【技术实现步骤摘要】
本申请属于激光加工，更具体地说，是涉及一种激光高度调整装置及激光检测系统。
技术介绍
1、随着国内高新技术激光切割领域在晶圆精密加工行业的迅速发展，业内急需新的技术应对新的发展需求。在晶圆精密激光加工领域，随着激光加工技术越来越成熟，效率要求也越来越高，在这样的背景下，如何进一步提高激光加工效率，是值得研究的问题。
2、目前，激光器种类较多，出光口高度不同，同款设备有时为了测试会同时采用几款激光器进行打样，但出光口高度不同，需要在激光器的下方或是光学检验盒的下方放置垫板，从而使激光器发出的激光射入光学检验盒的入光口，但是更换激光器就要更换垫板，工作效率低，显然不是解决问题的最佳方式。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种激光高度调整装置，使得激光器的出光口和光学检验盒的入光口匹配。
2、本申请实施例采用的技术方案是：提供一种激光高度调整装置，包括：
3、支杆；
4、第一反射装置，设置于所述支杆上，用于反射激光器发射的激光；
5、第二反射装置，设置于所述支杆上，用于将所述第一反射装置反射出的激光反射入光学检验盒入光口；
6、第一调节装置，与所述第一反射装置连接，安装于所述支杆上，用于调节所述第一反射装置在所述支杆上的位置。
7、可选的，所述第一调节装置包括第一夹持部、第一固定件，所述第一夹持部夹设于所述支杆上，所述第一夹持部设置有用于通过所述支杆的第一通孔，所述第一夹持部设置有用于调节所述第一通孔孔
8、可选的，所述第一调节装置还包括第一紧固件，所述第一夹持部上设置有用于与所述第一紧固件螺纹连接的第一紧固孔，所述支杆上设置有用于与所述第一紧固件螺纹连接的第二紧固孔，所述第一紧固件穿设于所述第一紧固孔、第二紧固孔内。
9、可选的，所述激光高度调整装置还包括第二调节装置，所述第二调节装置与所述第二反射装置连接，安装于所述支杆上，用于调节所述第二反射装置在所述支杆的位置。
10、可选的，所述第一反射装置包括第一反射镜、第一反射镜座、第一光学调整架，所述第一反射镜安装于所述第一反射镜座上，所述第一反射镜座安装于所述第一光学调整架上，所述第一光学调整架与所述第一调节装置连接。
11、可选的，所述第一光学调整架包括第一镜座固定板、第一镜架固定板、第一调节杆、第二调节杆、第一预紧弹性件、第二预紧弹性件、第一固定杆，所述第一镜座固定板用于安装所述第一反射镜座，所述第一镜架固定板与所述第一调节装置连接，所述第一镜座固定板通过第一预紧弹性件、第二预紧弹性件与所述第一镜架固定板连接，所述第一固定杆、第一调节杆、第二调节杆穿设于所述第一镜座固定板、第一镜架固定板上，所述第一调节杆、第二调节杆分别设置于所述第一固定杆的两侧，所述第一调节杆、第二调节杆用于调节第一镜座固定板与第一镜架固定板之间的角度。
12、可选的，所述第一固定杆的一端设置有第一固定球，所述第一镜座固定板上设置有与所述第一固定球相匹配的第一定位槽，所述第一固定球设置于所述第一定位槽内，所述第一调节杆与所述第一镜架固定板螺纹连接，所述第一调节杆的一端设置有第一调节球，所述第一镜座固定板上设置有与所述第一调节球相匹配的第一限位槽，所述第一调节球设置于所述第一限位槽内，所述第二调节杆与所述第一镜架固定板螺纹连接，所述第二调节杆的一端设置有第二调节球，所述第一镜座固定板上设置有与所述第二调节球相匹配的第二限位槽，所述第二调节球设置于所述第二限位槽内。
13、可选的，所述第二反射装置包括第二反射镜、第二反射镜座、第二光学调整架，所述第二反射镜安装于所述第二反射镜座上，所述第二反射镜座安装于所述第二光学调整架上，所述第二光学调整架与所述第二调节装置连接。
14、可选的，所述第二光学调整架包括第二镜座固定板、第二镜架固定板、第三调节杆、第四调节杆、第三预紧弹性件、第四预紧弹性件、第二固定杆，所述第二镜座固定板用于安装所述第二反射镜座，所述第二镜架固定板与所述第二调节装置连接，所述第二镜座固定板通过第三预紧弹性件、第四预紧弹性件与所述第二镜架固定板连接，第二固定杆、第三调节杆、第四调节杆穿设于所述第二镜座固定板、第二镜架固定板上，所述第三调节杆、第四调节杆分别设置于所述第二固定杆的两侧，所述第三调节杆、第四调节杆用于调节第二镜座固定板与第二镜架固定板之间的角度。
15、可选的，所述第二固定杆的一端设置有第二固定球，所述第二镜座固定板上设置有与所述第二固定球相匹配的第二定位槽，所述第二固定球设置于所述第二定位槽内，所述第三调节杆与所述第二镜架固定板螺纹连接，所述第三调节杆的一端设置有第三调节球，所述第二镜座固定板上设置有与所述第三调节球相匹配的第三限位槽，所述第三调节球设置于所述第三限位槽内，所述第四调节杆与所述第二镜架固定板螺纹连接，所述第四调节杆的一端设置有第四调节球，所述第二镜座固定板上设置有与所述第四调节球相匹配的第四限位槽，所述第四调节球设置于所述第四限位槽内。
