【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体工艺设备，具体地，涉及一种冷却系统和应用该冷却系统的碳化硅高温热处理设备。
技术介绍
1、碳化硅高温热处理设备，是碳化硅半导体产业链中的重要生产设备，需要温度均匀的高洁净度、高温加热炉膛环境，对于设备的炉体制造要求很高。以碳化硅高温氧化设备和高温退火设备为例，要求的工艺温度分别达到1350℃和1900℃以上，最大升温可达到100℃/min，最大降温速率15-20℃/min，温度控制精度达到±5℃。为了保证工艺过程正常进行，碳化硅高温热处理设备通常需要冷却系统对设备加热组件、炉体、法兰等多个位置进行冷却。相关技术中的冷却系统对碳化硅高温热处理设备的冷却效果不佳。
技术实现思路
1、本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的实施例提出一种冷却系统，该冷却系统具有冷却效率较高的优点。
2、本技术实施例的冷却系统包括供液管路和排液管路；第一管路，所述第一管路连接在所述供液管路和所述排液管路之间，所述第一管路包括多个支路和第一监控组件，第一监控组件包括多个监控单元，多个所述支路适于分别延伸至多个第一冷却设备，多个所述监控单元一一对应地设于多个所述支路内，以分别调整多个所述支路内的液体流量；第二管路和第二监控组件，所述第二管路连接在所述供液管路和所述排液管路之间，以适于向第二冷却设备供液，所述第二监控组件设于所述第一管路和所述第二管路中的任意一者以检测所述供液管路排至所述第一管路和所述第二管路内的液体温度。
3、本技术实施例的
4、在一些实施例中，每个所述监控单元均包括第一检测模块和第一调整模块，所述第一检测模块适于检测所述支路内的液体流量，所述第一调整模块适于调整所述支路内的液体流量。
5、在一些实施例中，所述第二监控组件设于所述第二管路，所述第二监控组件包括第二检测模块，所述第二检测模块适于检测所述供液管路排至所述第一管路和所述第二管路内的液体温度。
6、在一些实施例中，所述第二监控组件还包括第三检测模块和第二调整模块，所述第三检测模块适于检测所述第二管路内的液体流量，所述第二调整模块适于调整所述第二管路内的液体流量。
7、在一些实施例中，所述冷却系统包括第三检测模块，所述第三检测模块设于所述供液管路，所述第三检测模块的一端与所述供液管路的内腔连通以检测所述供液管路内的液体压力。
8、在一些实施例中，所述冷却系统包括第一阀和第二阀，所述第一阀设于所述供液管路，以手动控制所述供液管路的通断，所述第二阀设于所述第二管路，以手动控制所述第二管路的通断。
9、在一些实施例中，所述冷却系统还包括泄压管路，所述泄压管路设有单向阀，所述泄压管路的一端与所述供液管路相连，所述单向阀适于在所述供液管路内的液体压力大于设定阈值时打开以卸压。
10、在一些实施例中，所述冷却系统包括第四检测模块，所述第四检测模块设于所述供液管路、所述第一管路和所述第二管路中的一者或多者的下侧，以检测所述供液管路、所述第一管路和所述第二管路中任意一者的泄漏情况。
11、本技术实施例的碳化硅高温热处理设备包括冷却系统，所述冷却系统可以为上述任一实施例中所述的冷却系统。
12、在一些实施例中，所述碳化硅高温热处理设备包括加热组件、炉体和多个法兰，所述冷却系统的第二管路延伸至所述加热组件和所述炉体，以冷却所述加热组件和所述炉体，所述冷却系统的多个支路与多个法兰一一对应布置，以分别冷却多个所述法兰。
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1.一种冷却系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，每个所述监控单元均包括第一检测模块和第一调整模块，所述第一检测模块适于检测所述支路内的液体流量，所述第一调整模块适于调整所述支路内的液体流量。
3.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，所述第二监控组件设于所述第二管路，所述第二监控组件包括第二检测模块，所述第二检测模块适于检测所述供液管路排至所述第一管路和所述第二管路内的液体温度。
4.根据权利要求3所述的冷却系统，其特征在于，所述第二监控组件还包括第三检测模块和第二调整模块，所述第三检测模块适于检测所述第二管路内的液体流量，所述第二调整模块适于调整所述第二管路内的液体流量。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的冷却系统，其特征在于，包括第三检测模块，所述第三检测模块设于所述供液管路，所述第三检测模块的一端与所述供液管路的内腔连通以检测所述供液管路内的液体压力。
6.根据权利要求5所述的冷却系统，其特征在于，包括第一阀和第二阀，所述第一阀设于所述供液管路，以手动控制所述供液管路的通断
7.根据权利要求6所述的冷却系统，其特征在于，还包括泄压管路，所述泄压管路设有单向阀，所述泄压管路的一端与所述供液管路相连，所述单向阀适于在所述供液管路内的液体压力大于设定阈值时打开以卸压。
8.根据权利要求7所述的冷却系统，其特征在于，包括第四检测模块，所述第四检测模块设于所述供液管路、所述第一管路和所述第二管路中的一者或多者的下侧，以检测所述供液管路、所述第一管路和所述第二管路中任意一者的泄漏情况。
9.一种碳化硅高温热处理设备，其特征在于，包括冷却系统，所述冷却系统为根据权利要求1-8中任一项所述的冷却系统。
10.根据权利要求9所述的碳化硅高温热处理设备，其特征在于，包括加热组件、炉体和多个法兰，所述冷却系统的第二管路延伸至所述加热组件和所述炉体，以冷却所述加热组件和所述炉体，所述冷却系统的多个支路与多个法兰一一对应布置，以分别冷却多个所述法兰。
...【技术特征摘要】
1.一种冷却系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，每个所述监控单元均包括第一检测模块和第一调整模块，所述第一检测模块适于检测所述支路内的液体流量，所述第一调整模块适于调整所述支路内的液体流量。
3.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，所述第二监控组件设于所述第二管路，所述第二监控组件包括第二检测模块，所述第二检测模块适于检测所述供液管路排至所述第一管路和所述第二管路内的液体温度。
4.根据权利要求3所述的冷却系统，其特征在于，所述第二监控组件还包括第三检测模块和第二调整模块，所述第三检测模块适于检测所述第二管路内的液体流量，所述第二调整模块适于调整所述第二管路内的液体流量。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的冷却系统，其特征在于，包括第三检测模块，所述第三检测模块设于所述供液管路，所述第三检测模块的一端与所述供液管路的内腔连通以检测所述供液管路内的液体压力。
6.根据权利要求5所述的冷却系统，其特征在于，包括第一阀和第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，孙菁阳，曹建伟，朱亮，刘毅，李佳怡，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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