【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆上下料的，尤其是涉及一种上下料设备。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其主要用于制造芯片和集成电路，在晶圆的制作过程中，硅片会被加工成具有特定功能的微小电子组件，这些组件被集成在晶圆上则实现了集成电路的制造。目前晶圆的制作通常包括以下步骤：衬底加工成型、清洗、氧化、光刻、电离注入和扩散、沉积以及封装，其中要完成封装，首先需要在晶圆表面涂抹背胶，然后将封装件与背胶接触并放置于烘烤设备内进行固化才能得到成品，由于在工厂内通常烘烤设备和背胶设备会分别设置在不同的位置，所以在用背胶设备在晶圆上粘贴背胶后需要先下料，然后将晶圆搬运至烘烤设备才能完成上料烘烤，并且通常需要搬运的晶圆数量较多，不仅费时费力而且效率不高。
技术实现思路
1、为了便于将多个晶圆搬运至烘烤设备内进行烘烤，本申请提供一种上下料设备。
2、本申请提供的一种上下料设备采用如下技术方案：
3、一种上下料设备，包括输送装置，所述输送装置上设有上下料装置和固定架，所述固定架上放置有用于存放多个晶圆的储料架，所述上下料装置用于移动储料架并放置于烘烤设备内，所述输送装置用于带动上下料装置和固定架移动；
4、还包括plc程控器，所述输送装置和所述上下料装置均与plc程控器连接。
5、通过采用上述技术方案，能够将多个晶圆存放于储料架内，然后驱动输送装置即可带动储料架移动至烘烤设备一侧，此时驱动上下料装置能够将放有晶圆的储料架移动至烘烤设备内进行烘烤；plc程
6、优选的，所述储料架包括放置于固定架上的底盘，所述底盘上设有若干竖板，每一所述竖板上均设有多组用于放置晶圆的承托板组，所述竖板顶端设有第一相抵件，所述第一相抵件用于与上下料装置相抵从而便于上下料装置移动储料架。
7、通过采用上述技术方案，能够将一个晶圆对应放置于一层承托板组上从而在储料架上放置多个晶圆，之后驱动上下料装置能够通过与第一相抵件相抵的方式来移动储料架。
8、优选的，所述底盘包括与竖板相连的底板，所述底板上设有多个抵靠件，所述固定架上设有多个限位柱，多个所述限位柱用于与抵靠件相抵从而对储料架进行限位。
9、通过采用上述技术方案，在将储料架放置于固定架上后，能通过多个限位柱来对储料架进行限位。
10、优选的，所述固定架上还设有限位开关，所述限位开关用于检测储料架在固定架上的位置，所述plc程控器响应于限位开关的检测信号而控制上下料装置运作。
11、通过采用上述技术方案，限位开关能够检测储料架的位置，从而便于plc程控器控制上下料装置运作。
12、优选的，所述上下料装置包括驱转件，所述驱转件设于输送装置上，所述驱转件上设有机械手，所述机械手上设有第二相抵件，所述机械手用于带动第二相抵件与第一相抵件相抵从而移动储料架。
13、通过采用上述技术方案，机械手能够带动第二相抵件移动从而与第一相抵件相抵来带动储料架移动。
14、优选的，所述第一相抵件包括设于竖板上的横连接部，所述横连接部顶端设有竖连接部，所述竖连接部顶端设有第一抵板；所述第二相抵件包括连接于机械手的第二抵板，所述第二抵板上开有容纳槽，所述容纳槽用于容纳第一抵板并对第一抵板限位，所述第二抵板上位于容纳槽内设有用于与第一抵板相抵的台阶部。
15、通过采用上述技术方案，驱动机械手能够将第二抵板移动使得第一抵板位于容纳槽内且第一抵板在台阶部上方，容纳槽能够对第一抵板进行限位，此时驱动机械将第二抵板向上移动即可抬起储料架从而移动储料架。
16、优选的，所述机械手为七轴机械手；所述固定架上形成有多个存放区域，每一所述存放区域均包括相对设置的第一出料口和第二出料口。
17、通过采用上述技术方案，由于晶圆生产室内通常较为狭窄，使用七轴机械手能够便于在狭窄空间内移动储料架；驱动七轴机械手能够便于将储料架自第一出料口或第二出料口移出。
18、优选的，所述输送装置包括安装基座，所述安装基座上滑动连接有固定板，所述固定板相连于固定架和上下料装置；
19、所述安装基座上设有传动齿条，所述固定板上转设有转动轮，所述转动轮与传动齿条啮合；所述固定板上还设有驱动件，所述驱动件与转动轮相连，所述驱动件用于带动转动轮转动从而使得固定板移动；所述安装基座上沿着滑轨设置方向设有滑触线，所述滑触线用于与外部电源连接，所述固定板上设有通电臂，所述通电臂与滑触线、驱动件、机械手均相连，所述通电臂用于使得外部电源能够通过滑触线对机械手和驱动件进行供电。
20、通过采用上述技术方案，驱动驱动件能够使得固定板在安装基座上滑动，固定架和上下料装置能够随着固定板的移动而移动；通过固定板滑动时滑触线与供电臂的连接来实现外部电源对机械手和驱动件的供电，此结构能够减少电线等其他供电结构，从而能够在狭窄空间内实现供电。
21、优选的，所述安装基座上沿着传动齿条设置方向设有滑轨，所述固定板上设有滑块，所述滑块与滑轨之间滑动连接。
22、综上所述，本专利技术包括以下至少一种有益技术效果：
23、1．能够将多个晶圆存放于储料架内，然后驱动输送装置即可带动储料架移动至烘烤设备一侧，此时驱动上下料装置能够将放有晶圆的储料架移动至烘烤设备内进行烘烤；plc程控器能够优化上述动作效率，本申请能效率较高的将多个晶圆搬运至烘烤设备内进行烘烤；
