温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了真空干燥设备、真空干燥方法和显示面板，真空干燥设备包括腔体、位于腔体内的基台和冷凝器，基台包括用于承载基板的第一侧，第一侧具有第一温度，冷凝器包括与第一侧相对设置的第二侧，第二侧具有低于第一温度的第二温度，其中，第二侧包括与基板...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。