【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种压电致动装置，且特别是有关于一种具有感测能力的压电致动装置。
技术介绍
1、随着光学投影、光通讯与光学测距雷达等应用的发展，反射式微型面镜元件已成为相关领域的开发重点之一。相较于以精密加工技术制作而成的微形面镜元件，另一种以微机电系统(mems)结合半导体制程整合技术制作而成的微形面镜元件，因具有可批量生产、可微型化以及与电子电路集成整合的特性而逐渐成为主流。根据不同的驱动方式，微形面镜元件大致上可分为三种类型，分别是静电驱动、电磁驱动和压电驱动。
2、由于制作材料容易取得、半导体制程技术及外部组装技术较为成熟，目前市面上采用半导体制程技术制作而成的微形面镜元件多是以静电驱动或电磁驱动为主流。然而，静电驱动所使用的多组梳状电极结构因静电力的考量而彼此间的距离不能太远，导致电极短路的风险和制程困难度增加。电磁驱动需在微面镜上方电镀线圈并且在外部组装磁体，除了增加元件微型化的困难度外，铁磁材料的制程也较不容易与现行的半导体制程进行整合。
3、“
技术介绍
”段落只是用来帮助了解本
技术实现思路
，因此在“
技术介绍
”段落所揭露的内容可能包含一些没有构成本领域技术人员所知道的已知技术。在“
技术介绍
”段落所揭露的内容，不代表该内容或者本专利技术一个或多个实施例所要解决的问题，在本专利技术申请前已被本领域技术人员所知晓或认知。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种压电致动装置，其感测可动件形变的能力和精度都较佳。
2、本专利技术的其他目的和优点
3、为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本专利技术的一实施例提出一种压电致动装置。压电致动装置包括框架、转动件、致动结构及感测结构。框架具有容置开口以及定义容置开口且彼此相对的第一侧边与第二侧边。转动件设置在容置开口内，并且经由转轴结构连接框架。转轴结构具有轴线，转动件适于以轴线为中心相对于框架往复摆动。致动结构延伸自框架的第一侧边，且位在转动件与框架的第一侧边之间。致动结构经由至少一个第一弹性件弹性地耦接至转动件。致动结构具有致动本体、第一压电材料层、设置在第一压电材料层一侧的驱动电极。第一压电材料层设置于致动本体上。感测结构延伸自框架的第二侧边，且位在转动件与第二侧边之间。感测结构经由至少一个第二弹性件弹性地耦接至转动件。感测结构具有感测本体、第二压电材料层以及设置在第二压电材料层一侧的感测电极。第二压电材料层设置于感测本体上。至少一个第一弹性件与至少一个第二弹性件分别设置在轴线的相对两侧。致动结构经由驱动电极接收驱动信号而产生形变，并借由至少一个第一弹性件带动转动件以轴线为中心轴转动。转动中的转动件借由至少一个第二弹性件连动感测结构产生相应的形变，并经由感测电极输出感测信号。
4、基于上述，在本专利技术的一实施例的压电致动装置中，框架的容置开口内设有转动件以及设置在转动件相对两侧的致动结构与感测结构。致动结构可被电驱动而产生形变，并且经由第一弹性件带动转动件以一转轴结构的轴线为中心相对于框架转动。转动中的转动件可经由第二弹性件带动感测结构产生相对应的形变，并经由形变中的感测结构输出相对应的感测信号。据此，除了能达到致动结构、转动件及感测结构的高度整合以实现压电致动装置的微型化外，致动转动件时所同步取得的感测信号更能真实地呈现出转动件的实际转动程度，有助于提升压电致动装置的感测能力。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种压电致动装置，其特征在于，包括：框架、转动件、致动结构以及感测结构；其中，
2.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，还包括驱动电路以及感测电路，所述驱动电路耦接至所述驱动电极，用以提供所述驱动信号，所述感测电路耦接至所述感测电极，用以接收所述感测信号。
3.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，所述转动件具有沿着所述轴线的轴向且彼此相对的第一侧与第二侧，所述转轴结构包括第一部分及第二部分，所述第一部分连接所述转动件的所述第一侧，所述第二部分连接所述转动件的所述第二侧。
4.根据权利要求3所述的压电致动装置，其特征在于，所述至少一个第一弹性件包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧的两个第一弹性件，所述至少一个第二弹性件包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧的两个第二弹性件。
