【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体抛光机，具体涉及一种半导体抛光机除尘装置。
技术介绍
1、抛光机也称为研磨机，常常用作机械式研磨、抛光及打蜡。其工作原理是：电动机带动安装在抛光机上的海绵或羊毛抛光盘高速旋转，由于抛光盘和抛光剂共同作用并与待抛表面进行摩擦，进而可达到去除漆面污染、氧化层、浅痕的目的。在半导体生产时需要通过抛光机对其进行抛光。现有的半导体工件在抛光机内抛光过程中容易产生大量的碎屑和粉尘，如不及时将这些碎屑和粉尘去除，不仅容易导致设备的损坏，也会降低工件的抛光质量，同时会对周围的环境造成较大的影响，不利于更好的进行抛光打磨操作。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，专利技术人在长期的实践中研发出了一种研磨盘自动上料装置。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体抛光机除尘装置，包括抛光机，所述抛光机位于抛光室内，所述抛光室的顶部右侧连接有进气管，所述抛光室的右上方安装有湿法除尘室，所述进气管贯穿湿法除尘室与负压风机连接，所述负压风机的下方安装有水池，所述负压风机底部连接有第一排液管，所述第一排液管的末端与水池连接，所述水池的左侧安装有输水泵，所述输水泵的出口设置有出水管，所述出水管向上延伸至湿法除尘室内，所述出水管的末端连接有分配台，所述分配台上设置有喷头，所述湿法除尘室的底部连接有第二排液管，所述第二排液管的末端与水池连接。
2、进一步的，所述输水泵与水池之间连接有进水管，所述进水管上设置有进水阀。
3、进一步的，所述第一排液管上设置
4、进一步的，所述分配台上至少安装有6个喷头，所述喷头上设置有3个喷孔，相邻的喷孔之间的夹角为60°，喷头的上部设置有螺纹，所述喷头通过螺纹与分配台连接。
5、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本装置通过设置湿法除尘室，负压风机，输水泵，水池等设备，可以将半导体抛光过程中产生的粉尘和碎屑进行有效的去除；在负压风机的抽力作用下，抛光过程中产生的粉尘和碎屑首先经过湿法除尘室，在湿法除尘室中的较大的粉尘和碎屑颗粒被去除掉，剩余的粉尘和碎屑沿着进气管到达负压风机，最后由负压风机排出。经过湿法除尘室和负压风机两个设备的共同作用，可以将碎屑和粉尘去除，延长抛光设备的使用寿命，客观上也提高了抛光质量。降低了对周围环境的影响，有利于抛光作业的更好进行。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种半导体抛光机除尘装置，其特征在于：包括抛光机，所述抛光机位于抛光室内，所述抛光室的顶部右侧连接有进气管，所述抛光室的右上方安装有湿法除尘室，所述进气管贯穿湿法除尘室与负压风机连接，所述负压风机的下方安装有水池，所述负压风机底部连接有第一排液管，所述第一排液管的末端与水池连接，所述水池的左侧安装有输水泵，所述输水泵的出口设置有出水管，所述出水管向上延伸至湿法除尘室内，所述出水管的末端连接有分配台，所述分配台上设置有喷头，所述湿法除尘室的底部连接有第二排液管，所述第二排液管的末端与水池连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体抛光机除尘装置，其特征在于：所述输水泵与水池之间连接有进水管，所述进水管上设置有进水阀。
3.根据权利要求1所述的一种半导体抛光机除尘装置，其特征在于：所述第一排液管上设置有第一排液阀，所述第二排液管上设置有第二排液阀，所述进气管上安装有进气阀。
4.根据权利要求1所述的一种半导体抛光机除尘装置，其特征在于：所述分配台上至少安装有6个喷头，所述喷头上设置有3个喷孔，相邻的喷孔之间的夹角为60°，喷头的上部设置有螺纹，所
...【技术特征摘要】
1.一种半导体抛光机除尘装置，其特征在于：包括抛光机，所述抛光机位于抛光室内，所述抛光室的顶部右侧连接有进气管，所述抛光室的右上方安装有湿法除尘室，所述进气管贯穿湿法除尘室与负压风机连接，所述负压风机的下方安装有水池，所述负压风机底部连接有第一排液管，所述第一排液管的末端与水池连接，所述水池的左侧安装有输水泵，所述输水泵的出口设置有出水管，所述出水管向上延伸至湿法除尘室内，所述出水管的末端连接有分配台，所述分配台上设置有喷头，所述湿法除尘室的底部连接有第二排液管，所述第二排液管的末端与水池连接。
【专利技术属性】
技术研发人员：王伯琳，吴泽华，曹霞，李洪杰，
申请(专利权)人：河南捷利达超硬制品有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。