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薄膜缺陷视觉检测设备制造技术
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文档序号:40322280
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本技术适用于薄膜检测领域,公开了一种薄膜缺陷视觉检测设备,包括机架、载台、承载座、驱动结构、视觉检测机构、第一光源模组和第二光源模组,薄膜可以放置在载台上;载台可拆卸地连接于承载座,并对放置于吸附载台上的薄膜进行固定,载台为透光载台或不透光...
该专利属于深圳禾思众成科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳禾思众成科技有限公司授权不得商用。
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