24、2.由于晶圆生产室内通常较为狭窄，使用七轴机械手能够便于在狭窄空间内移动储料架，通过固定板滑动时滑触线与通电臂的接触来实现外部电源对机械手的供电，此结构能够减少电线等其他供电结构，从而能够在狭窄空间内实现供电。
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1.一种上下料设备，其特征在于：包括输送装置(1)，所述输送装置(1)上设有上下料装置(2)和固定架(3)，所述固定架(3)上放置有用于存放多个晶圆的储料架(4)，所述上下料装置(2)用于移动储料架(4)并放置于烘烤设备内，所述输送装置(1)用于带动上下料装置(2)和固定架(3)移动；
2.根据权利要求1所述的一种上下料设备，其特征在于：所述储料架(4)包括放置于固定架(3)上的底盘(41)，所述底盘(41)上设有若干竖板(42)，每一所述竖板(42)上均设有多组用于放置晶圆的承托板组(43)，所述竖板(42)顶端设有第一相抵件(44)，所述第一相抵件(44)用于与上下料装置(2)相抵从而便于上下料装置(2)移动储料架(4)。
3.根据权利要求2所述的一种上下料设备，其特征在于：所述底盘(41)包括与竖板(42)相连的底板(411)，所述底板(411)上设有多个抵靠件(412)，所述固定架(3)上设有多个限位柱(32)，多个所述限位柱(32)用于与抵靠件(412)相抵从而对储料架(4)进行限位。
4.根据权利要求3所述的一种上下料设备，其特征在
5.根据权利要求2所述的一种上下料设备，其特征在于：所述上下料装置(2)包括驱转件(21)，所述驱转件(21)设于输送装置(1)上，所述驱转件(21)上设有机械手(22)，所述机械手(22)上设有第二相抵件(23)，所述机械手(22)用于带动第二相抵件(23)与第一相抵件(44)相抵从而移动储料架(4)。
6.根据权利要求5所述的一种上下料设备，其特征在于：所述第一相抵件(44)包括设于竖板(42)上的横连接部(441)，所述横连接部(441)顶端设有竖连接部(442)，所述竖连接部(442)顶端设有第一抵板(443)；所述第二相抵件(23)包括连接于机械手(22)的第二抵板(231)，所述第二抵板(231)上开有容纳槽(232)，所述容纳槽(232)用于容纳第一抵板(443)并对第一抵板(443)限位，所述第二抵板(231)上位于容纳槽(232)内设有用于与第一抵板(443)相抵的台阶部(233)。
7.根据权利要求5所述的一种上下料设备，其特征在于：所述机械手(22)为七轴机械手；所述固定架(3)上形成有多个存放区域(31)，每一所述存放区域(31)均包括相对设置的第一出料口(311)和第二出料口(312)。
8.根据权利要求7所述的一种上下料设备，其特征在于：所述输送装置(1)包括安装基座(11)，所述安装基座(11)上滑动连接有固定板(14)，所述固定板(14)相连于固定架(3)和上下料装置(2)；
9.根据权利要求8所述的一种上下料设备，其特征在于：所述安装基座(11)上沿着传动齿条(15)设置方向设有滑轨(12)，所述固定板(14)上设有滑块(13)，所述滑块(13)与滑轨(12)之间滑动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种上下料设备，其特征在于：包括输送装置(1)，所述输送装置(1)上设有上下料装置(2)和固定架(3)，所述固定架(3)上放置有用于存放多个晶圆的储料架(4)，所述上下料装置(2)用于移动储料架(4)并放置于烘烤设备内，所述输送装置(1)用于带动上下料装置(2)和固定架(3)移动；
2.根据权利要求1所述的一种上下料设备，其特征在于：所述储料架(4)包括放置于固定架(3)上的底盘(41)，所述底盘(41)上设有若干竖板(42)，每一所述竖板(42)上均设有多组用于放置晶圆的承托板组(43)，所述竖板(42)顶端设有第一相抵件(44)，所述第一相抵件(44)用于与上下料装置(2)相抵从而便于上下料装置(2)移动储料架(4)。
3.根据权利要求2所述的一种上下料设备，其特征在于：所述底盘(41)包括与竖板(42)相连的底板(411)，所述底板(411)上设有多个抵靠件(412)，所述固定架(3)上设有多个限位柱(32)，多个所述限位柱(32)用于与抵靠件(412)相抵从而对储料架(4)进行限位。
4.根据权利要求3所述的一种上下料设备，其特征在于：所述固定架(3)上还设有限位开关(33)，所述限位开关(33)用于检测储料架(4)在固定架(3)上的位置，所述plc程控器响应于限位开关(33)的检测信号而控制上下料装置(2)运作。
5.根据权利要求2所述的一种上下料设备，其特征在于：所述上下料装置(2)包括驱转件(21)，所述驱转件(21)设于输送装置(1)上，所述驱转件...
【专利技术属性】
技术研发人员：李风雪，刘跃辉，顾金冬，魏崇林，李发元，
申请(专利权)人：苏州前迅机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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