一种利用干涉仪的激光加工检测装置制造方法及图纸

技术编号:40255744 阅读:23 留言:0更新日期:2024-02-02 22:48
本技术公开了一种利用干涉仪的激光加工检测装置,包括:桌子,所述桌子上设置有高度调节组件,所述高度调节组件包括滑杆、矩形套管、齿板、安装板、连接杆、齿轮和四个伸缩杆,所述滑杆固定安装在桌子的顶部,所述矩形套管滑动套设在滑杆上,所述齿板固定安装在矩形套管的一侧外壁上,所述安装板固定安装在桌子的顶部,所述连接杆转动安装在安装板上,所述齿轮固定安装在连接杆上,所述齿轮与齿板相啮合,四个所述伸缩杆均固定安装在桌子的顶部。本技术通过设置高度调节组件,拧动连接杆带动齿轮转动,通过与齿板啮合带动矩形套管在滑杆上移动,将干涉仪调节到合适的高度,具有可以调节干涉仪的检测高度的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光加工,具体涉及一种利用干涉仪的激光加工检测装置


技术介绍

1、激光加工经常使用激光干涉仪,激光干涉仪以光波为载体,利用激光作为长度基准,是高精度、高灵敏度的测量仪器。激光干涉仪不仅广泛用于高端装备如数控机床、激光切割机、光刻机等,在计量检定领域也能大展身手。将同一光源的两个光束完全分开,使各自经过不同的光程,然后再经过合并,可显出干涉条纹。在光谱学中,应用精确的迈克尔逊干涉仪或法布里-珀罗干涉仪,可以准确而详细地测定谱线的波长及其精细结构,激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

2、经检测,在现有技术中,中国专利号为:cn202020623790.x,公开日期为:2020-10-27,公开了一种用于光学镜片检测的干涉仪,包括激光干涉仪,激光干涉仪的底面设置有支撑座,支撑座的外侧套设有围护架,围护架的底面设置有垫板,垫板的底面设置有阻尼垫,垫板的表面设置有固定螺杆,支撑座的表面开设有导向槽,导向槽的内部插接有销钉,销钉贯穿围护本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种利用干涉仪的激光加工检测装置,包括桌子,其特征在于:所述桌子上设置有高度调节组件,所述高度调节组件包括滑杆、矩形套管、齿板、安装板、连接杆、齿轮和四个伸缩杆,所述滑杆固定安装在桌子的顶部,所述矩形套管滑动套设在滑杆上,所述齿板固定安装在矩形套管的一侧外壁上,所述安装板固定安装在桌子的顶部,所述连接杆转动安装在安装板上,所述齿轮固定安装在连接杆上,所述齿轮与齿板相啮合,四个所述伸缩杆均固定安装在桌子的顶部,所述桌子上方设置有角度调节组件和置物组件。

2.根据权利要求1所述的利用干涉仪的激光加工检测装置,其特征在于:所述角度调节组件包括连接板一、滑轨、两个T形滑块和伺服电...

【技术特征摘要】

1.一种利用干涉仪的激光加工检测装置,包括桌子,其特征在于:所述桌子上设置有高度调节组件,所述高度调节组件包括滑杆、矩形套管、齿板、安装板、连接杆、齿轮和四个伸缩杆,所述滑杆固定安装在桌子的顶部,所述矩形套管滑动套设在滑杆上,所述齿板固定安装在矩形套管的一侧外壁上,所述安装板固定安装在桌子的顶部,所述连接杆转动安装在安装板上,所述齿轮固定安装在连接杆上,所述齿轮与齿板相啮合,四个所述伸缩杆均固定安装在桌子的顶部,所述桌子上方设置有角度调节组件和置物组件。

2.根据权利要求1所述的利用干涉仪的激光加工检测装置,其特征在于:所述角度调节组件包括连接板一、滑轨、两个t形滑块和伺服电机,所述连接板一固定安装在四个伸缩杆的顶端,所述滑轨固定安装在连接板一的顶部,两个所述t形滑块均滑动安装在滑轨内,所述伺服电机固定安装在连接板一的顶部。

3.根据权利要求2所述的利用干涉仪的激光加工检测装置,其特征在于:所述角度调节组件还包括连接板二、固定框、防滑垫一和螺杆一,所述连接板二固定安装在两个t形滑块的顶部,所述连接板二的底部与伺服电机的输出轴固定连接,所述固定框固定安装在连接板...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈峰
申请(专利权)人:江苏联宸激光科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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