【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及离子、原子发生装置领域，特别涉及一种激光分束溅射装置及使用方法。
技术介绍
1、载入样品是使用离子阱装置的首要环节，其中，通过激光溅射载入样品是一种常用的方式，即利用激光束照射到材料表面，使材料表面的原子电离或脱离、射入到离子阱的囚禁区域。常规的激光溅射装置只能载入一种样品离子，然而，在离子阱中做协同冷却实验时，一般需要装载两种或以上的样品离子，只激光溅射一种样品是不够的，因此现有的激光溅射装置仍具有不足之处。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种激光分束溅射装置及使用方法。
2、根据本专利技术第一方面实施例的激光分束溅射装置，包括激光器、载物台、反射组件、分束组件、合束组件和聚焦组件，所述反射组件具有第三入射面和第三出射面，所述激光器与所述第三入射面之间设有第一光路，所述载物台与所述第三出射面之间设有第二光路；所述分束组件包括分束器，所述分束器具有第一入射面、第一一出射面和第一二出射面，所述第一光路依次穿过所述第一入射面和第一一出射面；所述合束组件包括合束器，所述合束器具有第一出射面、第一一入射面和第一二入射面，所述第二光路穿过所述第一一入射面和第一出射面，所述第一二出射面朝向所述第一二入射面；所述聚焦组件设于所述合束组件与所述载物台之间，所述第二光路穿过所述聚焦组件。
3、根据本专利技术第一方面实施例的激光分束溅射装置，至少具有如下技术效果：使用时，可于载物台放置两种样品，通过设置分
4、根据本专利技术的一些实施例，所述分束器包括第一1/2波片和第一偏振分光棱镜，所述第一1/2波片位于所述第一偏振分光棱镜与所述激光器之间。使用时可调节第一1/2波片的旋转角度，以调节激光器发出的激光的偏振方向，进而改变分束形成的两束激光的能量比值，可对两种样品材料进行激光溅射、产生两种样品离子，也可做到仅对某一种样品材料进行激光溅射、只产生一种样品离子，以适应更多的实验需求。
5、根据本专利技术的一些实施例，所述分束组件与所述激光器之间设有偏振片或1/4波片。这样激光器射出的激光能转变为线偏光，以便于通过第一1/2波片对其偏振方向进行准确调整。
6、根据本专利技术的一些实施例，所述分束组件包括多个分束器，所述合束组件包括多个合束器，多个所述分束器与多个所述合束器一一对应设置，相邻的所述合束器之间设有第二1/2波片。通过设置多个分束器和多个束器，使用时可于载物台放置三种以上的样品，激光器发出的一束激光能分束形成三束以上激光、并且分束形成的各束激光的传递方向基本一致，使得分束形成的各束激光能同时对更多的样品进行激光溅射，对各种样品进行激光溅射产生的各种样品混合体能一同载入到离子阱，本专利技术的激光分束溅射装置的使用范围更广。
7、根据本专利技术的一些实施例，所述聚焦组件包括凸透镜、固定座和移动座，所述凸透镜设于所述移动座，所述移动座沿所述第二光路与所述固定座相对移动。这样可调节凸透镜的位置、以改变聚焦效果，方便找到能使分束形成的两束激光聚焦到样品材料表面的凸透镜的位置。
8、根据本专利技术的一些实施例，所述固定座和所述移动座均呈筒状，所述固定座与所述移动座螺纹连接。这样转动移动座即可调节凸透镜的位置，结构简单，操作简便。
9、根据本专利技术的一些实施例，激光分束溅射装置还包括真空腔体，所述载物台设于所述真空腔体内。这样离子阱的实验在真空条件下进行，减少干扰。
10、根据本专利技术的一些实施例，所述反射组件包括两个高反镜，两个所述高反镜分别设于所述第一光路、所述第二光路的端部。这样结构简单，便于设置。
11、本专利技术第二方面实施例的使用方法，应用上述的激光分束溅射装置向离子阱装置载入两种样品离子，所述使用方法包括以下步骤：
12、将离子阱装置置于载物台上方，并在载物台上放置两种样品；
13、启动激光器，激光器发出的光束经分束器分成第一一光束和第一二光束，第一二光束射向合束器，第一一光束射向反射组件、被反射组件导引至所述合束器，合束器将第一一光束和第一二光束组合射向载物台的样品位置；
14、调节反射组件和聚焦组件，使从合束器射出的第一一光束和第一二光束分别射向两种样品；
15、调节第一1/2波片，进而调节第一一光束和第一二光束的能量比值。
16、根据本专利技术第二方面实施例的使用方法，至少具有如下技术效果：通过使用上述的激光分束溅射装置，便于对两种样品进行激光溅射、产生的两种样品混合体一同载入到离子阱，便于进行协同冷却实验。
17、根据本专利技术的一些实施例，所述反射组件包括两个高反镜，两个所述高反镜分别设于所述第一光路、第二光路的端部；调节反射组件的方式为分别调节两个高反镜的角度。这样转动两个高反镜即可，无需对高反镜的重心进行位移，有利于稳定地进行调节。
18、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种激光分束溅射装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述分束器包括第一1/2波片和第一偏振分光棱镜，所述第一1/2波片位于所述第一偏振分光棱镜与所述激光器之间。
3.根据权利要求2所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述分束组件与所述激光器之间设有偏振片或1/4波片。
4.根据权利要求1所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述分束组件包括多个分束器，所述合束组件包括多个合束器，多个所述分束器沿所述第一光路依次排列，多个所述合束器沿所述第二光路依次排列，多个分束器的第一二出射面与多个所述合束器的第一二入射面一一对应设置，相邻的所述合束器之间设有第二1/2波片。
5.根据权利要求1所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述聚焦组件包括凸透镜、固定座和移动座，所述凸透镜设于所述移动座，所述移动座沿所述第二光路与所述固定座相对移动。
6.根据权利要求5所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述固定座和所述移动座均呈筒状，所述固定座与所述移动座螺纹连接。
7.根据权利要求1所
8.根据权利要求1所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述反射组件包括两个高反镜，两个所述高反镜分别设于所述第一光路、所述第二光路的端部。
9.一种使用方法，其特征在于：应用如权利要求2所述的激光分束溅射装置向离子阱装置载入两种样品离子，所述使用方法包括以下步骤：
10.根据权利要求9所述的使用方法，其特征在于：所述反射组件包括两个高反镜，两个所述高反镜分别设于所述第一光路、第二光路的端部；调节反射组件的方式为分别调节两个高反镜的角度。
...【技术特征摘要】
1.一种激光分束溅射装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述分束器包括第一1/2波片和第一偏振分光棱镜，所述第一1/2波片位于所述第一偏振分光棱镜与所述激光器之间。
3.根据权利要求2所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述分束组件与所述激光器之间设有偏振片或1/4波片。
4.根据权利要求1所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述分束组件包括多个分束器，所述合束组件包括多个合束器，多个所述分束器沿所述第一光路依次排列，多个所述合束器沿所述第二光路依次排列，多个分束器的第一二出射面与多个所述合束器的第一二入射面一一对应设置，相邻的所述合束器之间设有第二1/2波片。
5.根据权利要求1所述的激光分束溅射装置，其特征在于：所述聚焦组件包括凸透镜、固定座和移动座，所述凸透镜设于所述移...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨天罡，肖越，彭永旭，杨学明，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：
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