,同时保证了连接处的密封效果;通过在气体通道靠近弧形凸起的位置设置圆锥面,气体通道通过圆锥面与弧形凸起连接,且圆锥面自靠近气体通道的一端至靠近弧形凸起的一端内径逐渐增大,便于气体经由该接头进入/流出气体流量控制阀,方便气体的输送。

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【技术保护点】

1.一种气体流量控制阀用接头,其特征在于,包括接头本体,所述接头本体包括相对设置的固定端和外接端,所述接头本体的内部设有自所述固定端向所述外接端延伸并贯通所述接头本体的气体通道,所述外接端上位于所述气体通道外周的位置设有弧形凸起,所述弧形凸起与所述气体通道共轴设置,所述弧形凸起自远离所述气体通道的一端至靠近所述气体通道的一端截面积逐渐增大,所述弧形凸起的最大外径不大于所述外接端的外径。

2.如权利要求1所述的一种气体流量控制阀用接头,其特征在于,所述气体通道靠近所述弧形凸起的位置设有圆锥面,所述气体通道通过所述圆锥面与所述弧形凸起连接,所述圆锥面自靠近所述气体通道的一端至靠近所述弧形凸起的一端内径逐渐增大,所述圆锥面的最小内径等于所述气体通道的内径,所述圆锥面的最大内径等于所述弧形凸起的最小内径。

3.如权利要求2所述的一种气体流量控制阀用接头,其特征在于,所述固定端的外径大于所述外接端的外径。

4.如权利要求2所述的一种气体流量控制阀用接头,其特征在于,所述接头本体的侧壁上与所述外接端邻近的位置设有外接槽,所述弧形凸起的最大外径不大于所述外接槽的外径。

5.如权利要求2所述的一种气体流量控制阀用接头,其特征在于,所述接头本体的侧壁中部设有加强凸起。

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【技术特征摘要】

1.一种气体流量控制阀用接头,其特征在于,包括接头本体,所述接头本体包括相对设置的固定端和外接端,所述接头本体的内部设有自所述固定端向所述外接端延伸并贯通所述接头本体的气体通道,所述外接端上位于所述气体通道外周的位置设有弧形凸起,所述弧形凸起与所述气体通道共轴设置,所述弧形凸起自远离所述气体通道的一端至靠近所述气体通道的一端截面积逐渐增大,所述弧形凸起的最大外径不大于所述外接端的外径。

2.如权利要求1所述的一种气体流量控制阀用接头,其特征在于,所述气体通道靠近所述弧形凸起的位置设有圆锥面,所述气体通道通过所述圆锥面与所述弧形凸起连接,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:大吕伟
申请(专利权)人:兴化日成金属制品有限公司
类型:新型
国别省市:

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