【技术实现步骤摘要】
本申请涉及测量压阻元件的，尤其涉及一种压阻元件的测量系统及测量方法。
技术介绍
1、压阻传感器是微传感器最常用、应用范围最广的器件之一，通过微机械加工技术制造的半导体压阻元件，具有机电转换效应，常用于压力传感器、触觉传感器和位移传感器等传感器芯片中，并在航空、医疗、建筑和家用电器中发挥作用。
2、由于微纳加工技术制备的压阻传感器尺寸小，处在微米级，所以当前压阻元件的性能评估常用仿真软件模拟或在制备封装后测量：仿真与实际测量存在一定误差；而传感器端测量存在较大不确定性。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种压阻元件的测量系统及测量方法，该压阻元件的测量系统可在早期通过对压阻元件的电阻值进行测试，可以有效消除盲区、减少研发周期、确定传感器性能，并可测量出压阻元件的承载力大小，防止机械上的过大负载。
2、为此，第一方面，本申请实施例提供了一种压阻元件的测量系统，，用于测试压阻元件，所述压阻元件包括标定电阻区与待测电阻区，所述标定电阻区与所述待测电阻区沿所述基板沿长度方向间隔设置，所述测量系统包括：底座，设置有连接区以及多个接线端子，所述基板的一端伸入所述连接区且与所述底座连接，所述基板的另一端伸出所述底座，所述标定电阻区位于所述连接区处，所述待测电阻区伸出所述底座，所述接线端子用于与所述压阻元件电连接；测试源，设置于所述基板远离所述底座的一端；测试电路，与多个所述接线端子连接且用于测试所述压阻元件的电阻值变化情况。
3、在一种可能的实现方式中，所
4、在一种可能的实现方式中，多个所述接线端子分别通过多根引线与所述测试电路连接，多个所述引线通过粘接件分别粘接于所述底座。
5、在一种可能的实现方式中，所述测试源包括用于悬挂重物的挂钩，所述挂钩设置于所述基板远离所述底座的一端。
6、在一种可能的实现方式中，所述压阻元件设置有至少两个，所述至少两个的压阻元件的形状大小、掺杂元素和注入条件至少有一个因素不同，所述测试电路可先后通过所述接线端子与所述至少两个的压阻元件连接，以先后获取所述至少两个的压阻元件的电阻值变化情况。
7、在一种可能的实现方式中，所述压阻元件设置有至少两个，所述至少两个的压阻元件的形状大小、掺杂元素和注入条件至少有一个因素不同，所述测试电路设置有至少两个，所述至少两个压阻元件与所述至少两个测试电路对应连接，以同时获取所述至少两个的压阻元件的电阻值变化情况。
8、第二方面，本申请实施例提供了一种压阻元件的测量系统的测试方法，应用于上述任一项所述的压阻元件的测量系统，所述测试方法包括：在基板上集成压阻元件，所述压阻元件包括标定电阻区和待测电阻区，所述标定电阻区与所述待测电阻区沿所述基板的长度方向间隔排布；将基板的一端与底座连接且另一端伸出所述底座，所述标定电阻区位于所述底座的连接区，所述待测电阻区伸出所述底座；将所述电阻元件与测试电路连接；在所述基板远离所述底座的一端设置测试源，根据所述测试源的变化与所述测试电路测试的数值计算所述电阻元件的压阻性能。
9、在一种可能的实现方式中，所述基板与所述底座垂直。
10、在一种可能的实现方式中，所述基板用于与所述底座连接的长度为4mm-6mm。
11、在一种可能的实现方式中，所述测试源的变化为所述基板远离所述底座一端重物的重量变化，或所述测试源的变化为以所述基板朝向所述底座的一端为原点，改变所述基板远离所述底座的一端在竖直平面内的位移量。
12、根据本申请实施例提供的压阻元件的测量系统及测试方法，用于测试压阻元件，压阻元件包括标定电阻区与待测电阻区，标定电阻区与待测电阻区沿基板沿长度方向间隔设置，测量系统包括底座、测试源以及测试电路，底座设置有连接区以及多个接线端子，基板的一端伸入连接区且与底座连接，基板的另一端伸出底座，标定电阻区位于连接区处，待测电阻区伸出底座，接线端子用于与压阻元件电连接；测试源设置于基板远离底座的一端；测试电路与多个接线端子连接且用于测试压阻元件的电阻值变化情况。该压阻元件的测量系统可在早期通过对压阻元件的电阻值进行测试，可以有效消除盲区、减少研发周期、确定传感器性能，并可测量出压阻元件的承载力大小，防止机械上的过大负载。
