【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种波前操纵器(1),所述波前操纵器至少具有沿参考轴线(9)依次布置的第一光学部件(2)和第二光学部件(3),其中所述第一光学部件(2)和所述第二光学部件(3)被布置成能够垂直于所述参考轴线(9)相对于彼此移动,
2.根据权利要求1所述的波前操纵器(1),
3.根据权利要求1或权利要求2所述的波前操纵器(1),
4.根据权利要求1或权利要求2所述的波前操纵器(1),
5.根据权利要求1或权利要求2所述的波前操纵器(1),
6.根据权利要求1至5之一所述的波前操纵器(1),
7.根据权利要求1至
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种波前操纵器(1),所述波前操纵器至少具有沿参考轴线(9)依次布置的第一光学部件(2)和第二光学部件(3),其中所述第一光学部件(2)和所述第二光学部件(3)被布置成能够垂直于所述参考轴线(9)相对于彼此移动,
2.根据权利要求1所述的波前操纵器(1),
3.根据权利要求1或权利要求2所述的波前操纵器(1),
4.根据权利要求1或权利要求2所述的波前操纵器(1),
5.根据权利要求1或权利要求2所述的波前操纵器(1),
6.根据权利要求1至5之一所述的波前操纵器(1),
7.根据权利要求1至6之一所述的波前操纵器(1),
8.根据权利要求1至7之一所述的波前...
【专利技术属性】
技术研发人员:马尔科·普雷托利乌斯,马库斯·西塞尔伯格,
申请(专利权)人:卡尔蔡司股份公司,
类型:发明
国别省市:
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