【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆生产，具体涉及一种带有涂油机构的晶圆测试机。
技术介绍
1、半导体器件制造工艺中，测试是保证器件出厂品质的重要环节。在晶圆制造完成之后，需要执行晶圆测试这一流程。
2、晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上多个以金线制成的细如毛发的探针，通过探针与晶粒中的接点接触，进而测试其电气特性是否合格；而在进行高压检测时，多个探针之间会有趴电打火现象，从而影响了晶圆的检测结果。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种带有涂油机构的晶圆测试机，能够防止打火的现象。
2、本技术的目的通过以下技术方案实现：一种带有涂油机构的晶圆测试机，包括机座；所述机座设有晶圆上料机构、测试机构以及涂油机构；
3、所述涂油机构包括升降设于晶圆上料机构顶部的涂油座；所述涂油座设有给油电机；所述给油电机设有中空输出轴；所述中空输出轴设有输入口以及与输入口连通的输出口；
4、所述给油电机的中空输出轴的底部设有给油块；所述给油块设有与出油孔以及涂油布；所述涂油布设于出油孔的底部。
5、本技术进一步设置为，所述测试机构设于晶圆上料机构的顶部；所述测试机构设有升降气缸；所述升降气缸的输出端与涂油座连接。
6、本技术进一步设置为，所述输入口设于中空输出轴的顶部；所述输入口连接有注油管。
7、本技术进一步设置为，所述中空输出轴与给油块之间设有连接块；所述连接块的顶部设有注油孔；所述注油孔与中
8、本技术进一步设置为，所述出油孔包括设于给油块中部的第一出油孔；所述第一出油孔与注油孔连通。
9、本技术进一步设置为，所述给油块的两侧设有出油槽；所述出油孔包括设于出油槽的第二出油孔；所述出油槽与注油孔之间设有出油通道。
10、本技术进一步设置为，所述出油槽沿长度方向设有导向槽；所述导向槽靠近出油通道的一端设有扩张槽。
11、本技术进一步设置为，所述给油块的两侧均设有夹块；所述夹块通过螺栓与给油块可拆卸连接；所述涂油布的两侧均夹设于夹块与给油块之间。
12、本技术进一步设置为，所述中空输出轴与连接块可拆卸连接。
13、本技术的有益效果：本技术通过设置涂油机构，在测试之前首先通过给油电机带动给油块以及涂油布进行转动，从而给晶圆的表面进行涂油之后，再通过测试机构对晶圆进行测试，从而能够有效地减少趴电打火现象，保证了测试结果。
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1.一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：包括机座(1)；所述机座(1)设有晶圆上料机构(2)、测试机构(3)以及涂油机构(4)；
2.根据权利要求1所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述测试机构(3)设于晶圆上料机构(2)的顶部；所述测试机构(3)设有升降气缸(52)；所述升降气缸(52)的输出端与涂油座(51)连接。
3.根据权利要求1所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述输入口(61)设于中空输出轴(6)的顶部；所述输入口(61)连接有注油管(63)。
4.根据权利要求1所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述中空输出轴(6)与给油块(7)之间设有连接块(9)；所述连接块(9)的顶部设有注油孔(91)；所述注油孔(91)与中空输出轴(6)的输出口(62)连通；所述连接块(9)设于给油块(7)的中部。
5.根据权利要求4所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述出油孔包括设于给油块(7)中部的第一出油孔(71)；所述第一出油孔(71)与注油孔(91)连通。
6.根
7.根据权利要求6所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述出油槽(73)沿长度方向设有导向槽(74)；所述导向槽(74)靠近出油通道(92)的一端设有扩张槽(75)。
8.根据权利要求6所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述给油块(7)的两侧均设有夹块(82)；所述夹块(82)通过螺栓与给油块(7)可拆卸连接；所述涂油布(81)的两侧均夹设于夹块(82)与给油块(7)之间。
9.根据权利要求4所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述中空输出轴(6)与连接块(9)可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：包括机座(1)；所述机座(1)设有晶圆上料机构(2)、测试机构(3)以及涂油机构(4)；
2.根据权利要求1所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述测试机构(3)设于晶圆上料机构(2)的顶部；所述测试机构(3)设有升降气缸(52)；所述升降气缸(52)的输出端与涂油座(51)连接。
3.根据权利要求1所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述输入口(61)设于中空输出轴(6)的顶部；所述输入口(61)连接有注油管(63)。
4.根据权利要求1所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述中空输出轴(6)与给油块(7)之间设有连接块(9)；所述连接块(9)的顶部设有注油孔(91)；所述注油孔(91)与中空输出轴(6)的输出口(62)连通；所述连接块(9)设于给油块(7)的中部。
5.根据权利要求4所述的一种带有涂油机构的晶圆测试机，其特征在于：所述出油...
【专利技术属性】
技术研发人员：李雄，廖大军，
申请(专利权)人：纳美半导体设备广州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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