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1.一种压阻元件的测量系统，其特征在于，用于测试压阻元件，所述压阻元件包括标定电阻区与待测电阻区，所述标定电阻区与所述待测电阻区沿所述基板沿长度方向间隔设置，所述测量系统包括：
2.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，所述测试电路包括电压源、电压表以及可调电阻器，所述电压源与所述标定电阻区以及所述待测电阻区串联，所述可调电阻器两端的接线端与所述标定电阻区和所述待测电阻区并联，所述标定电阻区和所述待测电阻区之间设置有连接点，所述电压表分别与所述可调电阻器的活动臂以及所述连接点连接。
3.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，多个所述接线端子分别通过多根引线与所述测试电路连接，多个所述引线通过粘接件分别粘接于所述底座。
4.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，所述测试源包括用于悬挂重物的挂钩，所述挂钩设置于所述基板远离所述底座的一端。
5.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，所述压阻元件设置有至少两个，所述至少两个的压阻元件的形状大小、掺杂元素和注入条件至少有一个因素不同，所
6.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，所述压阻元件设置有至少两个，所述至少两个的压阻元件的形状大小、掺杂元素和注入条件至少有一个因素不同，所述测试电路设置有至少两个，所述至少两个压阻元件与所述至少两个测试电路对应连接，以同时获取所述至少两个的压阻元件的电阻值变化情况。
7.一种压阻元件的测试方法，其特征在于，应用于如权利要求1-6任一项所述的压阻元件的测量系统，所述测试方法包括：
8.根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于，所述基板与所述底座垂直。
9.根据权利要求7所述的测量系统的测试方法，其特征在于，所述基板用于与所述底座连接的长度为4mm-6mm。
10.根据权利要求7所述的测试方法，所述测试源的变化为所述基板远离所述底座一端重物的重量变化，或所述测试源的变化为以所述基板朝向所述底座的一端为原点，改变所述基板远离所述底座的一端在竖直平面内的位移量。
...【技术特征摘要】
1.一种压阻元件的测量系统，其特征在于，用于测试压阻元件，所述压阻元件包括标定电阻区与待测电阻区，所述标定电阻区与所述待测电阻区沿所述基板沿长度方向间隔设置，所述测量系统包括：
2.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，所述测试电路包括电压源、电压表以及可调电阻器，所述电压源与所述标定电阻区以及所述待测电阻区串联，所述可调电阻器两端的接线端与所述标定电阻区和所述待测电阻区并联，所述标定电阻区和所述待测电阻区之间设置有连接点，所述电压表分别与所述可调电阻器的活动臂以及所述连接点连接。
3.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，多个所述接线端子分别通过多根引线与所述测试电路连接，多个所述引线通过粘接件分别粘接于所述底座。
4.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，所述测试源包括用于悬挂重物的挂钩，所述挂钩设置于所述基板远离所述底座的一端。
5.根据权利要求1所述的压阻元件的测量系统，其特征在于，所述压阻元件设置有至少两个，所述至少两个的压阻元件的形状大小、掺杂元素和注入条件至少...
【专利技术属性】
技术研发人员：王保志，胡鸿，徐燕良，
申请(专利权)人：深圳北芯生命科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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