本发明专利技术提供了蒸镀掩模板及其制作方法，蒸镀掩模板包括掩模板主体(包括多个蒸镀孔)、位于掩模板主体的第一侧的支撑框(包括支撑主体)，支撑主体设有一开口，开口与多个蒸镀孔相对设置，且沿掩模板主体的厚度方向延伸并贯穿支撑主体中平行于第一侧的两侧，掩模板主体的组成材料包括金属，支撑框的组成材料包括硅、蓝宝石、碳化硅中的至少一者，减少了对于掩模板主体的破坏，提高了FMM的寿命，以及提高了后期制作Micro OLED的产品的可靠性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示，尤其涉及显示面板的制造，具体涉及蒸镀掩模板及其制作方法。
技术介绍
1、oled(organic light emitting diode，有机发光二极管)显示器件具备重量轻、厚度薄、可弯曲、视角范围大等优点，近年为了进一步提升oled的分辨率，开发了硅基oled，也称micro oled；micro oled是一种结合半导体和oled的微显示器技术，它以单晶硅为衬底，集成cmos驱动电路，能够维持相近分辨率水平的基础上使得显示面板的面积更小，广泛应用于增强现实(ar)和虚拟现实(vr)。
2、目前，高分辨率的micro oled的产品通常利用具有较小厚度的精密图形的fmm(精细金属掩膜，fine metal mask)实现，并且fmm通常采用激光焊接的方法将金属基板焊接到金属定型框上，在将较薄的金属基板焊接到金属定型框的过程中通常会出现褶皱、焊接强度不足、强度太弱易损坏等问题，降低了该fmm后期制作micro oled的产品的可靠性。
3、综上所述，现有的用于制备硅基oled的fmm因精度高、厚度小，在制作过程中容易出现褶皱、焊接强度不足、强度太弱易损坏等问题，进而导致micro oled的产品制程的可靠性较低，急需改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供蒸镀掩模板及其制作方法，以解决现有的fmm易变形而导致microoled显示器件制程的可靠性较低的技术问题。
2、本专利技术实施例提供蒸镀掩模板，包括：
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p>3、掩模板主体，包括多个蒸镀孔；4、支撑框，位于所述掩模板主体的第一侧，包括支撑主体，且所述支撑主体设有一开口，所述开口与所述多个蒸镀孔相对设置，且沿所述掩模板主体的厚度方向延伸并贯穿所述支撑主体中平行于所述第一侧的两侧；
5、其中，所述掩模板主体的组成材料包括金属，所述支撑框的组成材料包括硅、蓝宝石、碳化硅中的至少一者。
6、在一实施例中，所述支撑框包括：
7、第一支撑框，位于所述掩模板主体的所述第一侧，所述第一支撑框的组成材料包括硅、蓝宝石、碳化硅中的至少一者；
8、第二支撑框，位于所述第一支撑框远离所述掩模板主体的一侧，所述第二支撑框的组成材料包括氮化硅、金属中的至少一者。
9、在一实施例中，所述掩模板主体包括相对设置的所述第一侧和第二侧，所述蒸镀孔沿所述掩模板主体的厚度方向延伸并贯穿所述第一侧和所述第二侧；
10、其中，所述掩模板主体还设有多个盲孔，所述盲孔的厚度方向与所述掩模板主体的厚度方向相同。
11、在一实施例中，多个所述盲孔分布于所述第一侧和/或所述第二侧。
12、在一实施例中，多个所述盲孔分布于所述第一侧和所述第二侧，多个所述盲孔交替分布于所述第一侧和所述第二侧。
13、在一实施例中，多个所述盲孔分布于所述第一侧，且位于所述第一侧的多个所述盲孔均匀分布；
14、和/或，多个所述盲孔分布于所述第二侧，且位于所述第二侧的多个所述盲孔均匀分布。
15、在一实施例中，至少一所述盲孔位于至少一组相邻的两所述蒸镀孔之间。
16、在一实施例中，多个所述蒸镀孔沿第一方向和第二方向排列；
17、其中，沿所述第一方向排列的相邻两第一组所述蒸镀孔之间设有沿所述第二方向排列且连通的多个所述盲孔，以构成第一凹槽，沿所述第二方向排列的相邻两第二组所述蒸镀孔之间设有沿所述第一方向排列且连通的多个所述盲孔，以构成第二凹槽；
18、其中，所述第一组所述蒸镀孔包括沿所述第二方向排列的多个所述蒸镀孔，所述第二组所述蒸镀孔包括沿所述第一方向排列的多个所述蒸镀孔，多个所述第一凹槽和多个所述第二凹槽交叉设置构成网状结构。
19、在一实施例中，多个所述蒸镀孔沿第一方向和第二方向排列；
20、其中，沿所述第一方向排列的相邻两所述蒸镀孔之间设有所述盲孔，沿所述第二方向排列的相邻两所述蒸镀孔之间设有所述盲孔，多个所述盲孔沿所述第一方向和所述第二方向排列。
21、在一实施例中，所述掩模板主体具有铁磁性。
22、本专利技术实施例还提供蒸镀掩模板的制作方法，包括：
