【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示，尤其涉及显示器件的制造，具体涉及真空干燥设备、真空干燥方法和显示面板。
技术介绍
1、oled(organic light emitting diode，有机发光二极管)显示面板采用自主发光技术进行画面显示，具有响应速度快、对比度高、视角广等优点。
2、目前，尤其对于的尺寸的oled显示面板而言，新兴的量产方式为印刷，即喷墨打印，在此过程中需要使用vcd(vacuum dry，真空干燥)制程将墨水中的溶剂抽走，留下溶质以形成oled功能层。然而，在vcd制程中边缘区域相对比中间区域而言，其处产生的气体较先被抽走导致墨水干燥的较快，造成oled显示面板的边缘区域的子像素与中间区域的子像素存在显示差异，造成画面显示的不均。
3、因此，现有的oled显示面板在vcd制程中存在边缘区域和中间区域的墨水干燥速度不同而造成画面显示的不均，急需改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供真空干燥设备、真空干燥方法和显示面板，解决了现有技术中oled显示面板在vcd制程中存在边缘区域和中间区域的墨水干燥速度不同而造成画面显示的不均的技术问题。
2、本专利技术实施例提供真空干燥设备，包括：
3、腔体；
4、基台，位于所述腔体内，包括用于承载基板的第一侧，所述第一侧具有第一温度；
5、冷凝器，位于所述腔体内，包括与所述第一侧相对设置的第二侧，所述第二侧具有低于所述第一温度的第二温度；
6、其中
7、在一实施例中，所述冷凝器包括：
8、至少一入口端，用于使媒介流入所述冷凝器；
9、至少一出口端，用于使所述媒介流出所述冷凝器；
10、其中，所述媒介流出所述冷凝器时的温度高于所述媒介流入所述冷凝器时的温度。
11、在一实施例中，所述冷凝器还包括：
12、管路，用于通入所述媒介；
13、其中，所述媒介流入靠近所述出口端时的温度高于所述媒介流入靠近所述入口端时的温度。
14、在一实施例中，所述冷凝器包括：
15、至少两子冷凝器，不同的两所述子冷凝器之间具有第一间隙，所述子冷凝器与所述腔体的侧壁之间具有第二间隙；
16、其中，所述入口端靠近所述第一间隙而设置，所述出口端靠近所述第二间隙而设置。
17、在一实施例中，所述子冷凝器包括：
18、子管路，用于通入媒介；
19、其中，所述子管路形成于对应的一所述入口端和对应的一所述出口端之间。
20、在一实施例中，所述子管路在由对应的所述第一间隙指向对应的所述第二间隙的方向上迂回设置。
21、在一实施例中，所述子管路在由对应的所述第一间隙指向对应的所述第二间隙的方向上包括多个弯曲部，所述媒介依次流入多个所述弯曲部时对应的多个温度，依次升高。
22、在一实施例中，所述冷凝器还包括：
23、抽气泵，靠近所述第一间隙和/或所述第二间隙而设置
24、本专利技术实施例还提供真空干燥方法，应用于如上文部分所述的真空干燥设备，包括：
25、提供真空干燥设备和基板，所述基台包括用于承载基板的第一侧，所述第一侧具有第一温度，所述真空干燥设备中的冷凝器包括与所述第一侧相对设置的第二侧，所述冷凝器包括多个子冷凝器；
26、将所述基板置于所述基台的第一侧；
27、控制媒介流入每一所述冷凝器对应的所述入口端，并从对应的所述出口端流出以使所述第二侧具有低于所述第一温度的第二温度，并且使得所述第二侧中与所述基板的中间区域相对设置的第一部的温度，低于围绕所述第一部的第二部的温度。
28、本专利技术实施例还提供显示面板，采用如上文任一所述的真空干燥设备制作而成。
29、本专利技术提供了真空干燥设备、真空干燥方法和显示面板，真空干燥设备包括：腔体；基台，位于所述腔体内，包括用于承载基板的第一侧，所述第一侧具有第一温度；冷凝器，位于所述腔体内，包括与所述第一侧相对设置的第二侧，所述第二侧具有低于所述第一温度的第二温度；其中，所述第二侧包括与所述基板的中间区域相对设置的第一部、围绕所述第一部的第二部，所述第一部的温度低于所述第二部的温度，因此，可以弥补位于基板边缘的抽气泵造成的基板中靠近边缘的墨水中的溶剂蒸发速度较快，从而降低基板中靠近边缘以及中间区域中的墨水中的溶剂的蒸发速度的差异，从而降低后期形成的oled显示面板中画面显示的不均的风险。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述冷凝器包括：
3.如权利要求2所述的真空干燥设备，其特征在于，所述冷凝器还包括：
4.如权利要求2所述的真空干燥设备，其特征在于，所述冷凝器包括：
5.如权利要求4所述的真空干燥设备，其特征在于，所述子冷凝器包括：
6.如权利要求5所述的真空干燥设备，其特征在于，所述子管路在由对应的所述第一间隙指向对应的所述第二间隙的方向上迂回设置。
7.如权利要求5所述的真空干燥设备，其特征在于，所述子管路在由对应的所述第一间隙指向对应的所述第二间隙的方向上包括多个弯曲部，所述媒介依次流入多个所述弯曲部时对应的多个温度，依次升高。
8.如权利要求4所述的真空干燥设备，其特征在于，所述冷凝器还包括：
9.一种真空干燥方法，其特征在于，应用于如权利要求4至8任一所述的真空干燥设备，包括：
10.一种显示面板，其特征在于，采用如权利要求1至8任一所述的真空干燥设备制作而成。
【技术特征摘要】
1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述冷凝器包括：
3.如权利要求2所述的真空干燥设备，其特征在于，所述冷凝器还包括：
4.如权利要求2所述的真空干燥设备，其特征在于，所述冷凝器包括：
5.如权利要求4所述的真空干燥设备，其特征在于，所述子冷凝器包括：
6.如权利要求5所述的真空干燥设备，其特征在于，所述子管路在由对应的所述第一间隙指向对应的所述第二间隙的方向上迂回...
【专利技术属性】
技术研发人员：匡友元，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。