System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 液体喷射头及其制造方法技术_技高网

液体喷射头及其制造方法技术

技术编号:40308264 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-07 20:52
一种液体喷射头包括:喷嘴板,用于喷射液体的喷嘴设置于该喷嘴板处;基板,该基板包括用于产生压力的压电元件,该压力用于从喷嘴喷射液体;壁部件,该壁部件由树脂制造,并设置在喷嘴板和基板之间,以便形成与喷嘴连通的压力腔室。在形成压力腔室的壁部件的多个侧表面中,提供了用于连接至少两个侧表面的结构。还公开了一种液体喷射头的制造方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液体喷射头以及该液体喷射头的制造方法。


技术介绍

1、为了在作为液体喷射装置的喷墨打印机上实现更高清晰度和更高质量的打印,必须通过提高液体喷射头的加工精度来制造高清晰度的液体喷射头。日本专利no.4300565讨论了一种压电液体喷射头,其中,可以通过使用光敏树脂作为压力腔室的材料而以低成本以高度集成的方式来布置喷嘴。

2、根据日本专利no.4300565中讨论的液体喷射头,通过使用光敏树脂形成压力腔室来提高加工精度而以高度集成的方式来布置喷嘴。不过,在喷嘴的集成程度提高的情况下,由于在相邻压力腔室之间的壁较薄并且可能容易变形,因此液体喷射频率可能降低。


技术实现思路

1、本专利技术的方案总体上提供一种能够在压力腔室由树脂形成的情况下抑制压力腔室变形的液体喷射头以及该液体喷射头的制造方法。

2、根据本专利技术的一个方面,一种液体喷射头包括:喷嘴板,用于喷射液体的喷嘴设置于该喷嘴板中;基板,该基板包括用于产生压力的压电元件,该压力用于从喷嘴喷射液体;壁部件,该壁部件由树脂制造,并设置在喷嘴板和基板之间,以便形成与喷嘴连通的压力腔室,其中,在形成压力腔室的壁部件的多个侧表面中,提供了用于连接至少两个侧表面的结构件。

3、根据本专利技术的另一方面,一种液体喷射头的制造方法,该液体喷射头包括:喷嘴板,用于喷射液体的喷嘴设置于该喷嘴板中;基板,该基板包括用于产生压力的压电元件,该压力用于从喷嘴喷射液体;壁部件,该壁部件由树脂制造,并设置在喷嘴板和基板之间,以便形成与喷嘴连通的压力腔室,其中,在形成压力腔室的壁部件的多个侧表面中,提供了用于连接至少两个侧表面的结构件,该方法包括:在基板上形成压电元件;通过使用光敏树脂而在基板上形成壁部件;以及将喷嘴板粘接在壁部件上,其中,形成壁部件包括:模制第一光敏树脂和使得第一光敏树脂曝光,在第一光敏树脂上模制第二光敏树脂和使得第二光敏树脂曝光,以及使第一光敏树脂和第二光敏树脂共同显影。

4、通过从下面参考附图对实施例的说明,将清楚本专利技术的其它特征。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种液体喷射头,包括:

2.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,所述压力腔室是由所述壁部件、喷嘴板和基板围绕的空间。

3.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,通过使用与所述壁部件的材料相同的材料而使所述结构件与所述壁部件形成一体。

4.根据权利要求1所述的液体喷射头,

5.根据权利要求1所述的液体喷射头,

6.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,在沿与所述基板垂直的方向的平面图中,所述结构件布置在所述压电元件沿长边方向的两端处,所述压电元件有矩形形状。

7.根据权利要求1所述的液体喷射头,还包括:在压电元件和压力腔室之间的振动板,

8.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,在沿与所述基板垂直的方向的平面图中,在所述压力腔室中没有所述结构件的部分沿长边方向的长度与所述压力腔室沿长边方向的长度的比率为90%以下。

9.根据权利要求1所述的液体喷射头,

10.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,所述基板包括用于将液体供给压力腔室的液体供应口以及用于使液体流出所述压力腔室以使得液体循环的液体出口。

11.根据权利要求10所述的液体喷射头,

12.根据权利要求10所述的液体喷射头,

13.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,所述壁部件和所述结构件覆盖有由杨氏模量为50GPa以上的材料制造的功能膜。

14.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,所述壁部件由两层或更多层树脂形成。

15.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,所述喷嘴板和壁部件形成一体。

16.根据权利要求1所述的液体喷射头,

17.根据权利要求16所述的液体喷射头,其中,所述凹入部分覆盖有由杨氏模量为50GPa以上的材料制造的功能膜。

18.根据权利要求1所述的液体喷射头,还包括:驱动电路,所述驱动电路设置成施加驱动电信号,所述驱动电信号用于驱动所述多个压电元件中的每一个,

19.一种液体喷射头的制造方法,所述液体喷射头包括:喷嘴板,用于喷射液体的喷嘴设置于所述喷嘴板处;基板,所述基板包括用于产生压力的压电元件,所述压力用于从所述喷嘴喷射液体;壁部件,所述壁部件由树脂制造,并设置在所述喷嘴板和基板之间,以便形成与所述喷嘴连通的压力腔室,其中,在形成所述压力腔室的壁部件的多个侧表面中,提供了用于连接至少两个侧表面的结构件,所述制造方法包括:

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【技术特征摘要】

1.一种液体喷射头,包括:

2.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,所述压力腔室是由所述壁部件、喷嘴板和基板围绕的空间。

3.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,通过使用与所述壁部件的材料相同的材料而使所述结构件与所述壁部件形成一体。

4.根据权利要求1所述的液体喷射头,

5.根据权利要求1所述的液体喷射头,

6.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,在沿与所述基板垂直的方向的平面图中,所述结构件布置在所述压电元件沿长边方向的两端处,所述压电元件有矩形形状。

7.根据权利要求1所述的液体喷射头,还包括:在压电元件和压力腔室之间的振动板,

8.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,在沿与所述基板垂直的方向的平面图中,在所述压力腔室中没有所述结构件的部分沿长边方向的长度与所述压力腔室沿长边方向的长度的比率为90%以下。

9.根据权利要求1所述的液体喷射头,

10.根据权利要求1所述的液体喷射头,其中,所述基板包括用于将液体供给压力腔室的液体供应口以及用于使液体流出所述压力腔室以使得液体循环的液体出口。

11.根据权利要求10所述的液体喷射头,<...

【专利技术属性】
技术研发人员:柳沼诚一郎
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:

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