【技术实现步骤摘要】
本申请涉及高压及电流测量设备，尤其涉及一种电子枪高压参数测量装置。
技术介绍
1、电子枪主要用于高熔点金属熔炼、金属镀膜等。在使用过程中，电子枪高压为电子提供初速度，发射出具有一定能量、速度和角度的电子束流。目标材料放置于坩埚等容器中，经过电子轰击加热达到熔点从而实现熔炼的目的。异常条件下电子束可能会发生偏移，轰击容器的其它位置，损坏系统设备或破坏真空，导致目标金属氧化或污染。因此，准确的监测电子束的相关参数，确保电子束参数异常时系统可以及时做出保护动作是必要的。
2、电子束的关键参数包括电子枪高压、束流、光阑电流、偏转磁场电压&电流、聚焦磁场电压&电流、扫描磁场电压&电流等。其中，电子枪主高压、束流及光阑电流是反应电子束轨迹和功率大小的核心参数，对电子枪运行状态也可以更直观的反应：运动电荷在磁场中受力的公式：f＝qvb，其中，q表示电荷所带的电量,单位是库伦,v表示电荷运动速度,b表示磁场强度；可知电子束的速度不同，在磁场中偏转的方向也不同；电子束偏转导致光阑回路中电子数量增多，即光阑电流增大。因此...
【技术保护点】
1.一种电子枪高压参数测量装置，用于对电子枪系统进行信号采集，所述电子枪系统包括依次设置的电子枪电源(41)、电子枪(33)、光阑(35)和坩埚(36)，其特征在于，所述装置包括高压分压器组件和用于采集所述电子枪(33)的电子束参数的信号采集插箱(3)，所述高压分压器组件包括高压采样点(2)和高压分压器本体(1)，所述高压分压器本体(1)的一端为高压分压器高压端(11)，所述高压分压器本体(1)的另一端为高压分压器低压端，所述高压采样点(2)通过电子枪高压线(4)分别与所述电子枪(33)、所述电子枪电源(41)和所述高压分压器高压端(11)连接，所述高压分压器低压端与...
【技术特征摘要】
1.一种电子枪高压参数测量装置，用于对电子枪系统进行信号采集，所述电子枪系统包括依次设置的电子枪电源(41)、电子枪(33)、光阑(35)和坩埚(36)，其特征在于，所述装置包括高压分压器组件和用于采集所述电子枪(33)的电子束参数的信号采集插箱(3)，所述高压分压器组件包括高压采样点(2)和高压分压器本体(1)，所述高压分压器本体(1)的一端为高压分压器高压端(11)，所述高压分压器本体(1)的另一端为高压分压器低压端，所述高压采样点(2)通过电子枪高压线(4)分别与所述电子枪(33)、所述电子枪电源(41)和所述高压分压器高压端(11)连接，所述高压分压器低压端与所述信号采集插箱(3)连接，所述信号采集插箱(3)还分别与所述电子枪电源(41)、所述电子枪(33)、所述光阑(35)和所述坩埚(36)连接。
2.根据权利要求1所述的电子枪高压参数测量装置，其特征在于，所述信号采集插箱(3)包括外壳体以及设置于所述外壳体内部的采样电路，所述外壳体的一侧连接有插箱背板，另一侧连接有采样显示面板，所述采样电路分别与所述插箱背板和所述采样显示面板连接；
3.根据权利要求2所述的电子枪高压参数测量装置，其特征在于，所述采样电路包括用于采集电子枪高压的高压采集电路、用于采集电子枪束流的束流采集电路和用于采集光阑电流的光阑电流采集电路，
4.根据权利要求2或3所述的电子枪高压参数测量装置，其特征在于，所述采样显示面板包括第一采样板和第二采样板，所述第一采样板上设有高压采样显示器(13)和束流显示器(14)，所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘明远，游云龙，王绪磊，谈小虎，贾子朝，李菊，王洪强，李顺清，曹祖国，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：
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