23、提供掩模板主体，包括多个蒸镀孔，所述掩模板主体的组成材料包括金属；
24、在所述掩模板主体的所述第一侧形成支撑框，所述支撑框包括支撑主体，且所述支撑主体设有一开口，所述开口与多个所述蒸镀孔相对设置，且沿所述掩模板主体的厚度方向延伸并贯穿所述支撑主体中平行于所述第一侧的两侧，所述支撑框的组成材料包括硅、蓝宝石、碳化硅中的至少一者。
25、在一实施例中，所述在所述掩模板主体的所述第一侧形成支撑框的步骤，包括：
26、通过键合工艺在所述掩模板主体的所述第一侧形成所述支撑框。
27、本专利技术提供了蒸镀掩模板及其制作方法，蒸镀掩模板包括：掩模板主体，包括多个蒸镀孔；支撑框，位于所述掩模板主体的第一侧，包括支撑主体，且所述支撑主体设有一开口，所述开口与所述多个蒸镀孔相对设置，且沿所述掩模板主体的厚度方向延伸并贯穿所述支撑主体中平行于所述第一侧的两侧；其中，所述掩模板主体的组成材料包括金属，所述支撑框的组成材料包括硅、蓝宝石、碳化硅中的至少一者，通过避免采用金属材料制作支撑框，以避免通过焊接的方式将支撑框和掩模板主体固定，减少了对于掩模板主体的破坏，提高了fmm的寿命，以及提高了后期制作micro oled的产品的可靠性。
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【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述支撑框包括：
3.如权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述掩模板主体包括相对设置的所述第一侧和第二侧，所述蒸镀孔沿所述掩模板主体的厚度方向延伸并贯穿所述第一侧和所述第二侧；
4.如权利要求3所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述盲孔分布于所述第一侧和/或所述第二侧。
5.如权利要求4所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述盲孔分布于所述第一侧和所述第二侧，多个所述盲孔交替分布于所述第一侧和所述第二侧。
6.如权利要求4所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述盲孔分布于所述第一侧，且位于所述第一侧的多个所述盲孔均匀分布；
7.如权利要求3所述的蒸镀掩模板，其特征在于，至少一所述盲孔位于至少一组相邻的两所述蒸镀孔之间。
8.如权利要求7所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述蒸镀孔沿第一方向和第二方向排列；
9.如权利要求7所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述蒸镀孔沿第一方向和第二方向排列；
10.如权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述掩模板主体具有铁磁性。
11.一种蒸镀掩模板的制作方法，其特征在于，包括：
12.如权利要求11所述的蒸镀掩模板的制作方法，其特征在于，所述在所述掩模板主体的所述第一侧形成支撑框的步骤，包括：
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【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述支撑框包括：
3.如权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述掩模板主体包括相对设置的所述第一侧和第二侧，所述蒸镀孔沿所述掩模板主体的厚度方向延伸并贯穿所述第一侧和所述第二侧；
4.如权利要求3所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述盲孔分布于所述第一侧和/或所述第二侧。
5.如权利要求4所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述盲孔分布于所述第一侧和所述第二侧，多个所述盲孔交替分布于所述第一侧和所述第二侧。
6.如权利要求4所述的蒸镀掩模板，其特征在于，多个所述盲孔分布于所述第一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘卫来，孙亮，任清江，陈胜，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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