【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种机械臂的辅助固定装置。
技术介绍
1、浆料臂是用高压水清理抛光垫与释放抛光液的机构。浆料臂的喷嘴座上的喷嘴可对抛光垫进行清洗和保湿，防止抛光液结晶。浆料臂的抛光液输送管道将抛光液滴流到抛光盘指定区域。
2、现有技术中的浆料臂只有一个抛光液固定流液点，对抛光垫进行维护保养的时候，需要将浆料臂设置于抛光垫护罩的外侧，一般是用扳手或无尘布等固定。图1为现有技术中一种抛光垫维护保养时浆料臂的位置示意图，如图1所示，浆料臂101设置于抛光垫102的护罩103的外侧，在所述浆料臂101与所述护罩103接触处放置一阻挡物104用于控制所述浆料臂101的角度，然后再通过无尘布固定。但是这种固定方式固定的角度不够精确且容易发生位移，经常需要将所述浆料臂101重新固定，影响了所述抛光垫102的维护保养速度。
3、在不改变浆料臂现抛光液固定流液点结构的基础上，提供一种有效的辅助固定装置用于浆料臂的固定，可以提高抛光垫的维护保养速度，进而提高整个工艺生产线的效率。
技术实现思
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1.一种机械臂的辅助固定装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述顶面的剖面形状选自于三角形、圆弧形以及梯形中的一种。
3.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述侧面的纵向中轴线上下部各有一所述螺孔。
4.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述侧面的纵向轴线上所述螺孔个数超过三个。
5.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述挡板的纵向中轴线上有一所述挡板螺孔。
6.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置...
【技术特征摘要】
1.一种机械臂的辅助固定装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述顶面的剖面形状选自于三角形、圆弧形以及梯形中的一种。
3.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述侧面的纵向中轴线上下部各有一所述螺孔。
4.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述侧面的纵向轴线上所述螺孔个数超过三个。
5.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述挡板的纵向中轴线上...
【专利技术属性】
技术研发人员：张帅帅，杨俊男，闫晓晖，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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