16、本申请实施例还提供了一种激光检测系统，包括激光器、光学检验盒、以上所述的激光高度调整装置，所述激光器用于发射激光至所述激光高度调整装置，所述激光高度调整装置用于调整所述激光器发射的激光高度并将激光反射入所述光学检验盒，所述光学检验盒用于检验激光。
17、本申请实施例提供的定位治具的有益效果在于：本申请实施例的激光高度调整装置及激光检测系统，可以自由调整第一反射装置与第二反射装置在支杆上的距离，通过第一反射装置将激光器产生的激光反射至第二反射装置，第二反射装置再将激光反射至光学检验盒的入光口，无需更换激光器下方或光学检验盒下方的垫板，就可以使激光器的激光射入光学检验盒的入光口，提高了测试激光的效率。
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1.一种激光高度调整装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一调节装置包括第一夹持部、第一固定件，所述第一夹持部夹设于所述支杆上，所述第一夹持部设置有用于通过所述支杆的第一通孔，所述第一夹持部设置有用于调节所述第一通孔孔径的第一连接部、第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部之间形成有缺口，所述缺口的一端与所述第一通孔连通，所述缺口的另一端与外部连通，所述第一连接部、第二连接部均与所述第一固定件螺纹连接，所述第一固定件用于调节所述缺口的宽度从而调节所述第一通孔的孔径大小。
3.根据权利要求2所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一调节装置还包括第一紧固件，所述第一夹持部上设置有用于与所述第一紧固件螺纹连接的第一紧固孔，所述支杆上设置有用于与所述第一紧固件螺纹连接的第二紧固孔，所述第一紧固件穿设于所述第一紧固孔、第二紧固孔内。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的激光高度调整装置，其特征在于，还包括第二调节装置，所述第二调节装置与所述第二反射装置连接，安装于所述支杆上，用于调节所述第二反射装置在
5.根据权利要求1-3中任一项所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一反射装置包括第一反射镜、第一反射镜座、第一光学调整架，所述第一反射镜安装于所述第一反射镜座上，所述第一反射镜座安装于所述第一光学调整架上，所述第一光学调整架与所述第一调节装置连接。
6.根据权利要求5所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一光学调整架包括第一镜座固定板、第一镜架固定板、第一调节杆、第二调节杆、第一预紧弹性件、第二预紧弹性件、第一固定杆，所述第一镜座固定板用于安装所述第一反射镜座，所述第一镜架固定板与所述第一调节装置连接，所述第一镜座固定板通过第一预紧弹性件、第二预紧弹性件与所述第一镜架固定板连接，所述第一固定杆、第一调节杆、第二调节杆穿设于所述第一镜座固定板、第一镜架固定板上，所述第一调节杆、第二调节杆分别设置于所述第一固定杆的两侧，所述第一调节杆、第二调节杆用于调节第一镜座固定板与第一镜架固定板之间的角度。
7.根据权利要求6所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一固定杆的一端设置有第一固定球，所述第一镜座固定板上设置有与所述第一固定球相匹配的第一定位槽，所述第一固定球设置于所述第一定位槽内，所述第一调节杆与所述第一镜架固定板螺纹连接，所述第一调节杆的一端设置有第一调节球，所述第一镜座固定板上设置有与所述第一调节球相匹配的第一限位槽，所述第一调节球设置于所述第一限位槽内，所述第二调节杆与所述第一镜架固定板螺纹连接，所述第二调节杆的一端设置有第二调节球，所述第一镜座固定板上设置有与所述第二调节球相匹配的第二限位槽，所述第二调节球设置于所述第二限位槽内。
8.根据权利要求4所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第二反射装置包括第二反射镜、第二反射镜座、第二光学调整架，所述第二反射镜安装于所述第二反射镜座上，所述第二反射镜座安装于所述第二光学调整架上，所述第二光学调整架与所述第二调节装置连接。
