【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硅片清洗装置领域，具体而言，涉及一种夹持架及采用该夹持架的硅片清洗花篮摆动机构。
技术介绍
1、现有的硅片花篮大多是采用挂钩的方式对硅片清洗篮输送架进行挂取，将其放入或移出清洗槽中，其凸出缺陷是，必须将设有可移动的挂具的导轨设置在清洗槽的正上方，其适用于酸洗、水洗在同一空间内时使用。酸洗是一种氧化反应，在硅片离开酸液后，其反应速度加快，而现有技术采用挂钩挂取需要耗费的时间较长，在这一挂钩挂取并进入水洗槽的过程中，耗时比较长，硅片表面快速氧化，不利于产品质量的提高。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于，针对现有技术的不足，提供一夹持架及采用该夹持架的硅片清洗花篮摆动机构，其具有可水平输送，进入清洗槽快速的特点。
2、一种夹持架，其特征在于：包括架体、支撑纵杆、硅片清洗花篮抓取机构；架体包括相互平行的前立板、后立板，硅片清洗花篮抓取机构包括设置在前立板、后立板之间的驱动箱；前立板后侧面、后立板的前侧面上驱动箱前、后两端各设有垂直于前立板后侧面、后立板的前侧面的挡板；
3、前立板、后立板上驱动箱下方相同高度处设有支撑纵杆安装孔，支撑纵杆穿过两支撑纵杆安装孔；支撑纵杆的前端位于前立板之前；支撑纵杆的后端位于后立板之后；驱动箱的前、后端各设有驱动齿轮，各驱动齿轮与设置在驱动箱内的驱动装置相连；前立板的后侧面、后立板的前侧面上均设有可在其的两挡板之间滑动的口字型框架，支撑纵杆穿过所述口字型框架内部；两口字型框架的后内侧面或前内侧面上纵向设有第一齿条，所述第
4、口字型框架底端垂直向设有压杆，压杆正下方设有凸台；所述硅片清洗花篮的前、后两端相同高度各设有凸耳；当硅片清洗花篮的前、后两端的凸耳分别放置在一凸台时，所述凸耳可被所述凸台正上方的压杆压紧，从而实现对所述硅片清洗花篮的夹持。
5、本专利技术的有效果是：压杆正下方设有凸台，驱动箱控制驱动齿轮转动时，口字型框架可以升降，从而使压杆与其正下方的凸台形成夹持机构，从而实现对硅片清洗花篮的夹持。口字型框架在两挡板之间运行，压杆升降比较稳定。前立板、后立板上驱动箱下方相同高度处设有支撑纵杆安装孔，支撑纵杆穿过两支撑纵杆安装孔，驱动箱设置在支撑纵杆上，随着支撑纵杆的运动，便于夹持输送机构送来的硅片清洗花篮，并将硅片清洗花篮快速送入其两侧的不同的清洗槽实现不间断清洗，清洗槽中后可快速放置到输送机构上。
6、作为优选技术方案，凸台上设有开口向上的用于放置清洗花篮的凸耳的凸台凹槽；当硅片清洗花篮的前、后两端的凸耳分别放置在一凸台的凸台凹槽内时，所述凸耳可被所述凸台正上方的压杆压紧，从而实现对所述硅片清洗花篮的夹持。采用这一技术方案，夹持硅片清洗花篮比较稳定。
7、作为优选技术方案，压杆的底端设有开口向下的呈“u形”的压口；凸台包括垂直于压杆的凸台板，凸台板顶面设有挡块，凸台板的底板设有两供上设有压口的两侧壁通过的缺口，当硅片清洗花篮的前、后两端的凸耳分别放置在一凸台的凸台板上且与挡块接触时，所述凸耳可被所述凸台正上方的压杆的压口压紧。采用这一技术方案，压口可以将凸耳比较稳定夹持，设有挡块，便于硅片清洗花篮的输送定位。
