【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片上料的，尤其涉及一种硅片上料用料篮定位装置。
技术介绍
1、硅片，也称为硅晶圆，是一种薄而圆的硅基底材料，广泛用于半导体工业中制造集成电路(芯片)以及其他电子元件。它通常具有非常高纯度的晶体结构，使得在其表面上可以进行微细的制造过程。
2、而硅片在进行上料的时候，需要预先将硅片放置于料篮内，将料篮固定于上料设备上，通过水平直线模组和垂直直线模组交叉工作从而操控整个料篮下降，当料篮的硅片触碰到上料流线单元的皮带时，在摩擦力的作用下，硅片被皮带一片一片地带出。
3、而现有料篮大多都是通过吊放的方式安装于上料设备上，而吊放的方式操作效率较低，同时容易造成硅片发生损伤的情况。
技术实现思路
1、鉴于上述现有硅片上料用料篮定位装置存在料篮吊放效率低容易损伤硅片的问题，提出了本专利技术。
2、因此，本专利技术目的是提供一种硅片上料用料篮定位装置。
3、为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种硅片上料用料篮定位装置，包括，定位机构，包括支撑底板组件，转动卡嵌于所述支撑底板组件上的旋转定位组件，以及安装于所述支撑底板组件上的推动组件；上料篮机构，包括滑动安装于所述支撑底板组件上的料篮架组件，安装于所述料篮架组件上的分隔组件；以及，用于驱动支撑底板组件转动的翻转机构；其中，所述料篮架组件通过旋转定位组件和推动组件限位固定于支撑底板组件上。
4、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述支
5、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述支撑底板组件还包括位于支撑底板框架上的第一安装板，所述推动组件安装于第一安装板的下侧；所述支撑底板框架的一端设有限位挡板。
6、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述支撑底板框架上还开设有安装轴孔；所述旋转定位组件包括翻转板，所述翻转板的外侧设有翻转轴杆，所述翻转轴杆转动卡嵌于支撑底板框架上的安装轴孔内；所述翻转轴杆的外侧还套设有扭簧，所述扭簧的一端嵌入翻转板，所述扭簧的另一端嵌入支撑底板框架的内壁上。
7、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述翻转轴杆的一端延伸出支撑底板框架后连接有退料把手；所述翻转板的一侧还设有防脱离卡板，所述料篮架组件的一侧开设有和防脱离卡板相匹配的凹槽。
8、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述推动组件包括气缸本体，所述气缸本体的上端设有第二安装板，所述气缸本体通过第二安装板安装于第一安装板的下侧；所述气缸本体的一侧连接有推动支架，所述推动支架上开设有定位圆槽。
9、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述料篮架组件包括若干个料篮架外框，若干个所述料篮架外框的两端均设有料篮架外侧板，所述料篮架外侧板的一侧设有推动圆杆；所述推动圆杆能嵌入推动支架上的定位圆槽内。
10、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述分隔组件包括分隔杆，所述分隔杆的一侧设有分隔片，所述分隔杆的两端还设有连接长条。
11、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述料篮架外侧板上还开设有矩形导向槽；所述连接长条的外侧还设有矩形导向片，所述矩形导向片能滑动卡入矩形导向槽并通过螺杆固定连接；所述料篮架组件还包括硅片，所述硅片能放置于分隔片内。
12、作为本专利技术所述硅片上料用料篮定位装置的一种优选方案，其中：所述翻转机构包括驱动电机和支撑框架，所述驱动电机的一侧连接有减速机，所述减速机的一侧设有转轴，所述转轴的外侧卡嵌有转动支架，所述转轴通过轴承固定于支撑框架上。
13、本专利技术的有益效果：将分隔组件装配在料篮架组件上，再将硅片依次放置在料篮架组件上的分隔组件内，推动料篮架组件使其压迫旋转定位组件，旋转定位组件翻转陷入支撑底板组件内，继续推动料篮架组件使其卡入支撑底板组件内，直至到达推动组件时停止，此时料篮架组件不再压迫旋转定位组件，旋转定位组件复位，控制推动组件工作，推动组件工作推动料篮架组件反向沿着支撑底板组件移动，直至料篮架组件嵌入旋转定位组件时停止，此时控制翻转机构工作，翻转机构工作带动支撑底板组件转动，支撑底板组件转动带动料篮架组件翻转，翻转后位于分隔组件内的硅片能够方便上料使用，通过推动和翻转的方式使得料篮架组件到达指定上料位置，提高了上料效率，同时避免了因为吊放而造成硅片发生损伤的情况。
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1.一种硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：包括，
2.如权利要求1所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述支撑底板组件(101)包括支撑底板框架(101a)，所述支撑底板框架(101a)的上侧中间位置设有放置板(101b)，所述放置板(101b)的外侧四角均设有弧形卡槽(101c)；
3.如权利要求2所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述支撑底板组件(101)还包括位于支撑底板框架(101a)上的第一安装板(101d)，所述推动组件(103)安装于第一安装板(101d)的下侧；
4.如权利要求3所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述支撑底板框架(101a)上还开设有安装轴孔(101f)；
5.如权利要求4所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述翻转轴杆(102b)的一端延伸出支撑底板框架(101a)后连接有退料把手(102d)；
6.如权利要求5所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述推动组件(103)包括气缸本体(103a)，所述气缸本体(103a)的上端设有第二安装板(103b)，
7.如权利要求6所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述料篮架组件(201)包括若干个料篮架外框(201a)，若干个所述料篮架外框(201a)的两端均设有料篮架外侧板(201b)，所述料篮架外侧板(201b)的一侧设有推动圆杆(201c)；
8.如权利要求7所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述分隔组件(202)包括分隔杆(202a)，所述分隔杆(202a)的一侧设有分隔片(202b)，所述分隔杆(202a)的两端还设有连接长条(202c)。
9.如权利要求8所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述料篮架外侧板(201b)上还开设有矩形导向槽(201d)；
10.如权利要求1或9所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述翻转机构(300)包括驱动电机(301)和支撑框架(302)，所述驱动电机(301)的一侧连接有减速机(303)，所述减速机(303)的一侧设有转轴，所述转轴的外侧卡嵌有转动支架(304)，所述转轴通过轴承固定于支撑框架(302)上。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：包括，
2.如权利要求1所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述支撑底板组件(101)包括支撑底板框架(101a)，所述支撑底板框架(101a)的上侧中间位置设有放置板(101b)，所述放置板(101b)的外侧四角均设有弧形卡槽(101c)；
3.如权利要求2所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述支撑底板组件(101)还包括位于支撑底板框架(101a)上的第一安装板(101d)，所述推动组件(103)安装于第一安装板(101d)的下侧；
4.如权利要求3所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述支撑底板框架(101a)上还开设有安装轴孔(101f)；
5.如权利要求4所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述翻转轴杆(102b)的一端延伸出支撑底板框架(101a)后连接有退料把手(102d)；
6.如权利要求5所述的硅片上料用料篮定位装置，其特征在于：所述推动组件(103)包括气缸本体(103a)，所述气缸本体(103a)的上端设有第二安装板(103b)，所述气缸本体(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈震球，张大宇，王梅林，张飞，
申请(专利权)人：江苏汉本科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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