5.根据权利要求4所述的压电致动装置，其特征在于，所述致动结构包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧且结构上彼此分离的第一致动臂和第二致动臂，所述第一致动臂和所述第二致动臂分别经由所述两个第一弹性件弹性地耦接
6.根据权利要求5所述的压电致动装置，其特征在于，所述感测结构包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧且结构上彼此分离的第一感测臂和第二感测臂，所述第一感测臂和所述第二感测臂分别经由所述两个第二弹性件弹性地耦接至所述转动件。
7.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，还包括反射层，设置在所述转动件的第一表面上。
8.根据权利要求7所述的压电致动装置，其特征在于，所述转动件的第二表面上设有补强结构。
9.根据权利要求8所述的压电致动装置，其特征在于，所述转动件的所述补强结构为环绕所述转动件的边缘的环型结构。
10.根据权利要求3所述的压电致动装置，其特征在于，所述框架还具有定义所述容置开口且彼此相对的第三侧边与第四侧边，所述第三侧边与所述第四侧边相交于所述第一侧边与所述第二侧边，所述转轴结构的所述第一部分还连接所述框架的所述第三侧边，所述转轴结构的所述第二部分还连接所述框架的所述第四侧边。
11.根据权利要求10所述的压电致动装置，其特征在于，所述第一部分在沿着所述第三侧边的延伸方向上的宽度由所述转动件朝向所述第三侧边渐增，所述第二部分在沿着所述第四侧边的延伸方向上的宽度由所述转动件朝向所述第四侧边渐增。
12.根据权利要求11所述的压电致动装置，其特征在于，所述转动件在邻近所述转轴结构的所述第一部分和所述第二部分的两区域分别设有两开槽，且所述转轴结构的所述轴线通过所述两开槽。
13.根据权利要求11所述的压电致动装置，其特征在于，所述转轴结构的所述第一部分与所述框架的连接处设有一开槽，所述第二部分与所述框架的连接处设有另一开槽。
14.根据权利要求11所述的压电致动装置，其特征在于，所述框架在邻近所述转轴结构的所述第一部分和所述第二部分的两区域分别设有两开槽，且所述转轴结构的所述轴线通过所述两开槽。
15.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，所述致动结构的所述致动本体、所述感测结构的所述感测本体、所述转轴结构、所述至少一个第一弹性件、所述至少一个第二弹性件以及所述转动件为一体成形。
16.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，所述致动结构以及所述感测结构分别呈半月形或半圆形。
...【技术特征摘要】
1.一种压电致动装置，其特征在于，包括：框架、转动件、致动结构以及感测结构；其中，
2.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，还包括驱动电路以及感测电路，所述驱动电路耦接至所述驱动电极，用以提供所述驱动信号，所述感测电路耦接至所述感测电极，用以接收所述感测信号。
3.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，所述转动件具有沿着所述轴线的轴向且彼此相对的第一侧与第二侧，所述转轴结构包括第一部分及第二部分，所述第一部分连接所述转动件的所述第一侧，所述第二部分连接所述转动件的所述第二侧。
4.根据权利要求3所述的压电致动装置，其特征在于，所述至少一个第一弹性件包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧的两个第一弹性件，所述至少一个第二弹性件包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧的两个第二弹性件。
5.根据权利要求4所述的压电致动装置，其特征在于，所述致动结构包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧且结构上彼此分离的第一致动臂和第二致动臂，所述第一致动臂和所述第二致动臂分别经由所述两个第一弹性件弹性地耦接至所述转动件。
6.根据权利要求5所述的压电致动装置，其特征在于，所述感测结构包括分别设置在所述转动件的所述第一侧与所述第二侧且结构上彼此分离的第一感测臂和第二感测臂，所述第一感测臂和所述第二感测臂分别经由所述两个第二弹性件弹性地耦接至所述转动件。
7.根据权利要求1所述的压电致动装置，其特征在于，还包括反射层，设置在所述转动件的第一表面上。
8.根据权利要求7所述的压电致动装置，其特征在于，所述转动件的第二表面上设有补强结构。
9.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑皓谦，方维伦，梁凯智，吴名清，
申请(专利权)人：中光电智能感测股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。