8、作为优选技术方案，驱动箱内横向设有气缸、传动纵轴、纵向设置的第二齿条、横转动轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、传动齿轮，传动纵轴两端分别与驱动齿轮相连，传动纵轴上设有第一锥齿轮；第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合；横转动轴与第二锥齿轮相连，横转动轴上设有传动齿轮；传动纵轴的一侧设有气缸，气缸的输出轴与第二齿条同轴相连；传动齿轮与第二齿条啮合；气缸的输出轴平行于横转动轴。采用这一技术方案，采用气源控制驱动齿轮的转动。气源只有充气、排气两个动作，从而控制驱动齿轮实现正转、反转两个动作，实现第二齿条横向运动从而使压杆实现上升、下降。只用一个气缸，即可实现两压杆同步动作。气缸等装置设置在驱动箱内，相比采用电机控制驱动齿轮的转动，动作精度更加容易控制，相比电机更适用于硅片清洗酸雾的环境，也更安全、寿命更长。
9、作为优选技术方案，传动纵轴包括两中轴线在同一直线上的传动分纵轴，各传动分纵轴分别与距其最近的驱动齿轮相连，两传动分纵轴通过联轴器相连；其中一传动分纵轴上设有第一锥齿轮；第二齿条设置在传动齿轮的上方或下方。采用这一技术方案，传动纵轴便于安装，传动分纵轴便于更换。
10、作为优选技术方案，驱动箱上设有管路通孔，气缸通过管路外接气源，所述管路穿过管路通孔。
11、作为优选技术方案，支撑纵杆位于前立板的形心与后立板的形心的连线的上方。
12、一种硅片清洗花篮摆动机构，包括转动纵轴、硅片清洗花篮、上述任意一夹持架，转动纵轴两端上方各横向设有滑杆；各滑杆上设有可在所述滑杆上滑动的连接套；各连接套下端设有两垂直于两滑杆的立板，各立板底端设有开口向下的支撑纵杆垂直运动运动长凹槽；支撑纵杆穿过两支撑纵杆垂直运动运动长凹槽；支撑纵杆的两端分别位于距其最近的立板外侧面以外；转动纵轴的一端与转动纵轴旋转驱动电机相连；位于前方立板的后侧面、位于后方的立板的前侧面垂直向设有限位滚轮排，所述两限位滚轮排与距其最近的口字型框架的下端接触；转动纵轴上设有两垂直于转动纵轴的摆臂，各摆臂的远离转动纵轴端分别与支撑纵杆的两端铰接。通过转动纵轴的转动，两摆臂可是实现支撑纵杆的升降。
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1.一种夹持架，其特征在于：包括架体、支撑纵杆（2）、硅片清洗花篮抓取机构；架体包括相互平行的前立板（11）、后立板（12），硅片清洗花篮抓取机构包括设置在前立板（11）、后立板（12）之间的驱动箱（31）；
2.如权利要求1所述的夹持架，其特征在于：凸台（37）上设有开口向上的用于放置清洗花篮的凸耳（51）的凸台凹槽（371）；当硅片清洗花篮（5）的前、后两端的凸耳（51）分别放置在一凸台（37）的凸台凹槽（371）内时，所述凸耳（51）可被所述凸台（37）正上方的压杆（36）压紧，从而实现对所述硅片清洗花篮（5）的夹持。
3.如权利要求1所述的一种夹持架，其特征在于：压杆（36）的底端设有开口向下的呈“U形”的压口（361）；凸台（37）包括垂直于压杆（36）的凸台板（372），凸台板（372）顶面设有挡块（373），凸台板（372）的底板设有两供上设有压口（361）的两侧壁通过的缺口（374），当硅片清洗花篮（5）的前、后两端的凸耳（51）分别放置在一凸台（37）的凸台板（372）上且与挡块（373）接触时，所述凸耳（51）可被所述凸台（37）正上方
4.如权利要求1所述的夹持架，其特征在于：驱动箱（31）内横向设有气缸（311）、传动纵轴（312）、纵向设置的第二齿条（313）、横转动轴（314）、第一锥齿轮（315）、第二锥齿轮（316）、传动齿轮（317），传动纵轴（312）两端分别与驱动齿轮（33）相连，传动纵轴（312）上设有第一锥齿轮（315）；第一锥齿轮（315）与第二锥齿轮（316）啮合；横转动轴（314）与第二锥齿轮（316）相连，横转动轴（314）上设有传动齿轮（317）；传动纵轴（312）的一侧设有气缸（311），气缸（311）的输出轴与第二齿条（313）同轴相连；传动齿轮（317）与第二齿条（313）啮合；气缸（311）的输出轴平行于横转动轴（314）。
