一种多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器制造技术

技术编号:40248929 阅读:4 留言:0更新日期:2024-02-02 22:44
本技术公开了一种多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,包括管壳、出光阵列、反射阵列及监控阵列;管壳上开设有与容纳腔连通的出光口;出光阵列包括若干个出光单元及LD温控模块;反射阵列包括若干个与各个出光单元一一对应的反射镜;监控阵列包括若干个法布里‑珀罗标准具、PD探测器以及PD温控模块。本技术的有益效果是:第一方向的激光光束经对应的反射镜反射到出光口,各个出光单元的激光光束汇合成一束后从出光口射出,从而可同时输出不同波长的激光光束,第二方向的激光光束经过法布里‑珀罗标准具后被PD探测器接收,从而通过监控阵列可使激光器输出稳定波长的激光,防止输出波长波动或偏移。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光器,尤其是涉及一种多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器


技术介绍

1、激光光气体检测技术,全称为可调式半导体激光器吸收光谱技术,利用目标气体分子对特定波长的激光光强吸收的特点,可测量出待测气体中目标气体的浓度,广泛应用于甲烷、硫化氢、氯化氢和油气泄漏检测领域。

2、激光气体探测通常需要使用多个不同波长的激光器测试不同的气体成分(如公开号为cn101793822b的中国技术专利),成本高,电路设计烦琐。


技术实现思路

1、有鉴于此,有必要提供一种多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,用以解决现有的激光气体探测器需要使用多个不同波长的激光器测试不同的气体成分、成本高、电路设计烦琐的技术问题。

2、为了实现上述目的,本技术提供了一种多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,包括管壳、出光阵列、反射阵列及监控阵列;

3、所述管壳内具有一容纳腔,所述管壳上开设有与所述容纳腔连通的出光口;

4、所述出光阵列包括若干个出光单元及ld温控模块,各个所述出光单元均用于向第一方向和第二方向分别同时发出同源的第一激光光束及第二激光光束,各个所述出光单元的设定输出波长均不相同,所述ld温控模块用于控制各个所述出光单元的温度,使所述出光单元输出稳定功率及波长的激光光束;

5、所述反射阵列包括若干个与各个所述出光单元一一对应的反射镜,各个所述反射镜均用于将对应的所述出光单元出射的第一激光光束反射至从所述出光口的中心并垂直射出;

6、所述监控阵列包括若干个与各个所述出光单元一一对应的法布里-珀罗标准具、pd探测器以及pd温控模块,所述法布里-珀罗标准具及所述pd探测器依次沿对应的所述出光单元出射的第二激光光束的路径布置,所述pd探测器用于探测经所述法布里-珀罗标准具后的第二激光光束的功率,所述pd温控模块用于稳定所述各个pd探测器以及所述各个法布里-珀罗标准具的温度。

7、在一些实施例中,所述出光单元包括基座热沉及ld芯片,所述基座热沉固定于所述ld温控模块,所述ld芯片固定于所述基座热沉上。

8、在一些实施例中,所述出光单元还包括ld过渡热沉,所述ld过渡热沉固定于所述基座热沉上,所述ld芯片固定于所述ld过渡热沉上。

9、在一些实施例中,所述出光单元还包括第一光隔离器及第二光隔离器,所述第一光隔离器及所述第二光隔离器分别设置于对应的所述ld芯片的第一方向和第二方向。

10、在一些实施例中,所述出光单元还包括第一准直透镜及第二准直透镜,所述第一准直透镜及所述第二准直透镜分别设置于对应的所述ld芯片的第一方向和第二方向,所述第一准直透镜位于所述ld芯片与所述第一光隔离器之间,所述第二准直透镜位于所述ld芯片与所述第二光隔离器之间。

