【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏，更具体地，涉及一种用于单晶炉的清理装置及其清理方法、单晶炉。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、单晶炉在拉晶过程中会产生大量sio，其通过单晶炉排气管排到过滤罐中，单晶炉运行时间长了之后，氧化物容易附着在真空管道中，等堆积到一定程度会造成真空管道堵塞，从而影响单晶品质，因此，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种用于单晶炉的清理装置，解决了如何避免杂物(如氧化物)在单晶炉真空管路内的堆积的问题。
2、第一方面，本申请提供一种用于单晶炉的清理装置，包括驱动装置，驱动装置连接有磁流体密封装置，磁流体密封装置上套接有驱动轴，驱动轴沿第一方向延伸，第一方向为由驱动装置指向磁流体密封装置的方向；驱动装置用于驱动磁流体密封装置沿圆周方向转动，其带动驱动轴运转，驱动轴上设置有除尘装置；
3、除尘装置包括刷架和夹设在刷架内的刷毛，刷架与驱动轴相连接，刷毛位于刷架远离驱动轴一侧；刷毛用于清理单晶炉中真空管路内杂物；或者，
4、除尘装置包括第一连接件和与第一连接件相连接的清理件，第一连接件与驱动轴相连接，清理件位于第一连接件远离驱动轴一侧，清理件用于清理单晶炉中真空管路内杂物，清理件与第一连接件之间具有夹角。
5、第二方面，本申请又提供一种单晶炉的清理方法，单晶炉包括真空管路，真空管路连接在炉体
6、检测真空泵运行的频率，当真空泵运行的频率超过预设值时，则给驱动装置通电，启动驱动装置，驱动装置通过磁流体密封装置带动驱动轴转动，驱动轴带动除尘装置进行运转，对真空管路的管壁进行清理；
7、当真空泵运行的频率低于预设值时，则给驱动装置断电，驱动装置停止运转，完成真空管路内管壁清理。
8、第三方面，本申请还提供一种单晶炉，包括第一真空管道和清理装置，清理装置包括上述用于单晶炉的清理装置，第一真空管道上连通有至少一个第二真空管道，第二真空管道包括第一管段和与第一管段相连通的第二管段，第二管段远离第一管段端部具有插接口，第二管段远离第一管段的端部设置有与第二连接件相配合的第三连接件，驱动轴依次穿入第二管段和第一管段，第二连接件与第三连接件相连接。
9、与现有技术相比，本专利技术提供的用于单晶炉的清理装置及其清理方法、单晶炉，至少实现了如下的有益效果：
10、本专利技术提供的用于单晶炉的清理装置及其清理方法、单晶炉，该用于单晶炉的清理装置包括驱动装置，驱动装置连接有磁流体密封装置，磁流体密封装置上套接有驱动轴，驱动轴沿第一方向延伸，第一方向为由驱动装置指向磁流体密封装置的方向；驱动装置用于驱动磁流体密封装置沿圆周方向转动，其带动驱动轴运转，驱动轴上设置有除尘装置；除尘装置包括刷架和夹设在刷架内的刷毛，刷架与驱动轴相连接，刷毛位于刷架远离驱动轴一侧；刷毛用于清理单晶炉中真空管路内杂物；或者，除尘装置包括第一连接件和与第一连接件相连接的清理件，第一连接件与驱动轴相连接，清理件位于第一连接件远离驱动轴一侧，清理件用于清理单晶炉中真空管路内杂物，清理件与第一连接件之间具有夹角，采用上述方案，当用于单晶炉的清理装置安装于真空管路时，驱动轴运转带动除尘装置(刷毛或清理件)沿圆周方向运转，除尘装置(刷毛或清理件)可以直接对真空管路内管壁的杂物(如氧化物)进行清理，有利于避免真空管路中内管壁的杂物堆积，能够使得真空管路中内管壁(包括排气口)尽可能不附着氧化物，能够缩短清理时间，加快开炉速度，而且可以改善杂质断苞和单晶发彩和氧含量升高。
11、当然，实施本专利技术的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
12、通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。
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1.一种用于单晶炉的清理装置，其特征在于，包括驱动装置，所述驱动装置连接有磁流体密封装置，所述磁流体密封装置上套接有驱动轴，所述驱动轴沿第一方向延伸，所述第一方向为由所述驱动装置指向所述磁流体密封装置的方向；所述驱动装置用于驱动所述磁流体密封装置沿圆周方向转动，其带动所述驱动轴运转，所述驱动轴上设置有除尘装置；
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述驱动轴与所述主干部的长度比范围为1-2.16，所述主干部与所述驱动轴沿第二方向的间距范围为10mm-30mm，所述第二方向与所述第一方向相交。
5.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述刷毛包括相对设置的两排刷毛条，每一排刷毛条的数量均为若干个并依次排布。
