【技术实现步骤摘要】
本专利技术设及传感器领域，尤其涉及的是一种压阻式微触碰检测探针及其制备方法。
技术介绍
1、随着加工制造业的不断发展以及现阶段对加工元件微小化的追求，微米级/纳米级工件的数量需求越来越多，使用场景也越来越大。
2、现阶段行业内对于精密元件的测量主要采用激光测量、高精度影像测量以及压阻传感测量这几种方式，其中，激光测量使用场景限制较大，高精度影像测量所需设备成本过高，因此在实际使用时一般不会被用户主动选择，由此，压阻式传感测量逐渐成为现阶段行业内的主要测量方式。
3、在压阻式测量设备中，对压力的感知及传递是最主要的部分，但是现有相关设备中，用于接收以及传递压力的探头通常由材料延伸后获得，基于此种等刚度的检测结构，在实际测量时，探头常常通过较大弯曲形变进行压力的收集和传递，而在探头的弯曲过程中不可避免地会出现压力损耗，由此使测量结果与实际数值发生偏差，这种偏差在微米级/纳米级工件中会造成较为严重的影响，因此，针对微米级/纳米级工件来说，如何制备一种具有能够提高其测量精确程度的检测探头使目前行业内至关重要的问题。>
<本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种压阻式微触碰检测探针，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的压阻式微触碰检测探针，其特征在于：其包括相互对应的多个所述压阻件以及多个所述安装槽，所述传导部设置于所述基底中心，多个所述安装槽围绕所述传导部设置。
3.根据权利要求1所述的压阻式微触碰检测探针，其特征在于：所述传导部包括依次连接的固定部、应力集中部以及承接部，所述安装槽延伸至所述固定部，所述探头连接所述承接部，所述应力集中部的横截面直径小于所述固定部和所述承接部的横截面直径，且所述应力集中部设置于所述传导部中轴线上。
4.根据权利要求1所述的压阻式微触碰检测...
【技术特征摘要】
1.一种压阻式微触碰检测探针，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的压阻式微触碰检测探针，其特征在于：其包括相互对应的多个所述压阻件以及多个所述安装槽，所述传导部设置于所述基底中心，多个所述安装槽围绕所述传导部设置。
3.根据权利要求1所述的压阻式微触碰检测探针，其特征在于：所述传导部包括依次连接的固定部、应力集中部以及承接部，所述安装槽延伸至所述固定部，所述探头连接所述承接部，所述应力集中部的横截面直径小于所述固定部和所述承接部的横截面直径，且所述应力集中部设置于所述传导部中轴线上。
4.根据权利要求1所述的压阻式微触碰检测探针，其特征在于：所述基底还包括相互连接的封装部和连接部，所述封装部连接于所述连接部一侧且在水平方向上，所述封装部的边缘凸出于所述连接部以形成第一台阶面，所述安装槽及所述传导部均设置于所述连接部上。
5.根据权利要求4所述的压阻式微触碰检测探针，其特征在于：其还包括壳体，所述壳体上设有供所述传导部穿出的安装孔，且所述壳体内部设有与所述第一台阶面相配合的第二台阶面，所述封装部、所述连接部及所述压阻件均...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈思远，王可军，马铭晨，张子豪，关宇昂，鲍冠宇，王倩，李松键，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：
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