【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微机电系统(mems)陀螺仪领域，特别是一种大电容八质量mems陀螺仪。
技术介绍
1、mems陀螺仪用于检测旋转角速率，是运动测量、惯性导航、制导控制等领域的核心器件，在航空航天、智能机器人、制备弹药等高端工业装备和精确打击武器中具有非常重要的应用价值。基于微机电系统(mems)技术的陀螺仪具有体积小、成本低、功耗低、寿命长可批量生产等特点。
2、全对称敏感结构是当前高性能mems陀螺仪的主要方案，其中四质量敏感结构(performance of quad mass gyroscope in the angular rate mode)控制电极较多，电路方案复杂；而多环敏感结构(boeing disc resonator gyroscope)只需要8个电极控制模态振动，8个电极补偿加工误差，控制电路简单，但多环敏感结构的敏感质量和电容量太小，限制了其性能进一步提高。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种大电容八质量mems陀螺仪，具有大敏感质量块、能够布置大电容的全对称敏感结构。
2、实现本专利技术目的的技术解决方案为：
3、一种大电容八质量mems陀螺仪，包括中心固定锚点、十六个外部固定锚点外部固定锚点、八个敏感质量块、八个敏感质量耦合梁、八个外部解耦质量、八个内部解耦质量；
4、所述中心固定锚点位于整个陀螺仪结构的中心；
5、其中八个外部固定锚点、八个外部解耦质量、八个敏感质量块、八个内部解耦
6、所述八个敏感质量块之间通过敏感质量耦合梁相连；
7、所述内部解耦质量内侧通过两个对称双u型梁与中心固定锚点连接，外侧通过两个对称的周向双折叠梁与中心固定锚点连接，使得内部解耦质量只能沿径向运动；
8、所述敏感质量块通过两个对称的径向双折叠梁分别连接到上述两个周向双折叠梁，内部解耦质量只传递敏感质量块在径向上的运动；
9、所述外部解耦质量外侧两端通过两个对称的周向双折叠梁分别连接到两个外部固定锚点，内侧两端通过两个对称的周向双折叠梁分别连接到位于敏感质量块与外部解耦质量之间的固定锚点，使得外部解耦质量只能沿径向运动。
10、本专利技术与现有技术相比，其显著优点是：
11、本专利技术采用全对称的敏感结构，且具有多个敏感质量，可布置更多检测电容。
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1.一种大电容八质量MEMS陀螺仪，其特征在于，包括中心固定锚点、十六个外部固定锚点外部固定锚点、八个敏感质量块、八个敏感质量耦合梁、八个外部解耦质量、八个内部解耦质量；
2.根据权利要求1所述的大电容八质量MEMS陀螺仪，其特征在于，还包括梳齿电极、平行板电极；所述梳齿电极布置在外部解耦质量内，平行板电极布置在内部解耦质量内。
3.根据权利要求1或2所述的大电容八质量MEMS陀螺仪，其特征在于，包括工作两种模态：
4.根据权利要求3所述的大电容八质量MEMS陀螺仪，其特征在于，包括工作两种模态：第一工作模态下，
5.根据权利要求3所述的大电容八质量MEMS陀螺仪，其特征在于，梳齿电极的电容量C1(t)大小为：
6.根据权利要求3所述的大电容八质量MEMS陀螺仪，其特征在于，通过周期性静电力激励第一工作模态、第二工作模态的振动，梳齿电极静电力F1(t)和平行板电极静电力F2(t)计算为：
【技术特征摘要】
1.一种大电容八质量mems陀螺仪，其特征在于，包括中心固定锚点、十六个外部固定锚点外部固定锚点、八个敏感质量块、八个敏感质量耦合梁、八个外部解耦质量、八个内部解耦质量；
2.根据权利要求1所述的大电容八质量mems陀螺仪，其特征在于，还包括梳齿电极、平行板电极；所述梳齿电极布置在外部解耦质量内，平行板电极布置在内部解耦质量内。
3.根据权利要求1或2所述的大电容八质量mems陀螺仪，其特征在于，包括工...
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