下载一种压阻式微触碰检测探针及其制备方法的技术资料

文档序号:40316948

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本发明提供一种压阻式微触碰检测探针及其制备方法,其包括:基底,基底包括传导部以及至少一个安装槽,传导部沿基底高度方向延伸设置,安装槽延伸至传导部;至少一个压阻件,至少一个压阻件对应设置于至少一个安装槽中;探头,探头的弹性模量大于压阻件的弹性...
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