【技术实现步骤摘要】
本技术涉及成像和光学测量，特别涉及一种具有光路调整功能的显微成像测量系统和包括该显微成像测量系统的光学设备。
技术介绍
1、随着科学研究的发展和光子产业的升级，对于能够在介观尺度精细表征材料光学特性，并且能够实时快速获取样品信息的强烈需求将促进相关检测技术的进步。通常用于光学测量的光学设备使用激光作为激发光源经激发光路后进入显微模块，然后照射样品表面，样品产生的信号光通过显微模块后被收集光路收集处理。公告号为cn218728344u的中国技术专利文献中公开了一种成像测量系统和光学设备，该成像测量系统中各个透镜的光轴重合；收集装置接收信号光的位置固定，且位于光轴处；调制模块中每一调制单元对应的待测量区域始终位于光轴处，移动调制模块切换不同调制单元不改变待测量区域的位置。当光路偏离光轴时无法有效收集信号；也无法对偏离光轴的待测量区域进行有效测量。
技术实现思路
1、本技术提供了一种显微成像测量系统，包括：
2、一物镜，能够接收来自一待测样品的信号光，所述物镜具有一物镜后焦平面，所述待测样品具有一样品面；
3、一第一透镜组，能够将所述物镜后焦平面成像于一第一动量空间成像面，并且与所述物镜配合将所述样品面成像于一第一实空间成像面；
4、一第二透镜组，能够将一第一成像面成像于一第二成像面，所述第一成像面为所述第一实空间成像面或所述第一动量空间成像面；
5、一第一可移动平台，用于安装所述第二透镜组中的至少一透镜，并移动所述至少一透镜以改变所述第二
6、可选地， 还包括一收集装置，能够收集所述第二成像面的信息。
7、可选地， 所述收集装置包括一光输入窗口，所述光输入窗口设置于所述第二成像面处，所述第一可移动平台能够改变所述第二成像面中的像与所述光输入窗口的相对位置；或者
8、所述显微成像测量系统还包括一调制模块，设置于所述第一成像面处并能够对待测量区域进行调制，所述第一可移动平台能够改变所述第二成像面中所述待测量区域的像的位置；或者
9、所述收集装置包括一光输入窗口，所述光输入窗口设置于所述第二成像面处，所述显微成像测量系统还包括一调制模块，设置于所述第一成像面处并能够对待测量区域进行调制，所述第一可移动平台能够将所述第二成像面中所述待测量区域的像移动至所述光输入窗口处。
10、可选地，还包括一第二可移动平台，用于安装所述调制模块并移动所述调制模块以调整所述第一成像面中所述待测量区域的位置。
11、可选地，所述第一可移动平台能够沿一第一方向和/或一第二方向平移；所述第二可移动平台能够沿所述第一方向和/或所述第二方向平移，所述第一方向和所述第二方向彼此垂直并均垂直于光的传输方向，所述第一可移动平台和所述第二可移动平台的移动方向相同或不同。
12、可选地，所述光输入窗口为狭缝或小孔或光纤入光口；所述调制模块包括小孔或slm。
13、可选地，所述第一透镜组为一第一凸透镜；或者所述第一透镜组包括沿光的传输方向设置的一第二凸透镜和一第一凸透镜。
14、可选地，所述第二透镜组为一第三凸透镜；或者所述第二透镜组包括沿光的传输方向设置的一第四凸透镜和一第三凸透镜。
15、可选地，所述第三凸透镜设置于所述第一可移动平台。
16、本技术还提供了一种光学设备，包括上述的显微成像测量系统。
17、本技术还提供了显微成像测量系统和光学设备，该显微成像测量系统中通过操作第一可移动平台改变第二透镜组中的至少一透镜在垂直于光的传输方向的平面内的位置，这样就能够根据实际应用场景调整并选择待测样品的实空间的像或动量空间的像中的待测量区域的位置，使得待测量区域的信号能够被有效检测到，操作方便、效率高。
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1.一种显微成像测量系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的显微成像测量系统，其特征在于，还包括一收集装置，能够收集所述第二成像面的信息。
3.根据权利要求2所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述收集装置包括一光输入窗口，所述光输入窗口设置于所述第二成像面处，所述第一可移动平台能够改变所述第二成像面中的像与所述光输入窗口的相对位置；或者
4.根据权利要求3所述的显微成像测量系统，其特征在于，还包括一第二可移动平台，用于安装所述调制模块并移动所述调制模块以调整所述第一成像面中所述待测量区域的位置。
5.根据权利要求4所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述第一可移动平台能够沿一第一方向和/或一第二方向平移；所述第二可移动平台能够沿所述第一方向和/或所述第二方向平移，所述第一方向和所述第二方向彼此垂直并均垂直于光的传输方向，所述第一可移动平台和所述第二可移动平台的移动方向相同或不同。
6.根据权利要求3所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述光输入窗口为狭缝或小孔或光纤入光口；所述调制模块包括小孔或SLM。>
7.根据权利要求1所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述第一透镜组为一第一凸透镜；或者所述第一透镜组包括沿光的传输方向设置的一第二凸透镜和一第一凸透镜。
8.根据权利要求1所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述第二透镜组为一第三凸透镜；或者所述第二透镜组包括沿光的传输方向设置的一第四凸透镜和一第三凸透镜。
9.根据权利要求8所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述第三凸透镜设置于所述第一可移动平台。
10.一种光学设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的显微成像测量系统。
...【技术特征摘要】
1.一种显微成像测量系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的显微成像测量系统，其特征在于，还包括一收集装置，能够收集所述第二成像面的信息。
3.根据权利要求2所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述收集装置包括一光输入窗口，所述光输入窗口设置于所述第二成像面处，所述第一可移动平台能够改变所述第二成像面中的像与所述光输入窗口的相对位置；或者
4.根据权利要求3所述的显微成像测量系统，其特征在于，还包括一第二可移动平台，用于安装所述调制模块并移动所述调制模块以调整所述第一成像面中所述待测量区域的位置。
5.根据权利要求4所述的显微成像测量系统，其特征在于，所述第一可移动平台能够沿一第一方向和/或一第二方向平移；所述第二可移动平台能够沿所述第一方向和/或所述第二方向平移，所述第一方向和所述第二方向彼此垂...
【专利技术属性】
技术研发人员：任祺君，朱汝楷，
申请(专利权)人：星元极光苏州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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