下载波前操纵器和光学装置的技术资料

文档序号:40315526

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公开了一种波前操纵器(1),该波前操纵器至少具有沿参考轴线(9)依次布置的第一光学部件(2)和第二光学部件(3),其中第一光学部件(2)和第二光学部件(3)被布置成能够垂直于参考轴线(9)相对于彼此移动。第一光学部件(2)和第二光学部件(3...
该专利属于卡尔蔡司股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司股份公司授权不得商用。

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