9.根据权利要求8所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第二光学调整架包括第二镜座固定板、第二镜架固定板、第三调节杆、第四调节杆、第三预紧弹性件、第四预紧弹性件、第二固定杆，所述第二镜座固定板用于安装所述第二反射镜座，所述第二镜架固定板与所述第二调节装置连接，所述第二镜座固定板通过第三预紧弹性件、第四预紧弹性件与所述第二镜架固定板连接，第二固定杆、第三调节杆、第四调节杆穿设于所述第二镜座固定板、第二镜架固定板上，所述第三调节杆、第四调节杆分别设置于所述第二固定杆的两侧，所述第三调节杆、第四调节杆用于调节第二镜座固定板与第二镜架固定板之间的角度。
10.根据权利要求9所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第二固定杆的一端设置有第二固定球，所述第二镜座固定板上设置有与所述第二固定球相匹配的第二定位槽，所述第二固定球设置于所述第二定位槽内，所述第三调节杆与所述第二镜架固定板螺纹连接，所述第三调节杆的一端设置有第三调节球，所述第二镜座固定板上设置有与所述第三调节球相匹配的第三限位槽，所述第三调节球设置于所述第三限位槽内，所述第四调节杆与所述第二镜架固定板螺纹连接，所述第四调节杆的一端设置有第四调节球，所述第二镜座固定板上设置有与所述第四调节球相匹配的第四限位槽，所述第四调节球设置于所述第四限位槽内。
11.一种激光检测系统，其特征在于，包括激光器、光学检验盒、权利要求1-10任一项所述的激光高度调整装置，所述激光器用于发射激光至所述激光高度调整装置，所述激光高度调整...
【技术特征摘要】
1.一种激光高度调整装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一调节装置包括第一夹持部、第一固定件，所述第一夹持部夹设于所述支杆上，所述第一夹持部设置有用于通过所述支杆的第一通孔，所述第一夹持部设置有用于调节所述第一通孔孔径的第一连接部、第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部之间形成有缺口，所述缺口的一端与所述第一通孔连通，所述缺口的另一端与外部连通，所述第一连接部、第二连接部均与所述第一固定件螺纹连接，所述第一固定件用于调节所述缺口的宽度从而调节所述第一通孔的孔径大小。
3.根据权利要求2所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一调节装置还包括第一紧固件，所述第一夹持部上设置有用于与所述第一紧固件螺纹连接的第一紧固孔，所述支杆上设置有用于与所述第一紧固件螺纹连接的第二紧固孔，所述第一紧固件穿设于所述第一紧固孔、第二紧固孔内。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的激光高度调整装置，其特征在于，还包括第二调节装置，所述第二调节装置与所述第二反射装置连接，安装于所述支杆上，用于调节所述第二反射装置在所述支杆的位置。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一反射装置包括第一反射镜、第一反射镜座、第一光学调整架，所述第一反射镜安装于所述第一反射镜座上，所述第一反射镜座安装于所述第一光学调整架上，所述第一光学调整架与所述第一调节装置连接。
6.根据权利要求5所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一光学调整架包括第一镜座固定板、第一镜架固定板、第一调节杆、第二调节杆、第一预紧弹性件、第二预紧弹性件、第一固定杆，所述第一镜座固定板用于安装所述第一反射镜座，所述第一镜架固定板与所述第一调节装置连接，所述第一镜座固定板通过第一预紧弹性件、第二预紧弹性件与所述第一镜架固定板连接，所述第一固定杆、第一调节杆、第二调节杆穿设于所述第一镜座固定板、第一镜架固定板上，所述第一调节杆、第二调节杆分别设置于所述第一固定杆的两侧，所述第一调节杆、第二调节杆用于调节第一镜座固定板与第一镜架固定板之间的角度。
7.根据权利要求6所述的激光高度调整装置，其特征在于，所述第一固定杆的一端设置有第一固定球，所述第一镜座固定板上设置有与所述第一固定球相匹配的第一定位槽，所述第一固定球设置于所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟耿，李东宇，曾威，尹建刚，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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