一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块制造技术

本技术提供一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，涉及地波微振动仪技术领域，包括主传感器基座和副传感器基座，主传感器基座圆周表面开设有收缩槽，收缩槽内部设有限位弹簧，限位弹簧端部设有连接支臂，连接支臂端部设有U型轴，U型轴座表面活动轴接设有定位支臂，定位支臂侧面端部设有接口基座，副传感器基座侧面设有连接接口，连接接口与接口基座电性连接，主传感器基座侧面设置回收槽，折叠支臂展开后可对副传感器基座进行放置，并通过定位支臂和接口基座与副传感器基座进行连接，实现多个副传感器基座和主传感器基座的拼装和互联，便于多个传感器之间拼装后与外部的地波微振动设备进行连接，无需逐个安装，实现拼装后的快速组装。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及地波微振动仪，尤其涉及一种基于mems技术的地波微振动传感器模块。

技术介绍

1、微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。mems是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业。

2、地波微振动设备或仪器一般用于对地震的勘测使用，通过配合各项传感器进行地波的参数检测并分析，从而对地波振动进行勘测使用。

3、现有技术中地波微振动仪器在进行传感器安装时，一般采用逐个安装的方式，相邻传感器之间无配合结构，针对多个传感器的安装需要逐个安装，安装不便，不利于快速安装拆卸使用。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中地波微振动仪在传感器安装时不便的缺点，而提出的一种基于mems技术的地波微振动传感器模块。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种基于mems技术的地波微振动传感器模块，包括主传感器基座和副传感器基座，所述主传感器基座圆周表面开设有收缩槽，所述收缩槽内部设有限位弹簧，所述限位弹簧端部设有连接支臂，所述连接支臂端部设有u型轴座，所述u型轴座表面活动轴接设有定位支臂，所述定位支臂侧面端部设有接口基座，所述副传感器基座侧面设有连接接口，所述连接接口与接口基座电性连接。

3、优选的，所述连接支臂靠近u型轴座的一端顶面设有支臂回收槽，所述支臂回收槽远离u型轴座的一侧底面开设有接口回收槽。

4、优选的，所述主传感器基座顶面和副传感器基座顶面均设有定位盖板，所述副传感器基座侧面与主传感器基座侧面卡合。

5、优选的，相邻所述收缩槽之间间距相同，所述连接支臂与副传感器基座一一对应。

6、优选的，所述副传感器基座顶面与主传感器基座顶面共面，所述副传感器基座和主传感器基座边缘均采用圆角处理。

7、优选的，所述收缩槽与连接支臂外部边缘间隙配合，所述定位支臂长度与支臂回收槽间隙配合。

8、优选的，所述定位支臂和连接支臂边缘均采用圆角处理，相邻所述连接支臂顶面共面。

9、有益效果

10、本技术中，采用主传感器基座侧面设置回收槽，对带有限位弹簧的连接支臂进行折叠收缩，使折叠支臂展开后可对副传感器基座进行放置，并通过定位支臂和接口基座与副传感器基座进行连接，实现多个副传感器基座和主传感器基座的拼装和互联，便于多个传感器之间拼装后与外部的地波微振动设备进行连接，无需逐个安装，实现拼装后的快速组装。

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【技术保护点】

1.一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，包括主传感器基座(1)和副传感器基座(2)，其特征在于：所述主传感器基座(1)圆周表面开设有收缩槽(4)，所述收缩槽(4)内部设有限位弹簧(5)，所述限位弹簧(5)端部设有连接支臂(6)，所述连接支臂(6)端部设有U型轴座(8)，所述U型轴座(8)表面活动轴接设有定位支臂(7)，所述定位支臂(7)侧面端部设有接口基座(11)，所述副传感器基座(2)侧面设有连接接口(10)，所述连接接口(10)与接口基座(11)电性连接，所述连接支臂(6)靠近U型轴座(8)的一端顶面设有支臂回收槽(9)，所述支臂回收槽(9)远离U型轴座(8)的一侧底面开设有接口回收槽(12)。

2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，其特征在于：所述主传感器基座(1)顶面和副传感器基座(2)顶面均设有定位盖板(3)，所述副传感器基座(2)侧面与主传感器基座(1)侧面卡合。

3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，其特征在于：相邻所述收缩槽(4)之间间距相同，所述连接支臂(6)与副传感器基座(2)一一对应。

4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，其特征在于：所述副传感器基座(2)顶面与主传感器基座(1)顶面共面，所述副传感器基座(2)和主传感器基座(1)边缘均采用圆角处理。

5.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，其特征在于：所述收缩槽(4)与连接支臂(6)外部边缘间隙配合，所述定位支臂(7)长度与支臂回收槽(9)间隙配合。

6.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，其特征在于：所述定位支臂(7)和连接支臂(6)边缘均采用圆角处理，相邻所述连接支臂(6)顶面共面。

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【技术特征摘要】

1.一种基于mems技术的地波微振动传感器模块，包括主传感器基座(1)和副传感器基座(2)，其特征在于：所述主传感器基座(1)圆周表面开设有收缩槽(4)，所述收缩槽(4)内部设有限位弹簧(5)，所述限位弹簧(5)端部设有连接支臂(6)，所述连接支臂(6)端部设有u型轴座(8)，所述u型轴座(8)表面活动轴接设有定位支臂(7)，所述定位支臂(7)侧面端部设有接口基座(11)，所述副传感器基座(2)侧面设有连接接口(10)，所述连接接口(10)与接口基座(11)电性连接，所述连接支臂(6)靠近u型轴座(8)的一端顶面设有支臂回收槽(9)，所述支臂回收槽(9)远离u型轴座(8)的一侧底面开设有接口回收槽(12)。

2.根据权利要求1所述的一种基于mems技术的地波微振动传感器模块，其特征在于：所述主传感器基座(1)顶面和副传感器基座(2)顶面均设有定位盖板(3)，所述副传感器基座(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱武振，谢友，吴涛，江勇，廖成旺，
申请(专利权)人：武汉安保通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：