薄膜缺陷视觉检测设备制造技术

本技术适用于薄膜检测领域，公开了一种薄膜缺陷视觉检测设备，包括机架、载台、承载座、驱动结构、视觉检测机构、第一光源模组和第二光源模组，薄膜可以放置在载台上；载台可拆卸地连接于承载座，并对放置于吸附载台上的薄膜进行固定，载台为透光载台或不透光载台；驱动结构设于机架上，驱动结构用于驱动视觉检测机构和承载座之间进行相对移动，以使视觉检测机构对薄膜的不同区域进行扫描。第一光源模组用于对载台的正面发射光，第一光源模组能对载台朝向视觉检测机构的一面发射光，以对薄膜打前光。本申请实施例的薄膜缺陷视觉检测设备可通过更换不同的载台，并搭配使用不同的光源模组来进行前光实验和背光实验，以满足不同的实验需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及薄膜检测领域，尤其涉及一种薄膜缺陷视觉检测设备。

技术介绍

1、薄膜产品，如共烧陶瓷基板，其分为高温共烧陶瓷(htcc)多层基板和低温共烧陶瓷(ltcc)多层基板。共烧多层陶瓷基板通常由许多单片陶瓷基板薄膜经过叠层、热压、脱胶、烧结等工艺制成。低温共烧陶瓷(ltcc)广泛应用于高频无线通信、航空航天、存储器、驱动器、滤波器、传感器以及汽车电子等领域，常见的低温共烧陶瓷(ltcc)电子元器件产品包括滤波器、双工器、天线、巴伦、耦合器、功分器、共模扼流圈等。低温共烧陶瓷(ltcc)广泛应用于高可靠性微电子集成电路、大功率微组装电路、车载大功率电路等领域。由此，对如共烧陶瓷基板等薄膜类产品进行检测以把控其质量显得尤为重要。

2、相关技术中，检测薄膜缺陷的设备在对薄膜物料进行打光实验时，使用胶布将薄膜产品的四周贴在不透光的平台载具上，这种平台载具让设备无法对薄膜产品进行背光实验。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种薄膜缺陷视觉检测设备，其旨在解决相关技术中检测薄膜缺陷的设备使用不透光的平本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述载台设有吸附部，所述承载座设有真空部件，所述真空部件与所述吸附部连通，以至少用于当薄膜放置于所述载台上时，将薄膜与载台之间的空气经吸附部抽出，以使薄膜贴合于载台。

3.如权利要求2所述的薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述载台包括第一板体和可放置薄膜的第二板体，所述第二板体连接于所述第一板体，所述吸附部包括设于所述第二板体的吸附孔，以及设于所述第一板体的通孔，所述真空部件通过所述通孔与所述吸附孔连通；

4.如权利要求3所述的薄膜缺陷视觉检测设...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述载台设有吸附部，所述承载座设有真空部件，所述真空部件与所述吸附部连通，以至少用于当薄膜放置于所述载台上时，将薄膜与载台之间的空气经吸附部抽出，以使薄膜贴合于载台。

3.如权利要求2所述的薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述载台包括第一板体和可放置薄膜的第二板体，所述第二板体连接于所述第一板体，所述吸附部包括设于所述第二板体的吸附孔，以及设于所述第一板体的通孔，所述真空部件通过所述通孔与所述吸附孔连通；

4.如权利要求3所述的薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述第二板体设有至少一个放置区，每个所述放置区均设有至少两个排列均匀的所述吸附孔，所述第一板体上与各所述放置区相对应的位置均设有所述通孔；

5.如权利要求3所述的薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述第一板体的中心设有凹槽，所述第二板体收容于所述凹槽内，所述凹槽的底壁开设有开口，以显露部分所述第二板体；

6.如权利要求5所述的薄膜缺陷视觉检测设备，其特征在于，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟生，罗红亮，
申请(专利权)人：深圳禾思众成科技有限公司，
类型：新型
国别省市：