6.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，远离所述磁流体密封装置一侧的刷毛的直径大于靠近所述磁流体密封装置一侧的刷毛的直径。
7.根
8.根据权利要求7所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述驱动轴与所述清理件的长度比为0.5-1.96，所述清理件与所述驱动轴沿第二方向的间距范围为50mm-60mm，所述第二方向与所述第一方向相交。
9.根据权利要求7所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述第一连接件、所述清理件和所述驱动轴之间构成h形结构。
10.根据权利要求1所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，还包括控制装置，所述驱动装置与控制装置电连接，所述控制装置用于控制驱动装置的开启和关闭。
11.根据权利要求1所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述驱动装置包括电机，所述电机的输出轴连接有联轴器，所述电机转动通过联轴器带动所述磁流体密封装置转动，所述磁流体密封装置包括密封机壳和与密封机壳相连接的第二连接件，所述密封机壳内设置有磁流体，所述密封机壳和所述第二连接件内套接有旋转轴，所述驱动轴套接于所述旋转轴内。
12.根据权利要求1所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述除尘装置的材料包括金属。
13.一种单晶炉的清理方法，其特征在于，单晶炉包括真空管路，所述真空管路连接在炉体和真空泵之间，通过用于单晶炉的清理装置对所述真空管路进行清理，所述用于单晶炉的清理装置包括权利要求1-11任一项所述的用于单晶炉的清理装置，包括以下步骤：
14.一种单晶炉，其特征在于，包括第一真空管道和清理装置，所述清理装置包括权利要求1-12任一项所述的用于单晶炉的清理装置，所述第一真空管道上连通有至少一个第二真空管道，所述第二真空管道包括第一管段和与所述第一管段相连通的第二管段，所述第二管段远离所述第一管段端部具有插接口，所述第二管段远离所述第一管段的端部设置有与第二连接件相配合的第三连接件，驱动轴依次穿入第二管段和第一管段，所述第二连接件与所述第三连接件相连接。
15.根据权利要求14所述的单晶炉，其特征在于，所述第一管段包括第一主管部和与所述第一主管部相连通的第二主管部，所述第一主管部位于所述第二主管部远离所述第一真空管道一侧；
...【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的清理装置，其特征在于，包括驱动装置，所述驱动装置连接有磁流体密封装置，所述磁流体密封装置上套接有驱动轴，所述驱动轴沿第一方向延伸，所述第一方向为由所述驱动装置指向所述磁流体密封装置的方向；所述驱动装置用于驱动所述磁流体密封装置沿圆周方向转动，其带动所述驱动轴运转，所述驱动轴上设置有除尘装置；
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述驱动轴与所述主干部的长度比范围为1-2.16，所述主干部与所述驱动轴沿第二方向的间距范围为10mm-30mm，所述第二方向与所述第一方向相交。
5.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述刷毛包括相对设置的两排刷毛条，每一排刷毛条的数量均为若干个并依次排布。
6.根据权利要求2所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，远离所述磁流体密封装置一侧的刷毛的直径大于靠近所述磁流体密封装置一侧的刷毛的直径。
7.根据权利要求1所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，当所述除尘装置包括第一连接件和与所述第一连接件相连接的清理件时，所述清理件沿第一方向延伸，所述清理件与所述驱动轴在相对方向为平行关系。
8.根据权利要求7所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述驱动轴与所述清理件的长度比为0.5-1.96，所述清理件与所述驱动轴沿第二方向的间距范围为50mm-60mm，所述第二方向与所述第一方向相交。
9.根据权利要求7所述的用于单晶炉的清理装置，其特征在于，所述第一连接件、所述清理件和所...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏建兴，欧子杨，陈占仓，赵玉智，
申请(专利权)人：青海晶科能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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