11、在一些实施例中,所述ld温控模块为tec温控模块。

12、在一些实施例中,各个所述反射镜靠近对应的所述出光单元的一面镀有反光膜,另一面镀有透射膜。

13、在一些实施例中,所述监控阵列还包括若干个背光热沉,对应的所述法布里-珀罗标准具及对应的所述pd探测器均固定于所述背光热沉上。

14、在一些实施例中,所述pd温控模块与所述背光热沉连接、并用于调节所述背光热沉的温度。

15、在一些实施例中,所述监控阵列还包括若干个pd过渡热沉,所述pd过渡热沉固定于对应的所述背光热沉上,所述pd探测器固定于对应的所述pd过渡热沉上。

16、与现有技术相比,本技术提出的技术方案的有益效果是:在使用时,各个出光单元分别同时在第一方向和第二方向发出激光光束,第一方向的激光光束经对应的反射镜反射到出光口,各个出光单元的激光光束汇合成一束后从出光口射出,从而可同时输出不同波长的激光光束,同时,第二方向的激光光束经过法布里-珀罗标准具后被pd探测器接收,通过pd探测器检测经过法布里-珀罗标准具后的激光功率是否变化,以判断激光光束的波长是否发生了偏移,若发生变化,则根据偏移方向,通过所述ld温控模块控制各个所述出光单元的温度,以使各个所述出光单元出射的激光光束的波长保持稳定,从而通过监控阵列可使激光器输出稳定波长的激光,防止输出波长波动或偏移。

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【技术保护点】

1.一种多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,包括管壳、出光阵列、反射阵列及监控阵列;

2.根据权利要求1所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元包括基座热沉及LD芯片,所述基座热沉固定于所述LD温控模块,所述LD芯片固定于所述基座热沉上。

3.根据权利要求2所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元还包括LD过渡热沉,所述LD过渡热沉固定于所述基座热沉上,所述LD芯片固定于所述LD过渡热沉上。

4.根据权利要求2所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元还包括第一光隔离器及第二光隔离器,所述第一光隔离器及所述第二光隔离器分别设置于对应的所述LD芯片的第一方向和第二方向。

5.根据权利要求4所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元还包括第一准直透镜及第二准直透镜,所述第一准直透镜及所述第二准直透镜分别设置于对应的所述LD芯片的第一方向和第二方向,所述第一准直透镜位于所述LD芯片与所述第一光隔离器之间,所述第二准直透镜位于所述LD芯片与所述第二光隔离器之间。

6.根据权利要求1所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述LD温控模块为TEC温控模块。

7.根据权利要求1所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,各个所述反射镜靠近对应的所述出光单元的一面镀有反光膜,另一面镀有透射膜。

8.根据权利要求1所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述监控阵列还包括若干个背光热沉,对应的所述法布里-珀罗标准具及对应的所述PD探测器均固定于所述背光热沉上。

9.根据权利要求8所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述PD温控模块与所述背光热沉连接、并用于调节所述背光热沉的温度。

10.根据权利要求8所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述监控阵列还包括若干个PD过渡热沉,所述PD过渡热沉固定于对应的所述背光热沉上,所述PD探测器固定于对应的所述PD过渡热沉上。

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【技术特征摘要】

1.一种多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,包括管壳、出光阵列、反射阵列及监控阵列;

2.根据权利要求1所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元包括基座热沉及ld芯片,所述基座热沉固定于所述ld温控模块,所述ld芯片固定于所述基座热沉上。

3.根据权利要求2所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元还包括ld过渡热沉,所述ld过渡热沉固定于所述基座热沉上,所述ld芯片固定于所述ld过渡热沉上。

4.根据权利要求2所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元还包括第一光隔离器及第二光隔离器,所述第一光隔离器及所述第二光隔离器分别设置于对应的所述ld芯片的第一方向和第二方向。

5.根据权利要求4所述的多芯片、多波长带制冷封装的高稳定波长激光器,其特征在于,所述出光单元还包括第一准直透镜及第二准直透镜,所述第一准直透镜及所述第二准直透镜分别设置于对应的所述ld芯片的第一方向和第二方向,所述第一准直透镜位于...

【专利技术属性】
技术研发人员:范隆泉王晓莉余超程小燕
申请(专利权)人:武汉六九传感科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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