5.如权利要求4所述的夹持架，其特征在于：传动纵轴（312）包括两中轴线在同一直线上的传动分纵轴（3121），各传动分纵轴（3121）分别与距其最近的驱动齿轮（33）相连，两传动分纵轴（3121）通过联轴器（3122）相连；其中一传动分纵轴（3121）上设有第一锥齿轮（315）；第二齿条（313）设置在传动齿轮（317）的上方或下方。
6.如权利要求4所述的夹持架，其特征在于：驱动箱（31）上设有管路通孔（318），气缸（311）通过管路外接气源，所述管路穿过管路通孔（318）。
7.如权利要求1所述的夹持架，其特征在于：支撑纵杆（2）位于前立板（11）的形心与后立板（12）的形心的连线的上方。
8.一种硅片清洗花篮摆动机构，其特征在于：包括转动纵轴（4）、硅片清洗花篮（5）、权利要求1-7任意一权利要求所述的夹持架，转动纵轴（4）两端上方各横向设有滑杆（41）；各滑杆（41）上设有可在所述滑杆（41）上滑动的连接套（42）；各连接套（42）下端设有两垂直于两滑杆（41）的立板（43），各立板（43）底端设有开口向下的支撑纵杆垂直运动运动长凹槽（44）；支撑纵杆（2）穿过两支撑纵杆垂直运动运动长凹槽（44）；支撑纵杆（2）的两端分别位于距其最近的立板（43）外侧面以外；
...【技术特征摘要】
1.一种夹持架，其特征在于：包括架体、支撑纵杆（2）、硅片清洗花篮抓取机构；架体包括相互平行的前立板（11）、后立板（12），硅片清洗花篮抓取机构包括设置在前立板（11）、后立板（12）之间的驱动箱（31）；
2.如权利要求1所述的夹持架，其特征在于：凸台（37）上设有开口向上的用于放置清洗花篮的凸耳（51）的凸台凹槽（371）；当硅片清洗花篮（5）的前、后两端的凸耳（51）分别放置在一凸台（37）的凸台凹槽（371）内时，所述凸耳（51）可被所述凸台（37）正上方的压杆（36）压紧，从而实现对所述硅片清洗花篮（5）的夹持。
3.如权利要求1所述的一种夹持架，其特征在于：压杆（36）的底端设有开口向下的呈“u形”的压口（361）；凸台（37）包括垂直于压杆（36）的凸台板（372），凸台板（372）顶面设有挡块（373），凸台板（372）的底板设有两供上设有压口（361）的两侧壁通过的缺口（374），当硅片清洗花篮（5）的前、后两端的凸耳（51）分别放置在一凸台（37）的凸台板（372）上且与挡块（373）接触时，所述凸耳（51）可被所述凸台（37）正上方的压杆（36）的压口（361）压紧。
4.如权利要求1所述的夹持架，其特征在于：驱动箱（31）内横向设有气缸（311）、传动纵轴（312）、纵向设置的第二齿条（313）、横转动轴（314）、第一锥齿轮（315）、第二锥齿轮（316）、传动齿轮（317），传动纵轴（312）两端分别与驱动齿轮（33）相连，传动纵轴（312）上设有第一锥齿轮（315）；第一锥齿轮（315）与第二锥齿轮（316）啮合；横转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：白如意，王志广，马玉水，
申请(专利权)人：联盛半导体科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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