【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显示，尤其涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板。
技术介绍
1、随着显示技术的发展，人们对显示的追求越来越高，如大尺寸、高解析度、高色饱和度、节能、柔性等均成为了目前显示面板的追求方向。oled显示面板能够基本满足以上发展方向，成为目前较为主流的显示面板。但oled显示面板相比lcd显示面板，具有更多的膜层以及更复杂的膜层结构。对于oled显示面板中的像素电极电压，主要是通过薄膜晶体管开关进行控制。在tft开关中，有可能会出现断线的情况。针对该情况，目前一般是先去除无机膜层，使金属层裸露，然后利用金属熔化重新将断线处连接，再镀上一层有机层，防止金属氧化。该种方式存在工序繁多，且搭接效果不理想，容易导致金属层脱落以及整体生产效率降低等问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板，用以改善电极与金属层断线重连工序复杂、搭接效果不理想的问题。
2、而本申请为解决上述技术问题所采用的技术方案为：
3、第一方面，本申请提供了一种阵列基板，包括：
4、基板，所述基板具有第一表面，且包括金属修复层，所述金属修复层位于所述基板内部；
5、薄膜晶体管，所述薄膜晶体管设于所述第一表面上并与所述金属修复层连接；
6、第一预设模块，所述第一预设模块设于所述第一表面上；
7、层间绝缘层，所述层间绝缘层设于所述第一表面并覆盖所述第一预设模块和所述薄膜晶体管，所述层间绝缘层背离所述基板的一侧具
8、第二预设模块，所述第二预设模块设于所述第二表面；
9、钝化层，所述钝化层设于所述第二表面并覆盖所述第二预设模块；
10、其中，所述层间绝缘层开设有第一预留孔和第二预留孔，所述第一预留孔位于所述第一预设模块处并延伸至所述第二表面；所述第二预留孔位于所述第二预设模块处并延伸至所述第一表面。
11、在本申请的部分实施例中，所述第二预留孔朝向所述基板方向的正投影位于所述金属修复层上。
12、在本申请的部分实施例中，所述第一预设模块包括第一栅极和第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层设于所述第一表面，所述第一栅极设于所述第一栅极绝缘层背离所述第一表面的表面上。
13、在本申请的部分实施例中，所述第一预留孔朝向所述基板方向的正投影位于所述第一栅极上。
14、在本申请的部分实施例中，所述第二预设模块包括第一源漏极，所述第一源漏极包括第一连接部，所述第一连接部位于所述第二预留孔内并延伸至与所述基板接触，并且所述第一连接部朝向所述基板的正投影位于所述金属修复层上。
15、在本申请的部分实施例中，所述基板还包括：
16、衬底；
17、缓冲层，所述缓冲层具有所述第一表面；
18、其中，所述金属修复层设于所述衬底上，所述缓冲层设于所述衬底上并覆盖所述金属修复层。
19、在本申请的部分实施例中，所述薄膜晶体管包括：
20、有源层，所述有源层设于所述第一表面；
21、第二栅极绝缘层，所述第二栅极绝缘层设于所述有源层背离所述基板的表面上；
22、第二栅极，所述第二栅极设于所述第二栅极绝缘层背离所述基板的表面上；源极，所述源极设于所述第二表面上，且所述源极的一部分延伸至与所述有源层连接；
23、第二源漏极，所述第二源漏极设于所述第二表面上，且所述第二源漏极包括第二连接部，所述第二连接部的一部分延伸至与所述有源层连接，另一部分延伸至与所述金属修复层连接。
24、在本申请的部分实施例中，所述阵列基板还包括平坦化层，所述平坦化层设于所述钝化层背离所述基板的表面。
25、第二方面，本申请提供了一种阵列基板的制备方法，包括：
26、提供一基板，所述基板具有第一表面且包括金属修复层，所述金属修复层位于所述基板内部；
27、在所述第一表面上形成薄膜晶体管及第一预设模块；
28、在所述第一表面上形成层间绝缘层，所述层间绝缘层覆盖所述第一预设模块和所述薄膜晶体管，所述层间绝缘层背离所述基板的一侧具有第二表面；
29、在所述层间绝缘层内开设第一预留孔和第二预留孔，所述第一预留孔位于所述第一预设模块处并延伸至所述第二表面，所述第二预留孔延伸至所述第一表面；
30、在所述第二表面上形成第二预设模块，所述第二预设模块位于所述第二预留孔处；
31、在所述第二表面上沉积钝化层，所述钝化层覆盖所述第二预设模块。
32、第三方面，本申请提供了一种显示面板，包括如第一方面所述的阵列基板。
33、综上，由于采用了上述技术方案，本申请至少包括如下有益效果：
34、本申请所提供的一种阵列基板及其制备方法、显示面板，主要通过设置第一预设模块和第二预设模块，并使第一预设模块与第一预留孔位置对应，第二预设模块与第二预留孔位置对应，当薄膜晶体管出现断线，无法接通的情况时，便可利用镭射工艺，对基板一部分去除掉，使第二预设模块与金属修复层激光熔接连接，使薄膜晶体管重新恢复连接。由于该阵列基板在成型时，便提前设置了第一预留孔和第二预留孔，以及第一预设模块和第二预设模块，在进行阵列基板检测时，若检测到薄膜晶体管存在断线情况，便只需要对基板的一部分进行镭射消除，使第二预设模块和金属修复层连接，即可修复薄膜晶体管断线重连，工序简单，重新搭接稳定性可靠。
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1.一种阵列基板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二预留孔朝向所述基板方向的正投影位于所述金属修复层上。
3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一预设模块包括第一栅极和第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层设于所述第一表面，所述第一栅极设于所述第一栅极绝缘层背离所述第一表面的表面上。
4.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一预留孔朝向所述基板方向的正投影位于所述第一栅极上。
5.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二预设模块包括第一源漏极，所述第一源漏极包括第一连接部，所述第一连接部位于所述第二预留孔内并延伸至与所述基板接触，并且所述第一连接部朝向所述基板的正投影位于所述金属修复层上。
6.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述基板还包括：
7.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述薄膜晶体管包括：
8.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括平坦化层，所述平坦化层设于所述钝化层背离所述基板的表面。<...
【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二预留孔朝向所述基板方向的正投影位于所述金属修复层上。
3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一预设模块包括第一栅极和第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层设于所述第一表面，所述第一栅极设于所述第一栅极绝缘层背离所述第一表面的表面上。
4.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一预留孔朝向所述基板方向的正投影位于所述第一栅极上。
5.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二预设模块包括第一源漏极，所述第一源...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖伟杰，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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