【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体检测设备的，特别是涉及一种翘曲度测量设备、翘曲度的测量方法。
技术介绍
1、衍射光波导镜片一般在光学晶圆上通过纳米压印等工艺来制造。如果光学晶圆的翘曲度较大，则压印上的光栅周期会变疏或变密，进而使得衍射光波导镜片的光学成像效果变差。
2、为了测试光学晶圆翘曲度，行业内一般使用多表面同时干涉仪等设备，其基本原理是同时采集晶圆正反两面的光学相位数据，从而推算出双面的翘曲度。然而，这类设备因为需要大口径镜头和精密的干涉光路，价格不菲，特别是在某些工厂在线检测或者进行大批量检测时，需要大量设备投资。
技术实现思路
1、本申请主要解决的技术问题是提供一种翘曲度测量设备、翘曲度的测量方法，以解决相关翘曲度测量设备成本高昂的缺陷。
2、为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种翘曲度测量设备，包括测试平台、光源组件和成像面，所述测试平台用于承载待测样品，所述待测样品具有反射面；所述光源组件用于发射多条平行光线；多条所述平行光线呈阵列分布、并能够照射至所述反射面上以发生反射；所述成像面与所述反射面间隔设置，用于接收所述平行光线在所述反射面上形成的反射光线；所述成像面被配置为用于显现多条所述反射光线在所述成像面上形成的多个光斑，多个所述光斑的位置信息被配置为用于获取所述待测样品的所述反射面的翘曲度。
3、为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种翘曲度的测量方法，所述测量方法应用于前述实施例中所述的翘曲度测量设备，所述
4、区别于现有技术，本申请的有益效果是：
5、本申请提供的翘曲度测量设备、翘曲度的测量方法，光源组件发射的多条平行光线经过待测样品上反射面的反射，能够在成像面上形成光斑点阵，通过光斑点阵内各个光斑的位置信息，能够测得反射面上被多条平行光线所照射的区域的翘曲度。
6、相较于现有的测量翘曲度的设备或测量方法，本申请提供的翘曲度测量设备具有结构简单、测量成本低、操作方便的优点，能够解决
技术介绍
中存在的翘曲度测量成本过高的问题。
【技术保护点】
1.一种翘曲度测量设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述光源组件包括光源和导光件，所述导光件具有入光面和出光面，所述光源发射的第一光线能够到达所述入光面，并经由所述导光件传导后在所述出光面形成多条呈阵列分布且相互平行的第二光线。
3.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述第二光线与所述反射面的法线之间的夹角不超过10°。
4.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述第二光线与所述成像面的法线之间的夹角不超过10°。
5.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，多条所述第二光线的分布行数为m，分布列数为n；其中m≥4，n≥4。
6.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述测试平台具有用于承载所述待测样品的承载面，所述承载面为黑色表面或者漫反射表面。
7.根据权利要求6所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述承载面与所述成像面平行间隔设置，所述待测样品的反射面位于所述承载面和所述成像面之间；所述反射面和所述成像面之间的间距不小
8.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述测试平台为可移动平台，用于改变所述待测样品的位置。
9.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述光斑的直径不超过1mm。
10.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，还包括观测板，所述观测板靠近所述测试平台的一侧上设有标尺；其中，所述成像面形成于所述观测板靠近所述测试平台的一侧表面上。
11.一种翘曲度的测量方法，其特征在于，所述测量方法应用于如权利要求1-10任一项所述的翘曲度测量设备，所述测量方法包括：根据所述光斑的位置信息来获取所述待测样品的反射面的翘曲度。
12.根据权利要求11所述的测量方法，其特征在于，所述获取待测样品的反射面的翘曲度的步骤进一步包括：
13.根据权利要求12所述的测量方法，其特征在于，所述确定多个所述光斑在所述成像面上的理想光斑点阵的步骤包括：
14.根据权利要求12所述的测量方法，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种翘曲度测量设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述光源组件包括光源和导光件，所述导光件具有入光面和出光面，所述光源发射的第一光线能够到达所述入光面，并经由所述导光件传导后在所述出光面形成多条呈阵列分布且相互平行的第二光线。
3.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述第二光线与所述反射面的法线之间的夹角不超过10°。
4.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述第二光线与所述成像面的法线之间的夹角不超过10°。
5.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，多条所述第二光线的分布行数为m，分布列数为n；其中m≥4，n≥4。
6.根据权利要求2所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述测试平台具有用于承载所述待测样品的承载面，所述承载面为黑色表面或者漫反射表面。
7.根据权利要求6所述的翘曲度测量设备，其特征在于，所述承载面与所述成像面平行间隔设置，所述待测样品的反射面位于所述承载面和所述成像...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁广中，
申请(专利权)人：OPPO广东移动通信有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。