【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体，具体地说，本专利技术涉及一种ogm产品的生产工艺。
技术介绍
1、随着触控技术的发展，触摸屏的应用越来越广泛，例如在手机、平板电脑等电子产品中的应用十分广泛。由于金属网格(以下简称ogm)结构具有边框更窄、可靠性更高、触摸屏模组的厚度更薄、透过率更好、成本更低等优点，在触摸屏制作领域得到广泛应用。
2、ogm产品需完成2道金属镀膜，膜层结构如图3和图4所示。
3、ogm产品投产初期，因镀膜线体设备限制，mo管道为中间单通道控制(因常规金属产品通入氧气通入量较少，单通道可以满足生产)，调试ogm产品时氧气通入量较多，受氧气敏感度较大，单通道o2控制调试时上层光学差异较大，上层膜色偏黄，下层膜色偏蓝(理想状态下膜色偏蓝色)，只能下层2st/车生产，常规产品正常生产4st/车，效率降低了50％，为了提高生产效率迫切对现有技术进行改造。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提供一种ogm产品的生产工艺，目的是提高生产效率。
2、为了实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：ogm产品的生产工艺，包括步骤：
3、s1、清洗基板；
4、s2、ogm产品镀膜；
5、其中，步骤s2中，在制备f-mo层时，通过多个氧气输送管路向靶材输送氧气，氧气输送管路至少设置三个。
6、所述氧气输送管路中设置流量计。
7、所述氧气输送管路设置三个，
8、所述步骤s2包括：
9、s201、洗靶；
10、s202、评估ogm产品各层膜厚；
11、s203、各层膜厚满足要求后，开始评估上、下层成品首件。
12、所述步骤s203中，根据不同靶材溅射率计算moo3层功率为8kw，f-mo层功率为6kw，al层功率为48kw，s-mo层功率为11kw，首件评估完成后，测量上、下层光学，确认调整方向，及时对某段进行调整，直到光学调整满足要求。
13、所述的ogm产品的生产工艺，其特征在于，还包括步骤：s3、理化性能评估。
14、所述步骤s3包括：
15、s301、方阻测量；
16、s302、成品膜面、非膜面光学测量；
17、s303、附着力评估。
18、所述步骤s301中，根据基板尺寸分别测量9个点，电阻内控为0.25-0.35ω，确认是否在内控范围。
19、所述步骤s303中，进行附着力评估时，分别使用3m610胶带覆膜，及百格刀在相应的区域划百格再用3m胶带撕拉，要求百格≥4b，确保附着力满足要求。
20、本专利技术的ogm产品的生产工艺，可以提高生产效率，可以实现连续生产，生产过程中氧气通入量比较稳定，光学及膜色正常。
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1.OGM产品的生产工艺，其特征在于，包括步骤：
2.根据权利要求1所述的OGM产品的生产工艺，其特征在于，所述氧气输送管路中设置流量计。
3.根据权利要求1所述的OGM产品的生产工艺，其特征在于，所述氧气输送管路设置三个，三个氧气输送管路分别为上段管路、中间段管路和下段管路，上段管路、中间段管路和下段管路的氧气通入量的比例为1:5:1.5。
4.根据权利要求1至3任一所述的OGM产品的生产工艺，其特征在于，所述步骤S2包括：
5.根据权利要求4所述的OGM产品的生产工艺，其特征在于，所述步骤S203中，根据不同靶材溅射率计算MOO3层功率为8KW，F-MO层功率为6KW，AL层功率为48KW，S-MO层功率为11KW，首件评估完成后，测量上、下层光学，确认调整方向，及时对某段进行调整，直到光学调整满足要求。
6.根据权利要求1至3任一所述的OGM产品的生产工艺，其特征在于，还包括步骤：
7.根据权利要求6所述的OGM产品的生产工艺，其特征在于，所述步骤S3包括：
8.根据权利要求7所述的OGM产
9.根据权利要求7所述的OGM产品的生产工艺，其特征在于，所述步骤S303中，进行附着力评估时，分别使用3M610胶带覆膜，及百格刀在相应的区域划百格再用3M胶带撕拉，要求百格≥4B，确保附着力满足要求。
...【技术特征摘要】
1.ogm产品的生产工艺，其特征在于，包括步骤：
2.根据权利要求1所述的ogm产品的生产工艺，其特征在于，所述氧气输送管路中设置流量计。
3.根据权利要求1所述的ogm产品的生产工艺，其特征在于，所述氧气输送管路设置三个，三个氧气输送管路分别为上段管路、中间段管路和下段管路，上段管路、中间段管路和下段管路的氧气通入量的比例为1:5:1.5。
4.根据权利要求1至3任一所述的ogm产品的生产工艺，其特征在于，所述步骤s2包括：
5.根据权利要求4所述的ogm产品的生产工艺，其特征在于，所述步骤s203中，根据不同靶材溅射率计算moo3层功率为8kw，f-mo层功率为6kw，al层功率为48kw，s-mo层功率为11...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱照生，王胜，郑建军，齐彦杰，钟素文，
申请(专利权)人：芜湖长信科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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